[實用新型]一種太陽能晶體硅片精準糾偏定位設備有效
| 申請號: | 201920824076.4 | 申請日: | 2019-06-03 |
| 公開(公告)號: | CN209993612U | 公開(公告)日: | 2020-01-24 |
| 發明(設計)人: | 謝建 | 申請(專利權)人: | 創富東日(深圳)科技有限公司 |
| 主分類號: | H01L31/18 | 分類號: | H01L31/18;H01L21/68 |
| 代理公司: | 44375 深圳市韋恩肯知識產權代理有限公司 | 代理人: | 黃昌平;江潔 |
| 地址: | 518104 廣東省深圳市*** | 國省代碼: | 廣東;44 |
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| 摘要: | |||
| 搜索關鍵詞: | 糾偏執行機構 晶體硅片 糾偏軸 卡爪 載板 定位卡爪 訂制 移動軸 太陽能晶體硅片 吸盤 本實用新型 步進電機 定位設備 數值反饋 凸輪軸承 線性導軌 阻擋裝置 破片率 升降軸 糾偏 產能 自制 拍攝 分析 | ||
本實用新型涉及一種太陽能晶體硅片精準糾偏定位設備,包括1塊訂制載板、3臺CCD相機、3套凸輪定位卡爪、1個X移動軸、1個Z移動軸、6套糾偏執行機構、2個訂制載板阻擋裝置,所述凸輪定位卡爪包括卡爪步進電機、卡爪、凸輪、凸輪軸承、卡爪線性導軌;所述糾偏執行機構包括X糾偏軸、Y糾偏軸、θ糾偏軸、Z升降軸以及自制吸盤。通過CCD相機拍攝定制載板和晶體硅片的位置、姿態,然后分析兩者的位置、姿態的偏差數值,并將所述偏差數值反饋給糾偏執行機構,糾偏執行機構可同時對6片晶體硅片的X方向、Y方向以及角度的精確調整,實現晶體硅片的精確定位、降低破片率、提高產能。
技術領域
本實用新型涉及太陽能電池片的精密糾偏定位領域,具體為一種太陽能晶體硅片精準糾偏定位設備。
背景技術
在生產太陽能電池芯片的工藝流程中,為了提高太陽能電池芯片的轉換效率,需要對晶體硅片進行鍍膜,晶體硅片鍍膜之前,首先要將晶體硅片排列到載具里,由于載具邊緣與晶體硅片的空隙較小,所以需要對晶體硅片的位置進行精準糾偏之后,才可以將晶體硅片準確放置到載具內。但是由于晶體硅片本身單薄易碎的特點,傳統的糾偏定位機構在糾偏取片和定位的過程中,很容易導致晶體硅片碎裂,而且不能精準地定位,影響后續的鍍膜效果,導致生產出來的電池片達不到使用要求,甚至無法使用,對生產造成很大的損失。
實用新型內容
本實用新型的目的在于提供一種太陽能晶體硅片精準糾偏定位設備,以解決現有技術存在的晶體硅片在糾偏定位過程中的定位不準確和容易破片的問題,提高晶體硅片的產能、降低損失。
為了解決上述問題,本實用新型提供的技術方案是:一種太陽能晶體硅片精準糾偏定位設備,包括1塊訂制載板、3臺CCD相機、3套凸輪定位卡爪、 1個X移動軸、1個Z移動軸、6套糾偏執行機構、2個訂制載板阻擋裝置,所述凸輪定位卡爪包括卡爪步進電機、卡爪、凸輪、凸輪軸承、卡爪線性導軌;所述糾偏執行機構包括X糾偏軸、Y糾偏軸、θ糾偏軸、Z升降軸以及自制吸盤;
所述訂制載板上設置有方形通孔,所述通孔的尺寸小于晶體硅片的尺寸并大于所述自制吸盤的外徑;所述3臺CCD相機、3套凸輪定位卡爪、X移動軸、Z移動軸安裝在所述訂制載板的上方;所述6套糾偏執行機構并排安裝在所述訂制載板的下方;所述2個訂制載板阻擋裝置對稱安裝在所述訂制載板的前進方向的左右兩端;所述3套凸輪定位卡爪并排安裝在所述訂制載板的上方,并與所述6套糾偏執行機構平行;所述3套CCD相機安裝在所述凸輪定位卡爪的上方,用于拍攝所述訂制載板和晶體硅片的位置,并將拍攝結果反饋給糾偏執行機構;所述X移動軸、Z移動軸控制所述凸輪定位卡爪往X方向、Z方向移動;所述自制吸盤安裝在所述糾偏執行機構的頂端,所述X糾偏軸、Y糾偏軸、θ糾偏軸分別對晶體硅片的X方向、Y方向以及角度進行調整;所述Z升降軸用于控制自制吸盤的升降。
進一步地,所述卡爪步進電機通過旋轉凸輪改變凸輪軸承與凸輪的距離,從而改變左右兩個卡爪在所述卡爪線性導軌內左右移動,實現所述卡爪的張開和閉合,每套凸輪定位卡爪包含8個卡爪,所述8個卡爪由同一個卡爪步進電機帶動凸輪旋轉進行張開和閉合,保證8個卡爪的同步對中。
進一步地,所述8個卡爪分為前后兩組,前4個卡爪分為一組,后4個卡爪分為另一組,每組卡爪分別抓取一片晶體硅片。
進一步地,所述X糾偏軸與Y糾偏軸垂直安裝,所述X糾偏軸與Y糾偏軸均設置有滑板、交叉滾珠導軌、第一絲桿步進電機;所述第一絲桿步進電機用于控制所述滑板在所述交叉滾珠導軌往X方向或者Y方向移動。
進一步地,所述θ糾偏軸包括轉盤、深溝球軸承、大同步輪、小同步輪、糾偏步進電機,所述轉盤為圓環形結構,安裝在所述Z升降軸的下方,并垂直于Z升降軸;所述深溝球軸承安裝在圓環形結構的中間;所述糾偏步進電機連接在小同步輪上,通過小同步輪傳動到大同步輪,大同步輪帶動轉盤轉動。
進一步地,所述Z升降軸包括升降滑板、升降線性導軌、第二絲桿步進電機,所述第二絲桿步進電機控制所述升降滑板在升降線性導軌內上下移動。
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H01L 半導體器件;其他類目中不包括的電固體器件
H01L31-00 對紅外輻射、光、較短波長的電磁輻射,或微粒輻射敏感的,并且專門適用于把這樣的輻射能轉換為電能的,或者專門適用于通過這樣的輻射進行電能控制的半導體器件;專門適用于制造或處理這些半導體器件或其部件的方法或
H01L31-02 .零部件
H01L31-0248 .以其半導體本體為特征的
H01L31-04 .用作轉換器件的
H01L31-08 .其中的輻射控制通過該器件的電流的,例如光敏電阻器
H01L31-12 .與如在一個共用襯底內或其上形成的,一個或多個電光源,如場致發光光源在結構上相連的,并與其電光源在電氣上或光學上相耦合的





