[實用新型]熱處理裝置

有效

• 申請號: 201920804593.5
• 申請日: 2019-05-30
• 公開（公告）號: CN210378972U
• 公開（公告）日: 2020-04-21
• 發明（設計）人: 小林聰樹
• 申請（專利權）人: 東京毅力科創株式會社
• 主分類號: H01L21/67
• 分類號: H01L21/67
• 代理公司: 北京集佳知識產權代理有限公司 11227
• 代理人: 王海奇;舒艷君

本實用新型涉及熱處理裝置。提供能將基板保持件穩定地保持在保溫臺且能抑制熱量從保溫臺的上方向保溫臺的下方散失的技術。熱處理裝置具備處理容器，其包括沿鉛垂方向延伸的圓筒狀的反應管；基板保持件，其在反應管的內部沿鉛垂方向隔開間隔地保持多個基板；加熱器，其從反應管的徑向外側對反應管的內部加熱；蓋體，其對處理容器的下端部的開口部進行開閉；及保溫臺，其配置在基板保持件與蓋體之間，保溫臺具有沿鉛垂方向延伸的碳化硅制的圓筒部；配置于圓筒部的徑向內側的第一隔熱部；及配置于圓筒部的徑向外側的第二隔熱部，第一隔熱部包括沿鉛垂方向隔開間隔排列的多個圓盤狀翅片，第二隔熱部包括沿鉛垂方向隔開間隔排列的多個環形盤狀翅片。

技術領域

本公開涉及熱處理裝置。

背景技術

專利文獻1所記載的立式熱處理裝置具備：處理容器；在處理容器的內部保持基板的基板保持件；對處理容器的下端部的開口部進行開閉的蓋體；以及配置于基板保持件與蓋體之間的保溫臺。保溫臺在基板保持件的下方具有沿上下方向排列的多個碳化硅制隔熱板。另外，保溫臺在多個碳化硅制隔熱板的下方具有沿上下方向排列的多個石英制隔熱板。

專利文獻1：日本特開2006-32386號公報

實用新型內容

本公開的一個實施方式提供能夠將基板保持件穩定地保持在保溫臺、且能夠抑制熱量從保溫臺的上方向保溫臺的下方散失的技術。

本公開的一個實施方式所涉及的熱處理裝置具備：

處理容器，其包括沿鉛垂方向延伸的圓筒狀的反應管；

基板保持件，其在所述反應管的內部，沿鉛垂方向隔開間隔地保持多個基板；

加熱器，其從所述反應管的徑向外側對所述反應管的內部進行加熱；

蓋體，其對所述處理容器的下端部的開口部進行開閉；以及

保溫臺，其配置在所述基板保持件與所述蓋體之間，

所述保溫臺具有：沿鉛垂方向延伸的碳化硅制的圓筒部；配置于所述圓筒部的徑向內側的第一隔熱部；以及配置于所述圓筒部的徑向外側的第二隔熱部，

所述第一隔熱部包括沿鉛垂方向隔開間隔地排列的多個圓盤狀翅片，

所述第二隔熱部包括沿鉛垂方向隔開間隔地排列的多個環形盤狀翅片。

根據本公開的一個實施方式，能夠將基板保持件穩定地保持在保溫臺，并且抑制熱量從保溫臺的上方向保溫臺的下方散失。

附圖說明

圖1是表示一實施方式所涉及的熱處理裝置的圖。

圖2是表示一實施方式所涉及的保溫臺的圖。

圖3是從下方觀察一實施方式所涉及的圓盤狀翅片的圖。

圖4是從上方觀察一實施方式所涉及的圓盤狀翅片的圖。

圖5是一實施方式所涉及的圓盤狀翅片組裝完成時的剖視圖，是沿著圖4的V－V線的剖視圖。

圖6是從下方觀察一實施方式所涉及的環形盤狀翅片的圖。

圖7是從上方觀察一實施方式所涉及的環形盤狀翅片圖。

圖8是一實施方式所涉及的環形盤狀翅片組裝完成時的剖視圖，是沿著圖7的VIII－VIII線的剖視圖。

圖9是從上方觀察一實施方式所涉及的翻倒防止部以及旋轉防止部的圖。

圖10是表示解除了圖9所示的翻倒防止部以及旋轉防止部的功能的狀態的一個例子的圖。

具體實施方式