[實(shí)用新型]一種生長(zhǎng)砷化鎵單晶的溫控爐有效
| 申請(qǐng)?zhí)枺?/td> | 201920807113.0 | 申請(qǐng)日： | 2019-05-31 |
| 公開（公告）號(hào)： | CN210215611U | 公開（公告）日： | 2020-03-31 |
| 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人： | 代曉波 | 申請(qǐng)（專利權(quán)）人： | 獨(dú)山中科晶元信息材料有限公司 |
| 主分類號(hào)： | C30B15/14 | 分類號(hào)： | C30B15/14;C30B15/10;C30B29/42 |
| 代理公司： | 北京輕創(chuàng)知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理有限公司 11212 | 代理人： | 談杰 |
| 地址： | 558200 貴州省黔南布依*** | 國(guó)省代碼： | 貴州;52 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關(guān)鍵詞： | 一種 生長(zhǎng) 砷化鎵單晶 溫控 | ||
1.一種生長(zhǎng)砷化鎵單晶的溫控爐,其特征在于：包括溫控爐本體(1)，所述溫控爐本體(1)的內(nèi)壁安裝有保溫罩(2)，所述保溫罩(2)的內(nèi)腔設(shè)置有坩堝(8)和石墨加熱器(3)，所述坩堝(8)的中心軸與所述溫控爐本體(1)的中心軸重合，所述石墨加熱器(3)在所述坩堝(8)與所述保溫罩(2)之間；
所述坩堝(8)的底部設(shè)置有放置架(7)，所述放置架(7)由兩個(gè)弧形固定桿(701)和一個(gè)固定環(huán)(702)連接組成，且所述放置架(7)的凹陷面朝上，所述放置架(7)的內(nèi)側(cè)開設(shè)有限位槽(9)，所述限位槽(9)沿所述固定桿(701)長(zhǎng)度方向延伸，且所述限位槽(9)貫穿所述放置架(7)的上表面，所述坩堝(8)的外側(cè)設(shè)置有限位條塊(10)，所述限位條塊(10)與所述限位槽(9)相互對(duì)應(yīng)，所述放置架(7)的底部通過(guò)連接部(6)與托桿(4)的頂端相連，所述托桿(4)的底端貫穿所述溫控爐本體(1)的下表面，并與旋轉(zhuǎn)系統(tǒng)(5)相連。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述一種生長(zhǎng)砷化鎵單晶的溫控爐，其特征在于：所述坩堝(8)的外側(cè)面與所述放置架(7)的內(nèi)側(cè)壁緊密貼合。
3.根據(jù)權(quán)利要求1所述一種生長(zhǎng)砷化鎵單晶的溫控爐，其特征在于：所述限位槽(9)與所述限位條塊(10)間隙配合。
4.根據(jù)權(quán)利要求1所述一種生長(zhǎng)砷化鎵單晶的溫控爐，其特征在于：所述坩堝(8)的頂部設(shè)置有吊耳：(11)，所述吊耳：(11)有兩個(gè)，且對(duì)稱分布在所述坩堝(8)的外側(cè)。
5.根據(jù)權(quán)利要求1所述一種生長(zhǎng)砷化鎵單晶的溫控爐，其特征在于：所述溫控爐本體(1)底部的中心位置安裝有密封環(huán)(12)，所述托桿(4)貫穿所述密封環(huán)(12)，且所述托桿(4)的外側(cè)壁與所述密封環(huán)(12)的內(nèi)側(cè)壁間隙配合。
6.根據(jù)權(quán)利要求1所述一種生長(zhǎng)砷化鎵單晶的溫控爐，其特征在于：所述放置架(7)為鋼鐵合金材質(zhì)。
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