[實用新型]一種滾輪結構及刻蝕機有效
| 申請號: | 201920843272.6 | 申請日: | 2019-06-05 |
| 公開(公告)號: | CN209747489U | 公開(公告)日: | 2019-12-06 |
| 發明(設計)人: | 曹為龍;張建峰;朱元;王森 | 申請(專利權)人: | 鹽城阿特斯協鑫陽光電力科技有限公司;阿特斯陽光電力集團有限公司 |
| 主分類號: | H01L21/677 | 分類號: | H01L21/677;H01L21/67;H01L31/18 |
| 代理公司: | 11332 北京品源專利代理有限公司 | 代理人: | 胡彬<國際申請>=<國際公布>=<進入國 |
| 地址: | 224431 江蘇省鹽*** | 國省代碼: | 江蘇;32 |
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| 摘要: | |||
| 搜索關鍵詞: | 卡扣本體 卡扣 滾輪結構 滾桿 滾輪 全封閉式結構 本實用新型 卡扣組件 刻蝕機 扣本體 自由端 太陽能電池片 生產技術 周向設置 軸向分布 傳統的 卡接 卡緊 松脫 外周 變形 配置 自由 | ||
1.一種滾輪結構,包括滾桿(1)和套設于所述滾桿(1)外周的滾輪(2),其特征在于,所述滾輪(2)通過卡扣組件(3)卡緊于所述滾桿(1)上;所述卡扣組件(3)包括沿軸向分布于所述滾輪(2)兩側的第一卡扣和第二卡扣,所述第一卡扣與所述第二卡扣均包括環形的卡扣本體(31),所述卡扣本體(31)具有沿周向設置的兩個自由端,所述卡扣本體(31)的兩個自由端被配置為能夠相互扣合以使所述卡扣本體(31)形成全封閉式結構并卡接于所述滾桿(1)的外周。
2.根據權利要求1所述的滾輪結構,其特征在于,所述自由端沿所述卡扣本體(31)的其中一側邊設有L型的通槽(311);所述通槽(311)包括相互連通的第一分槽(3111)和第二分槽(3112),所述第一分槽(3111)與所述第二分槽(3112)均從對應的所述側邊沿所述卡扣本體(31)的寬度方向延伸,且所述第二分槽(3112)的延伸長度大于所述第一分槽(3111)的延伸長度;所述第二分槽(3112)的一端與所述第一分槽(3111)連通,另一端延伸至所述自由端的端面;兩個所述自由端中的一個所述通槽(311)的側壁能夠卡入另一個所述通槽(311)中形成扣合。
3.根據權利要求1所述的滾輪結構,其特征在于,所述滾桿(1)上設有兩個卡槽,兩個所述卡槽沿軸向設置于所述滾輪(2)的兩側,所述第一卡扣與所述第二卡扣分別卡接于兩個所述卡槽內。
4.根據權利要求3所述的滾輪結構,其特征在于,所述卡槽與所述卡扣本體(31)沿所述滾桿(1)軸向的寬度相等。
5.根據權利要求1所述的滾輪結構,其特征在于,所述滾輪(2)包括套接于所述滾桿(1)的外周的滾輪本體(21)和分別設于所述滾輪本體(21)兩側的兩個連接部(22);所述卡扣本體(31)位于所述連接部(22)的側部并與其抵接。
6.根據權利要求5所述的滾輪結構,其特征在于,所述第一卡扣與所述第二卡扣中至少一個上設有插接體(32),所述插接體(32)凸出于所述卡扣本體(31)靠近所述滾輪(2)的一側設置;所述連接部(22)的側壁開設有插槽(221),所述插接體(32)能夠插設于所述插槽(221)內。
7.根據權利要求6所述的滾輪結構,其特征在于,所述插接體(32)與所述插槽(221)均設置為至少兩個;每個所述插槽(221)中均對應插設一個所述插接體(32)。
8.根據權利要求6所述的滾輪結構,其特征在于,所述插接體(32)為圓柱體結構。
9.根據權利要求5所述的滾輪結構,其特征在于,所述滾輪本體(21)包括兩個相互平行且間隔設置的連接面(211)和設于兩個所述連接面(211)之間的接觸面(212);所述連接面(211)與所述連接部(22)連接;所述接觸面(212)為圓柱面。
10.一種刻蝕機,其特征在于,包括權利要求1-9任一項所述的滾輪結構。
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H01L 半導體器件;其他類目中不包括的電固體器件
H01L21-00 專門適用于制造或處理半導體或固體器件或其部件的方法或設備
H01L21-02 .半導體器件或其部件的制造或處理
H01L21-64 .非專門適用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各組的單個器件所使用的除半導體器件之外的固體器件或其部件的制造或處理
H01L21-66 .在制造或處理過程中的測試或測量
H01L21-67 .專門適用于在制造或處理過程中處理半導體或電固體器件的裝置;專門適合于在半導體或電固體器件或部件的制造或處理過程中處理晶片的裝置
H01L21-70 .由在一共用基片內或其上形成的多個固態組件或集成電路組成的器件或其部件的制造或處理;集成電路器件或其特殊部件的制造





