[實用新型]一種加熱裝置和光刻機(jī)

有效

• 申請?zhí)枺?/td>: 201920802638.5
• 申請日: 2019-05-30
• 公開（公告）號: CN209821589U
• 公開（公告）日: 2019-12-20
• 發(fā)明（設(shè)計）人: 郝保同;李文東
• 申請（專利權(quán)）人: 上海微電子裝備(集團(tuán))股份有限公司
• 主分類號: G03F7/20
• 分類號: G03F7/20
• 代理公司: 31295 上海思捷知識產(chǎn)權(quán)代理有限公司
• 代理人: 王宏婧

本實用新型提供的一種加熱裝置和光刻機(jī)，所述加熱裝置用于加熱介質(zhì)，所述加熱裝置包括導(dǎo)熱管、套設(shè)在所述導(dǎo)熱管的外表面上的至少一個加熱片，所述加熱片沿著介質(zhì)流入導(dǎo)熱管的一端向介質(zhì)流出導(dǎo)熱管的一端依次設(shè)置，所述加熱片用于產(chǎn)生熱量，所述加熱片包括內(nèi)絕緣介質(zhì)層、電阻發(fā)熱層和外絕緣介質(zhì)層，所述內(nèi)絕緣介質(zhì)層、電阻發(fā)熱層和外絕緣介質(zhì)層沿著從所述加熱片靠近所述所述導(dǎo)熱管的一面到遠(yuǎn)離所述導(dǎo)熱管的一面依次設(shè)置，所述內(nèi)絕緣介質(zhì)層用于所述導(dǎo)熱管與所述電阻發(fā)熱層之間的絕緣，所述外絕緣介質(zhì)層用于所述電阻發(fā)熱層的絕緣。本實用新型中的加熱裝置和光刻機(jī)的換熱效率可有效改善。

技術(shù)領(lǐng)域

本實用新型涉及加熱技術(shù)領(lǐng)域，特別涉及一種加熱裝置和光刻機(jī)。

背景技術(shù)

在光刻機(jī)中，對于溫度要求高的被控對象，尤其是大熱容對象，需要采用具有較高溫度精度的液體進(jìn)行溫度控制，因此液體的溫度精度是影響被控對象精度的關(guān)鍵因素，而液體的溫度精度由液體的溫度控制情況決定。目前光刻機(jī)中使用的液體多采用冷卻后加熱的方式進(jìn)行溫度控制，加熱時多采用相應(yīng)的加熱裝置對液體進(jìn)行加熱。

現(xiàn)有技術(shù)中的加熱裝置通常包括一用于容置液體的加熱容器，以及設(shè)置在加熱容器的內(nèi)腔中的加熱器，所述加熱器可對所述液體進(jìn)行加熱。如圖1所示，圖1是現(xiàn)有技術(shù)中的一種加熱裝置的結(jié)構(gòu)示意圖，所述加熱容器為箱體110，所述加熱器為加熱絲120，箱體110的進(jìn)水口111設(shè)置在箱體的一側(cè)，箱體110的排水口112設(shè)置在箱體110的頂部，液體冷卻后由箱體110的進(jìn)水口111進(jìn)入箱體110的內(nèi)腔中，經(jīng)設(shè)置在箱體110的內(nèi)腔中的三組加熱絲加熱后從箱體110頂部的排水口112流出。

由于液體經(jīng)三組加熱絲120加熱后從位于箱體110頂部的排水口112流出，因此箱體110的內(nèi)部始終充滿液體，導(dǎo)致液體在箱體110內(nèi)的流速較慢，從而導(dǎo)致整個加熱裝置的換熱系數(shù)K不大，換熱效率低，進(jìn)而導(dǎo)致液體的溫升速率較慢，容易出現(xiàn)溫漂現(xiàn)象。其次，加熱絲120安裝在箱體110的內(nèi)壁的法蘭上，法蘭需要通過螺栓緊固在箱體的內(nèi)壁上，對于始終充滿液體的箱體110而言有漏液的風(fēng)險。另外，因箱體110內(nèi)始終充滿液體，因此箱體110為一個壓力容器，導(dǎo)致箱體110的加工工藝要求高，從而導(dǎo)致加熱裝置的制造成本高。

實用新型內(nèi)容

本實用新型的目的在于提供一種加熱裝置和光刻機(jī)，以解決現(xiàn)有的加熱裝置和光刻機(jī)換熱效率低的問題。

為解決上述技術(shù)問題，本實用新型提供一種加熱裝置，用于加熱介質(zhì)，其特征在于，包括導(dǎo)熱管、套設(shè)在所述導(dǎo)熱管的外表面上的至少一個加熱片，所述加熱片沿著介質(zhì)流入導(dǎo)熱管的一端向介質(zhì)流出導(dǎo)熱管的一端依次設(shè)置，所述加熱片用于產(chǎn)生熱量，所述加熱片包括內(nèi)絕緣介質(zhì)層、電阻發(fā)熱層和外絕緣介質(zhì)層，所述內(nèi)絕緣介質(zhì)層、電阻發(fā)熱層和外絕緣介質(zhì)層沿著從所述加熱片靠近所述所述導(dǎo)熱管的一面到遠(yuǎn)離所述導(dǎo)熱管的一面依次設(shè)置，所述內(nèi)絕緣介質(zhì)層用于所述導(dǎo)熱管與所述電阻發(fā)熱層之間的絕緣，所述外絕緣介質(zhì)層用于所述電阻發(fā)熱層的絕緣。

可選的，還包括溫度檢測裝置和控制裝置，所述溫度檢測裝置用于檢測所述介質(zhì)的溫度，所述控制裝置用于根據(jù)所述檢測裝置檢測的溫度控制所述加熱片產(chǎn)生熱量。

可選的，所述加熱片的數(shù)量為三個，三個所述加熱片分別為第一加熱片、第二加熱片和第三加熱片，三個所述加熱片沿著介質(zhì)流入導(dǎo)熱管的一端向介質(zhì)流出導(dǎo)熱管的一端依次間隔設(shè)置。

可選的，所述第一加熱片、第二加熱片和第三加熱片的最大加熱功率依次降低、加熱精度依次增高。

可選的，所述溫度檢測裝置的數(shù)量為三個，分別為第一溫度檢測裝置、第二溫度檢測裝置和第三溫度檢測裝置，所述第一溫度檢測裝置設(shè)置在所述第一加熱片和所述第二加熱片之間，所述第二溫度檢測裝置設(shè)置在所述第二加熱片和所述第三加熱片之間，所述第三溫度檢測裝置設(shè)置在所述第三加熱片與介質(zhì)流出所述導(dǎo)熱管的一端之間。

可選的，所述第一溫度檢測裝置、所述第二溫度檢測裝置和所述第三溫度檢測裝置的檢測精度依次增加。