[實(shí)用新型]一種太陽(yáng)能晶體硅片精準(zhǔn)糾偏定位設(shè)備

有效

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 201920824076.4
• 申請(qǐng)日: 2019-06-03
• 公開（公告）號(hào): CN209993612U
• 公開（公告）日: 2020-01-24
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 謝建
• 申請(qǐng)（專利權(quán)）人: 創(chuàng)富東日(深圳)科技有限公司
• 主分類號(hào): H01L31/18
• 分類號(hào): H01L31/18;H01L21/68
• 代理公司: 44375 深圳市韋恩肯知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理有限公司
• 代理人: 黃昌平;江潔

1.一種太陽(yáng)能晶體硅片精準(zhǔn)糾偏定位設(shè)備，其特征在于：包括1塊訂制載板、3臺(tái)CCD相機(jī)、3套凸輪定位卡爪、1個(gè)X移動(dòng)軸、1個(gè)Z移動(dòng)軸、6套糾偏執(zhí)行機(jī)構(gòu)、2個(gè)訂制載板阻擋裝置，所述凸輪定位卡爪包括卡爪步進(jìn)電機(jī)、卡爪、凸輪、凸輪軸承、卡爪線性導(dǎo)軌；所述糾偏執(zhí)行機(jī)構(gòu)包括X糾偏軸、Y糾偏軸、θ糾偏軸、Z升降軸以及自制吸盤；

所述訂制載板上設(shè)置有方形通孔，所述通孔的尺寸小于晶體硅片的尺寸并大于所述自制吸盤的外徑；所述3臺(tái)CCD相機(jī)、3套凸輪定位卡爪、X移動(dòng)軸、Z移動(dòng)軸安裝在所述訂制載板的上方；所述6套糾偏執(zhí)行機(jī)構(gòu)并排安裝在所述訂制載板的下方；所述2個(gè)訂制載板阻擋裝置對(duì)稱安裝在所述訂制載板的前進(jìn)方向的左右兩端；所述3套凸輪定位卡爪并排安裝在所述訂制載板的上方，并與所述6套糾偏執(zhí)行機(jī)構(gòu)平行；所述3套CCD相機(jī)安裝在所述凸輪定位卡爪的上方，用于拍攝所述訂制載板和晶體硅片的位置，并將拍攝結(jié)果反饋給糾偏執(zhí)行機(jī)構(gòu)；所述X移動(dòng)軸、Z移動(dòng)軸控制所述凸輪定位卡爪往X方向、Z方向移動(dòng)；所述自制吸盤安裝在所述糾偏執(zhí)行機(jī)構(gòu)的頂端，所述X糾偏軸、Y糾偏軸、θ糾偏軸分別對(duì)晶體硅片的X方向、Y方向以及角度進(jìn)行調(diào)整；所述Z升降軸用于控制自制吸盤的升降。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種太陽(yáng)能晶體硅片精準(zhǔn)糾偏定位設(shè)備，其特征在于：所述卡爪步進(jìn)電機(jī)通過(guò)旋轉(zhuǎn)凸輪改變凸輪軸承與凸輪的距離，從而改變左右兩個(gè)卡爪在所述卡爪線性導(dǎo)軌內(nèi)左右移動(dòng)，實(shí)現(xiàn)所述卡爪的張開和閉合，每套凸輪定位卡爪包含8個(gè)卡爪，所述8個(gè)卡爪由同一個(gè)卡爪步進(jìn)電機(jī)帶動(dòng)凸輪旋轉(zhuǎn)進(jìn)行張開和閉合，保證8個(gè)卡爪的同步對(duì)中。

3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的一種太陽(yáng)能晶體硅片精準(zhǔn)糾偏定位設(shè)備，其特征在于：所述8個(gè)卡爪分為前后兩組，前4個(gè)卡爪分為一組，后4個(gè)卡爪分為另一組，每組卡爪分別抓取一片晶體硅片。

4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種太陽(yáng)能晶體硅片精準(zhǔn)糾偏定位設(shè)備，其特征在于：所述X糾偏軸與Y糾偏軸垂直安裝，所述X糾偏軸與Y糾偏軸均設(shè)置有滑板、交叉滾珠導(dǎo)軌、第一絲桿步進(jìn)電機(jī)；所述第一絲桿步進(jìn)電機(jī)用于控制所述滑板在所述交叉滾珠導(dǎo)軌往X方向或者Y方向移動(dòng)。

5.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種太陽(yáng)能晶體硅片精準(zhǔn)糾偏定位設(shè)備，其特征在于：所述θ糾偏軸包括轉(zhuǎn)盤、深溝球軸承、大同步輪、小同步輪、糾偏步進(jìn)電機(jī)，所述轉(zhuǎn)盤為圓環(huán)形結(jié)構(gòu)，安裝在所述Z升降軸的下方，并垂直于Z升降軸；所述深溝球軸承安裝在圓環(huán)形結(jié)構(gòu)的中間；所述糾偏步進(jìn)電機(jī)連接在小同步輪上，通過(guò)小同步輪傳動(dòng)到大同步輪，大同步輪帶動(dòng)轉(zhuǎn)盤轉(zhuǎn)動(dòng)。

6.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種太陽(yáng)能晶體硅片精準(zhǔn)糾偏定位設(shè)備，其特征在于：所述Z升降軸包括升降滑板、升降線性導(dǎo)軌、第二絲桿步進(jìn)電機(jī)，所述第二絲桿步進(jìn)電機(jī)控制所述升降滑板在升降線性導(dǎo)軌內(nèi)上下移動(dòng)。

7.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種太陽(yáng)能晶體硅片精準(zhǔn)糾偏定位設(shè)備，其特征在于：所述2個(gè)訂制載板阻擋裝置用于阻擋所述訂制載板，確保訂制載板初始位置準(zhǔn)確，后續(xù)每完成一排晶體硅片的糾偏，所述2個(gè)訂制載板阻擋裝置就同時(shí)向前移動(dòng)一排晶體硅片的距離。

8.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種太陽(yáng)能晶體硅片精準(zhǔn)糾偏定位設(shè)備，其特征在于：所述一種太陽(yáng)能晶體硅片精準(zhǔn)糾偏定位設(shè)備可一次性同時(shí)對(duì)6片晶體硅片進(jìn)行精準(zhǔn)糾偏定位。