[實(shí)用新型]一種砷化鎵單晶爐電氣控制系統(tǒng)有效
| 申請(qǐng)?zhí)枺?/td> | 201920807111.1 | 申請(qǐng)日： | 2019-05-31 |
| 公開（公告）號(hào)： | CN209765308U | 公開（公告）日： | 2019-12-10 |
| 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人： | 代曉波 | 申請(qǐng)（專利權(quán)）人： | 獨(dú)山中科晶元信息材料有限公司 |
| 主分類號(hào)： | G05B19/042 | 分類號(hào)： | G05B19/042 |
| 代理公司： | 11212 北京輕創(chuàng)知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理有限公司 | 代理人： | 談杰 |
| 地址： | 558200 貴州省黔南布依*** | 國(guó)省代碼： | 貴州;52 |
| 權(quán)利要求書： | 查看更多 | 說(shuō)明書： | 查看更多 |
| 摘要： | |||
| 搜索關(guān)鍵詞： | 多流道 溫度調(diào)節(jié)器 操作面板 氣體控制 水路檢測(cè) 運(yùn)動(dòng)控制 中心控制 流道 電氣控制系統(tǒng) 加熱器 本實(shí)用新型 砷化鎵單晶 溫度控制器 輸出壓力 水流通道 水流通過(guò) 增壓設(shè)備 節(jié)能 | ||
1.一種砷化鎵單晶爐電氣控制系統(tǒng)，包括中心控制部分、運(yùn)動(dòng)控制部分、氣體控制部分、溫度控制部分、水路檢測(cè)部分和操作面板(11)，所述運(yùn)動(dòng)控制部分、氣體控制部分、溫度控制部分、水路檢測(cè)部分和操作面板(11)分別與所述中心控制部分相連，其特征在于：所述溫度控制部分包括多流道溫度調(diào)節(jié)器(8)和加熱器(9)；
其中，所述多流道溫度調(diào)節(jié)器(8)內(nèi)部含有輸出壓力不同的若干條水流通道。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述一種砷化鎵單晶爐電氣控制系統(tǒng)，其特征在于：所述多流道溫度調(diào)節(jié)器(8)內(nèi)部設(shè)置有三條輸出壓力不同的水流通道，分別為主流道(801)、第一副流道(804)和第二副流道(805)，所述第一副流道(804)與第二副流道(805)的輸入輸出端均與所述主流道(801)相連通。
3.根據(jù)權(quán)利要求2所述一種砷化鎵單晶爐電氣控制系統(tǒng)，其特征在于：所述主流道(801)、所述第一副流道(804)和所述第二副流道(805)上均設(shè)置有關(guān)閉流道的閥門結(jié)構(gòu)。
4.根據(jù)權(quán)利要求3所述一種砷化鎵單晶爐電氣控制系統(tǒng)，其特征在于：所述閥門結(jié)構(gòu)為電磁閥，對(duì)應(yīng)主流道(801)、第一副流道(804)和第二副流道(805)的分別為主電磁閥(807)、第一電磁閥(802)和第二電磁閥(808)，其中所述主電磁閥(807)位于所述第一副流道(804)的輸入端和輸出端之間，且該主電磁閥(807)位于所述第二副流道(805)的輸入端和輸出端之間，且所述第一副流道(804)上安裝有第一增壓泵(803)，所述第二副流道(805)上安裝有第二增壓泵(806)。
5.根據(jù)權(quán)利要求4所述一種砷化鎵單晶爐電氣控制系統(tǒng)，其特征在于：所述第一電磁閥(802)位于所述第一副流道(804)的輸入端與所述第一增壓泵(803)之間。
6.根據(jù)權(quán)利要求4所述一種砷化鎵單晶爐電氣控制系統(tǒng)，其特征在于：所述第二電磁閥(808)位于所述第二副流道(805)的輸入端與所述第二增壓泵(806)之間。
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