[實用新型]化學氣相沉積系統(tǒng)

有效

• 申請?zhí)枺?/td>: 201920839291.1
• 申請日: 2019-06-03
• 公開（公告）號: CN210104068U
• 公開（公告）日: 2020-02-21
• 發(fā)明（設(shè)計）人: 胡丹;朱劉;余明
• 申請（專利權(quán)）人: 廣東先導(dǎo)先進材料股份有限公司
• 主分類號: C23C16/34
• 分類號: C23C16/34;C23C16/44
• 代理公司: 北京五洲洋和知識產(chǎn)權(quán)代理事務(wù)所(普通合伙) 11387
• 代理人: 張婷婷;張向琨

1.一種化學氣相沉積系統(tǒng)，其特征在于，

化學氣相沉積系統(tǒng)包括沉積室(1)、加熱室(2)、模具(3)以及加熱裝置(4)；

沉積室(1)具有：第一反應(yīng)腔(11)；第二反應(yīng)腔(12)，在上下方向(Z)上位于第一反應(yīng)腔(11)上方；進氣口(13)，連通于第一反應(yīng)腔(11)和第二反應(yīng)腔(12)；以及出氣口(14)，連通于第一反應(yīng)腔(11)和第二反應(yīng)腔(12)；

加熱室(2)位于沉積室(1)的周向外側(cè)；

模具(3)分別設(shè)置于沉積室(1)的第一反應(yīng)腔(11)和第二反應(yīng)腔(12)內(nèi)；

加熱裝置(4)設(shè)置于加熱室(2)內(nèi)，用于為沉積室(1)的第一反應(yīng)腔(11)和第二反應(yīng)腔(12)提供熱源。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的化學氣相沉積系統(tǒng)，其特征在于，

沉積室(1)包括：第一上壁(1A)；第一下壁(1B)，與第一上壁(1A)沿上下方向(Z)間隔設(shè)置；第一側(cè)壁(1C)，沿上下方向(Z)延伸并連接于第一上壁(1A)和第一下壁(1B)；以及分隔壁(1D)，在上下方向(Z)上位于第一上壁(1A)與第一下壁(1B)之間并連接于第一側(cè)壁(1C)；

分隔壁(1D)與第一下壁(1B)、第一側(cè)壁(1C)一起形成第一反應(yīng)腔(11)，分隔壁(1D)與第一上壁(1A)、第一側(cè)壁(1C)一起形成第二反應(yīng)腔(12)。

3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的化學氣相沉積系統(tǒng)，其特征在于，

加熱室(2)包括：第二上壁(2A)，位于第一上壁(1A)周向外側(cè)并連接于第一上壁(1A)；第二下壁(2B)，位于第一下壁(1B)周向外側(cè)并連接于第一下壁(1B)；以及第二側(cè)壁(2C)，位于第一側(cè)壁(1C)周向外側(cè)、沿上下方向(Z)延伸并連接于第二上壁(2A)和第二下壁(2B)；

加熱裝置(4)設(shè)置于第一側(cè)壁(1C)與第二上壁(2A)、第二下壁(2B)、第二側(cè)壁(2C)一起圍成的腔體內(nèi)。

4.根據(jù)權(quán)利要求2所述的化學氣相沉積系統(tǒng)，其特征在于，沉積室(1)還具有：通孔(15)，沿上下方向(Z)貫穿設(shè)置于分隔壁(1D)，以使第一反應(yīng)腔(11)連通于第二反應(yīng)腔(12)。

5.根據(jù)權(quán)利要求4所述的化學氣相沉積系統(tǒng)，其特征在于，

進氣口(13)設(shè)置于第一上壁(1A)，出氣口(14)設(shè)置于第一下壁(1B)；

或者，進氣口(13)設(shè)置于第一下壁(1B)，出氣口(14)設(shè)置于第一上壁(1A)。

6.根據(jù)權(quán)利要求2所述的化學氣相沉積系統(tǒng)，其特征在于，

分隔壁(1D)為密封結(jié)構(gòu)；

進氣口(13)包括：第一進氣口(13A)，設(shè)置于第一下壁(1B)；以及第二進氣口(13B)，設(shè)置于第一上壁(1A)；

出氣口(14)包括：第一出氣口(14A)，設(shè)置于第一側(cè)壁(1C)處于第一下壁(1B)與分隔壁(1D)之間的部分；以及第二出氣口(14B)，設(shè)置于第一側(cè)壁(1C)處于第一上壁(1A)與分隔壁(1D)之間的部分；

第一進氣口(13A)和第一出氣口(14A)連通于第一反應(yīng)腔(11)，第二進氣口(13B)和第二出氣口(14B)連通于第二反應(yīng)腔(12)。

7.根據(jù)權(quán)利要求6所述的化學氣相沉積系統(tǒng)，其特征在于，

加熱室(2)設(shè)置有排氣孔(2D)；

第一出氣口(14A)和第二出氣口(14B)連通于加熱室(2)。

8.根據(jù)權(quán)利要求1所述的化學氣相沉積系統(tǒng)，其特征在于，

化學氣相沉積系統(tǒng)還包括保溫結(jié)構(gòu)(5)；

保溫結(jié)構(gòu)(5)設(shè)置于第一反應(yīng)腔(11)和第二反應(yīng)腔(12)內(nèi)；和/或

保溫結(jié)構(gòu)(5)設(shè)置于加熱室(2)內(nèi)。

9.根據(jù)權(quán)利要求8所述的化學氣相沉積系統(tǒng)，其特征在于，

設(shè)置于第一反應(yīng)腔(11)中的模具(3)支撐在保溫結(jié)構(gòu)(5)上方；

設(shè)置于第二反應(yīng)腔(12)中的模具(3)懸掛在保溫結(jié)構(gòu)(5)下方。

10.根據(jù)權(quán)利要求1所述的化學氣相沉積系統(tǒng)，其特征在于，

設(shè)置于第一反應(yīng)腔(11)中的模具(3)在數(shù)量上為一個或多個；

設(shè)置于第二反應(yīng)腔(12)中的模具(3)在數(shù)量上為一個或多個。