[實用新型]一種砷化鎵單晶爐電氣控制系統(tǒng)

有效

• 申請?zhí)枺?/td>: 201920807111.1
• 申請日: 2019-05-31
• 公開（公告）號: CN209765308U
• 公開（公告）日: 2019-12-10
• 發(fā)明（設(shè)計）人: 代曉波
• 申請（專利權(quán)）人: 獨山中科晶元信息材料有限公司
• 主分類號: G05B19/042
• 分類號: G05B19/042
• 代理公司: 11212 北京輕創(chuàng)知識產(chǎn)權(quán)代理有限公司
• 代理人: 談杰

本實用新型公開了一種砷化鎵單晶爐電氣控制系統(tǒng)，包括中心控制部分、運動控制部分、氣體控制部分、溫度控制部分、水路檢測部分和操作面板，所述運動控制部分、氣體控制部分、溫度控制部分、水路檢測部分和操作面板分別與所述中心控制部分相連，所述溫度控制部分包括多流道溫度調(diào)節(jié)器和加熱器；其中，所述多流道溫度調(diào)節(jié)器內(nèi)部含有輸出壓力不同的若干條水流通道。有益效果在于：通過采用多流道溫度調(diào)節(jié)器，可通過控制水流通過不同的流道，控制水流的流速，從而對應(yīng)不同的升溫速度，控制操作簡單；通過多流道溫度控制器，可在需要不同升溫速度時，開啟對應(yīng)的流道，可防止增壓設(shè)備常開，更加節(jié)能。

技術(shù)領(lǐng)域

本實用新型涉及砷化鎵單晶爐控制技術(shù)領(lǐng)域，具體涉及一種砷化鎵單晶爐電氣控制系統(tǒng)。

背景技術(shù)

砷化鎵是微電子領(lǐng)域和光電子領(lǐng)域的重要材料，現(xiàn)有的砷化鎵單晶爐通常采用可編程控制器控制。申請?zhí)枮椋篊N201110429502.2的中國專利中，公開了一種砷化鎵單晶爐電氣控制系統(tǒng)，通過采用可編程控制器調(diào)節(jié)砷化鎵單晶爐的使用狀態(tài)。在上述控制系統(tǒng)中，溫度控制部分采用多段式溫度調(diào)節(jié)器，其內(nèi)部通過一功率可調(diào)的水泵輸送水流，從而通過調(diào)節(jié)不同的流量調(diào)節(jié)不同的升溫效率。此種控制方式在使用時存在以下不足：由于需要調(diào)節(jié)水泵的功率，因而只能進行線性調(diào)節(jié)水流速度，無法針對不同的升溫需求快速調(diào)節(jié)至指定水流速度；水泵一直處于開啟狀態(tài)，消耗電能較多，造成了資源浪費。

實用新型內(nèi)容

本實用新型的目的就在于為了解決上述問題而提供一種砷化鎵單晶爐電氣控制系統(tǒng)，本實用新型提供的諸多技術(shù)方案中優(yōu)選的技術(shù)方案具有：節(jié)約能源，可通過設(shè)置多檔式調(diào)節(jié)，提高調(diào)節(jié)的效率和準(zhǔn)確性等技術(shù)效果，詳見下文闡述。

為實現(xiàn)上述目的，本實用新型提供了以下技術(shù)方案：

本實用新型提供的一種砷化鎵單晶爐電氣控制系統(tǒng)，包括中心控制部分、運動控制部分、氣體控制部分、溫度控制部分、水路檢測部分和操作面板，所述運動控制部分、氣體控制部分、溫度控制部分、水路檢測部分和操作面板分別與所述中心控制部分相連，所述溫度控制部分包括多流道溫度調(diào)節(jié)器和加熱器；

其中，所述多流道溫度調(diào)節(jié)器內(nèi)部含有輸出壓力不同的若干條水流通道。

作為優(yōu)選，所述多流道溫度調(diào)節(jié)器內(nèi)部設(shè)置有三條輸出壓力不同的水流通道，分別為主流道、第一副流道和第二副流道，所述第一副流道與第二副流道的輸入輸出端均與所述主流道相連通。

作為優(yōu)選，所述主流道、所述第一副流道和所述第二副流道上均設(shè)置有關(guān)閉流道的閥門結(jié)構(gòu)。

作為優(yōu)選，所述閥門結(jié)構(gòu)為電磁閥，對應(yīng)主流道、第一副流道和第二副流道的分別為主電磁閥、第一電磁閥和第二電磁閥，其中所述主電磁閥位于所述第一副流道的輸入端和輸出端之間，且該主電磁閥位于所述第二副流道的輸入端和輸出端之間，且所述第一副流道上安裝有第一增壓泵，所述第二副流道上安裝有第二增壓泵。

作為優(yōu)選，所述第一電磁閥位于所述第一副流道的輸入端與所述第一增壓泵之間。

作為優(yōu)選，所述第二電磁閥位于所述第二副流道的輸入端與所述第二增壓泵之間。

綜上，本實用新型的有益效果在于：1、通過采用多流道溫度調(diào)節(jié)器，可通過控制水流通過不同的流道，控制水流的流速，從而對應(yīng)不同的升溫速度，控制操作簡單；

2、通過多流道溫度控制器，可在需要不同升溫速度時，開啟對應(yīng)的流道，可防止增壓設(shè)備常開，更加節(jié)能。

附圖說明

為了更清楚地說明本實用新型實施例或現(xiàn)有技術(shù)中的技術(shù)方案，下面將對實施例或現(xiàn)有技術(shù)描述中所需要使用的附圖作簡單地介紹，顯而易見地，下面描述中的附圖僅僅是本實用新型的一些實施例，對于本領(lǐng)域普通技術(shù)人員來講，在不付出創(chuàng)造性勞動的前提下，還可以根據(jù)這些附圖獲得其他的附圖。

圖1是本實用新型的控制系統(tǒng)框圖；