[實用新型]一種加熱裝置和光刻機

有效

• 申請號: 201920802638.5
• 申請日: 2019-05-30
• 公開（公告）號: CN209821589U
• 公開（公告）日: 2019-12-20
• 發明（設計）人: 郝保同;李文東
• 申請（專利權）人: 上海微電子裝備(集團)股份有限公司
• 主分類號: G03F7/20
• 分類號: G03F7/20
• 代理公司: 31295 上海思捷知識產權代理有限公司
• 代理人: 王宏婧

1.一種加熱裝置，用于加熱介質，其特征在于，包括導熱管、套設在所述導熱管的外表面上的至少一個加熱片，所述加熱片沿著介質流入導熱管的一端向介質流出導熱管的一端依次設置，所述加熱片用于產生熱量，所述加熱片包括內絕緣介質層、電阻發熱層和外絕緣介質層，所述內絕緣介質層、電阻發熱層和外絕緣介質層沿著從所述加熱片靠近所述導熱管的一面到遠離所述導熱管的一面依次設置，所述內絕緣介質層用于所述導熱管與所述電阻發熱層之間的絕緣，所述外絕緣介質層用于所述電阻發熱層的絕緣。

2.如權利要求1所述的加熱裝置，其特征在于，還包括溫度檢測裝置和控制裝置，所述溫度檢測裝置用于檢測所述介質的溫度，所述控制裝置用于根據所述檢測裝置檢測的溫度控制所述加熱片產生熱量。

3.如權利要求2所述的加熱裝置，其特征在于，所述加熱片的數量為三個，三個所述加熱片分別為第一加熱片、第二加熱片和第三加熱片，三個所述加熱片沿著介質流入導熱管的一端向介質流出導熱管的一端依次間隔設置。

4.如權利要求3所述的加熱裝置，其特征在于，所述第一加熱片、第二加熱片和第三加熱片的最大加熱功率依次降低、加熱精度依次增高。

5.如權利要求4所述的加熱裝置，其特征在于，所述溫度檢測裝置的數量為三個，分別為第一溫度檢測裝置、第二溫度檢測裝置和第三溫度檢測裝置，所述第一溫度檢測裝置設置在所述第一加熱片和所述第二加熱片之間，所述第二溫度檢測裝置設置在所述第二加熱片和所述第三加熱片之間，所述第三溫度檢測裝置設置在所述第三加熱片與介質流出所述導熱管的一端之間。

6.如權利要求5所述的加熱裝置，其特征在于，所述第一溫度檢測裝置、所述第二溫度檢測裝置和所述第三溫度檢測裝置的檢測精度依次增加。

7.如權利要求1所述的加熱裝置，其特征在于，所述導熱管的管腔的內壁上設置有螺旋狀凸起，所述螺旋狀凸起從介質流入導熱管的一端向介質流出導熱管的一端延伸。

8.如權利要求1所述的加熱裝置，其特征在于，所述導熱管為無縫鋼管。

9.如權利要求1所述的加熱裝置，其特征在于，所述導熱管呈平面“S”型，或者所述導熱管呈空間“O”型。

10.一種光刻機，其特征在于，包括至少一個如權利要求1-9任一項所述的加熱裝置。