[實(shí)用新型]化學(xué)氣相沉積系統(tǒng)

有效

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 201920839291.1
• 申請(qǐng)日: 2019-06-03
• 公開（公告）號(hào): CN210104068U
• 公開（公告）日: 2020-02-21
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 胡丹;朱劉;余明
• 申請(qǐng)（專利權(quán)）人: 廣東先導(dǎo)先進(jìn)材料股份有限公司
• 主分類號(hào): C23C16/34
• 分類號(hào): C23C16/34;C23C16/44
• 代理公司: 北京五洲洋和知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理事務(wù)所(普通合伙) 11387
• 代理人: 張婷婷;張向琨

本實(shí)用新型提供了一種化學(xué)氣相沉積系統(tǒng)，其包括沉積室、加熱室、模具以及加熱裝置。沉積室具有第一反應(yīng)腔；第二反應(yīng)腔；進(jìn)氣口，連通于第一反應(yīng)腔和第二反應(yīng)腔；出氣口，連通于第一反應(yīng)腔和第二反應(yīng)腔。加熱室位于沉積室的周向外側(cè)。模具設(shè)置于沉積室的第一反應(yīng)腔和第二反應(yīng)腔內(nèi)。加熱裝置設(shè)置于加熱室內(nèi)。由于第一反應(yīng)腔和第二反應(yīng)腔均可接收原料且在加熱裝置的作用下均能到達(dá)原料發(fā)生化學(xué)反應(yīng)的溫度，因此在第一反應(yīng)腔和第二反應(yīng)腔內(nèi)的原料均可發(fā)生化學(xué)反應(yīng)、反應(yīng)后的目的生成物聚集在模具上以形成產(chǎn)品，從而提高了產(chǎn)品的生產(chǎn)效率、降低了生產(chǎn)成本。基于沉積室的雙層結(jié)構(gòu)，本申請(qǐng)尤其適用于大批量生產(chǎn)，擴(kuò)大了化學(xué)氣相沉積系統(tǒng)的應(yīng)用范圍。

技術(shù)領(lǐng)域

本實(shí)用新型涉及化學(xué)氣相沉積技術(shù)領(lǐng)域，尤其涉及一種化學(xué)氣相沉積系統(tǒng)。

背景技術(shù)

由于熱解氮化硼制品具有優(yōu)越的物理性能(純度高達(dá)99.99％，表面致密、氣密性好；耐高溫，耐酸、堿、鹽及有機(jī)試劑，且高溫與絕大多數(shù)熔融金屬、半導(dǎo)體等材料不浸潤(rùn)、不反應(yīng)；抗熱震性好，熱導(dǎo)性好，熱膨脹系數(shù)低；電阻高、介電強(qiáng)度高、介電常數(shù)小、磁損耗角正切低；良好的透微波和紅外線性能)、且在力學(xué)、熱學(xué)、電學(xué)等等性能上有著明顯的各向異性，因此其被廣泛的應(yīng)用作半導(dǎo)體單晶及Ⅲ-Ⅴ族化合物合成用的坩堝、基座。近年來(lái)，隨著半導(dǎo)體材料的蓬勃發(fā)展，熱解氮化硼制品的需求量日漸增多。

熱解氮化硼屬于特種陶瓷材料，化學(xué)氣相沉積系統(tǒng)(也稱化學(xué)氣相沉積爐)是制備其的主要設(shè)備，且用化學(xué)氣相沉積系統(tǒng)制備的熱解氮化硼制品的純度高、密度高、強(qiáng)度高、成品率高。

目前，化學(xué)氣相沉積系統(tǒng)制備的熱解氮化硼制品的數(shù)量取決于系統(tǒng)內(nèi)放置的模具數(shù)量，由于現(xiàn)有的制備熱解氮化硼的化學(xué)氣相沉積系統(tǒng)一般只具有一個(gè)沉積腔室，放置模具的位置也只有一層，因而限制了生產(chǎn)熱解氮化硼制品的數(shù)量，從而大大的增加了熱解氮化硼制品的生產(chǎn)成本(尤其是當(dāng)需要大批量工業(yè)化生產(chǎn)時(shí))。

實(shí)用新型內(nèi)容

鑒于背景技術(shù)中存在的問(wèn)題，本實(shí)用新型的目的在于提供一種化學(xué)氣相沉積系統(tǒng)，其提高了產(chǎn)品的生產(chǎn)效率、降低了生產(chǎn)成本，擴(kuò)大了化學(xué)氣相沉積系統(tǒng)的應(yīng)用范圍。

為了實(shí)現(xiàn)上述目的，本實(shí)用新型提供了一種化學(xué)氣相沉積系統(tǒng)，其包括沉積室、加熱室、模具以及加熱裝置。沉積室具有：第一反應(yīng)腔；第二反應(yīng)腔，在上下方向上位于第一反應(yīng)腔上方；進(jìn)氣口，連通于第一反應(yīng)腔和第二反應(yīng)腔；以及出氣口，連通于第一反應(yīng)腔和第二反應(yīng)腔。加熱室位于沉積室的周向外側(cè)。模具分別設(shè)置于沉積室的第一反應(yīng)腔和第二反應(yīng)腔內(nèi)。加熱裝置設(shè)置于加熱室內(nèi)，用于為沉積室的第一反應(yīng)腔和第二反應(yīng)腔提供熱源。

沉積室包括：第一上壁；第一下壁，與第一上壁沿上下方向間隔設(shè)置；第一側(cè)壁，沿上下方向延伸并連接于第一上壁和第一下壁；以及分隔壁，在上下方向上位于第一上壁與第一下壁之間并連接于第一側(cè)壁。分隔壁與第一下壁、第一側(cè)壁一起形成第一反應(yīng)腔，分隔壁與第一上壁、第一側(cè)壁一起形成第二反應(yīng)腔。

加熱室包括：第二上壁，位于第一上壁周向外側(cè)并連接于第一上壁；第二下壁，位于第一下壁周向外側(cè)并連接于第一下壁；以及第二側(cè)壁，位于第一側(cè)壁周向外側(cè)、沿上下方向延伸并連接于第二上壁和第二下壁。加熱裝置設(shè)置于第一側(cè)壁與第二上壁、第二下壁、第二側(cè)壁一起圍成的腔體內(nèi)。

沉積室還具有：通孔，沿上下方向貫穿設(shè)置于分隔壁，以使第一反應(yīng)腔連通于第二反應(yīng)腔。

進(jìn)氣口設(shè)置于第一上壁，出氣口設(shè)置于第一下壁。或者，進(jìn)氣口設(shè)置于第一下壁，出氣口設(shè)置于第一上壁。

分隔壁為密封結(jié)構(gòu)。進(jìn)氣口包括：第一進(jìn)氣口，設(shè)置于第一下壁；以及第二進(jìn)氣口，設(shè)置于第一上壁。出氣口包括：第一出氣口，設(shè)置于第一側(cè)壁處于第一下壁與分隔壁之間的部分；以及第二出氣口，設(shè)置于第一側(cè)壁處于第一上壁與分隔壁之間的部分。第一進(jìn)氣口和第一出氣口連通于第一反應(yīng)腔，第二進(jìn)氣口和第二出氣口連通于第二反應(yīng)腔。

加熱室設(shè)置有排氣孔。第一出氣口和第二出氣口連通于加熱室。