[實用新型]一種新型科研型高溫擴散爐上的保溫隔熱裝置

有效

• 申請號: 201920782548.4
• 申請日: 2019-05-28
• 公開（公告）號: CN209991093U
• 公開（公告）日: 2020-01-24
• 發明（設計）人: 劉洋
• 申請（專利權）人: 青島精誠華旗微電子設備有限公司
• 主分類號: F16L59/02
• 分類號: F16L59/02;F16L59/08;F27D1/18
• 代理公司: 暫無信息
• 代理人: 暫無信息

本實用新型提供一種新型科研型高溫擴散爐上的保溫隔熱裝置，包括下機柜和上機柜，所述上機柜內部下端面左側安裝電磁離合器，所述電磁離合器一端安裝伺服電機，且電磁離合器另一端通過聯軸器安裝傳動絲杠，所述傳動絲杠上套設滾珠螺母副，所述上機柜上端面右側安裝固定板，所述固定板右端面安裝排毒柜，所述排毒柜右側設置爐門，所述排毒柜內部下側安裝隔熱保溫組件，所述爐門左側設置石英保溫門，且爐門左端面對稱安裝兩組送料桿，所述送料桿環形側面上安裝隔熱擋板，所述隔熱擋板設置在石英保溫門左側，與現有技術相比，本實用新型具有如下的有益效果：實現了自動進出料，防傳動系統因高溫輻射或熱傳導而老化損壞。

技術領域

本實用新型是一種新型科研型高溫擴散爐上的保溫隔熱裝置，屬于高溫擴散氧化等工藝熱處理設備領域。

背景技術

高溫擴散爐用于IC集成電路、MEMS器件、電力電子器件等行業的磷硼高溫擴散和氧化等工藝。

傳統的科研型高溫擴散爐多采用人工手動進料操作，由于人工操作的不穩定性，導致高溫擴散爐生產出來的產品穩定性不好，科研的效率低，重復性不好，而且傳統的高溫擴散爐爐口保溫不好，熱量散失很大，造成大量的熱損耗，科研成本損耗很大。

實用新型內容

針對現有技術存在的不足，本實用新型目的是提供一種新型科研型高溫擴散爐上的保溫隔熱裝置，以解決上述背景技術中提出采用人工手動進料操作，由于人工操作的不穩定性，導致高溫擴散爐生產出來的產品穩定性不好，科研的效率低，重復性不好，而且傳統的高溫擴散爐爐口保溫不好，熱量散失很大，造成大量的熱損耗，科研成本損耗很大的問題，本實用新型實現了自動進出料，防傳動系統因高溫輻射或熱傳導而老化損壞。

為了實現上述目的，本實用新型是通過如下的技術方案來實現：一種新型科研型高溫擴散爐上的保溫隔熱裝置，包括下機柜和上機柜，所述上機柜安裝在下機柜上端面，且上機柜內部右側安裝工藝腔室，所述上機柜內部下端面左側安裝電磁離合器，所述電磁離合器一端安裝伺服電機，且電磁離合器另一端通過聯軸器安裝傳動絲杠，所述傳動絲杠左端外表面套設軸承座一，且傳動絲杠右端外表面套設軸承座二，所述軸承座一和軸承座二均與上機柜固定連接，所述傳動絲杠上套設滾珠螺母副，所述滾珠螺母副外表面下側安裝導套，所述上機柜內部下端面右側安裝導軌，所述導套套設在導軌上，所述上機柜上端面右側安裝固定板，所述固定板右端面安裝排毒柜，所述排毒柜右側設置爐門，所述爐門左端面前側安裝連接導向桿一，且爐門左端面后側安裝連接導向桿二，所述連接導向桿一和連接導向桿二上均套設直線軸承，所述直線軸承與固定板固定連接，所述連接導向桿一左端與滾珠螺母副固定連接，且連接導向桿一設置在傳動絲桿和導軌之間，所述排毒柜內部下側安裝隔熱保溫組件，所述隔熱保溫組件設置在直線軸承上側，所述爐門左側設置石英保溫門，且爐門左端面對稱安裝兩組送料桿，所述送料桿貫穿石英保溫門延伸至工藝腔室內，所述送料桿環形側面上安裝隔熱擋板，所述隔熱擋板設置在石英保溫門左側，所述爐門左端面安裝壓持機構，所述壓持機構左端與石英保溫門相連接。

進一步地，所述隔熱保溫組件包括不銹鋼外殼和石英棉，所述石英棉充填在不銹鋼外殼內。

進一步地，所述連接導向桿一左端外表面安裝連板，所述連板另一端與連接導向桿二固定連接。

進一步地，所述石英保溫門右端面下側對稱安裝兩側定位導套，所述送料桿貫穿定位導套，且送料桿與定位導套固定連接。

本實用新型的有益效果：本實用新型利用伺服電機驅動傳動絲杠旋轉，進而滾珠螺母副將傳動絲杠的旋轉運動轉換成直線運動，并通過連接導向桿一驅動爐門上的送料桿進出工藝腔室內，實現自動進出料的目的，無需人工操作送料，提高了工藝的穩定性和一致性，通過在直線軸承上側安裝隔熱保溫組件，有效的保護下部的連接導向桿一、連接導向桿二和直線軸承不被烤到，石英保溫門、隔熱擋板在工藝片進入工藝腔室進行高溫加熱時，能夠非常有效的阻隔熱輻射，很好的起到保溫的作用，在爐門進退過程中，整個傳動系統都不會因為高溫而損壞，增加設備使用壽命從而降低生產成本。