[實用新型]一種砷化鎵晶體生長用石英坩堝

有效

• 申請號: 201920806853.2
• 申請日: 2019-05-31
• 公開（公告）號: CN210215622U
• 公開（公告）日: 2020-03-31
• 發明（設計）人: 代曉波
• 申請（專利權）人: 獨山中科晶元信息材料有限公司
• 主分類號: C30B35/00
• 分類號: C30B35/00;C30B29/42
• 代理公司: 北京輕創知識產權代理有限公司 11212
• 代理人: 談杰

1.一種砷化鎵晶體生長用石英坩堝，其特征在于：包括坩堝本體(2)和頂蓋(6)，所述坩堝本體(2)頂部加工成型有環形的外翻邊(3)，所述頂蓋(6)套裝在所述坩堝本體(2)上方，所述頂蓋(6)上方設置有提手(4)，所述坩堝本體(2)內壁加工成型有至少兩個導向槽(7)，所述頂蓋(6)下方設置有對應所述導向槽(7)的取料組件(1)；

所述取料組件(1)包括連接螺釘(101)、若干個豎直布置的連接桿(102)和承托環(103)，所述連接桿(102)固定安裝在所述頂蓋(6)下表面，所述承托環(103)設置在所述連接桿(102)底端，且通過所述連接螺釘(101)與所述連接桿(102)固定連接。

2.根據權利要求1所述一種砷化鎵晶體生長用石英坩堝，其特征在于：所述導向槽(7)的數量共有四個，沿所述坩堝本體(2)內壁周向布置。

3.根據權利要求1所述一種砷化鎵晶體生長用石英坩堝，其特征在于：所述提手(4)外壁上套裝有防燙包覆層(5)。

4.根據權利要求1所述一種砷化鎵晶體生長用石英坩堝，其特征在于：所述頂蓋(6)外壁上加工成型有防滑紋路。

5.根據權利要求1所述一種砷化鎵晶體生長用石英坩堝，其特征在于：所述連接桿(102)的數量共有四個，呈圓周陣列布置在所述頂蓋(6)下表面，所述連接桿(102)底端和所述承托環(103)內部均開設有配合所述連接螺釘(101)進行固定的螺紋孔。

6.根據權利要求1所述一種砷化鎵晶體生長用石英坩堝，其特征在于：所述連接螺釘(101)和所述連接桿(102)采用銅鎢合金作為制造材料。