[實用新型]一種新型科研型高溫擴散爐上的保溫隔熱裝置

有效

• 申請號: 201920782548.4
• 申請日: 2019-05-28
• 公開（公告）號: CN209991093U
• 公開（公告）日: 2020-01-24
• 發明（設計）人: 劉洋
• 申請（專利權）人: 青島精誠華旗微電子設備有限公司
• 主分類號: F16L59/02
• 分類號: F16L59/02;F16L59/08;F27D1/18
• 代理公司: 暫無信息
• 代理人: 暫無信息

1.一種新型科研型高溫擴散爐上的保溫隔熱裝置，包括下機柜和上機柜，其特征在于：所述上機柜安裝在下機柜上端面，且上機柜內部右側安裝工藝腔室，所述上機柜內部下端面左側安裝電磁離合器，所述電磁離合器一端安裝伺服電機，且電磁離合器另一端通過聯軸器安裝傳動絲杠，所述傳動絲杠左端外表面套設軸承座一，且傳動絲杠右端外表面套設軸承座二，所述軸承座一和軸承座二均與上機柜固定連接，所述傳動絲杠上套設滾珠螺母副，所述滾珠螺母副外表面下側安裝導套，所述上機柜內部下端面右側安裝導軌，所述導套套設在導軌上，所述上機柜上端面右側安裝固定板，所述固定板右端面安裝排毒柜，所述排毒柜右側設置爐門，所述爐門左端面前側安裝連接導向桿一，且爐門左端面后側安裝連接導向桿二，所述連接導向桿一和連接導向桿二上均套設直線軸承，所述直線軸承與固定板固定連接，所述連接導向桿一左端與滾珠螺母副固定連接，且連接導向桿一設置在傳動絲桿和導軌之間，所述排毒柜內部下側安裝隔熱保溫組件，所述隔熱保溫組件設置在直線軸承上側，所述爐門左側設置石英保溫門，且爐門左端面對稱安裝兩組送料桿，所述送料桿貫穿石英保溫門延伸至工藝腔室內，所述送料桿環形側面上安裝隔熱擋板，所述隔熱擋板設置在石英保溫門左側，所述爐門左端面安裝壓持機構，所述壓持機構左端與石英保溫門相連接。

2.根據權利要求1所述的一種新型科研型高溫擴散爐上的保溫隔熱裝置，其特征在于：所述隔熱保溫組件包括不銹鋼外殼和石英棉，所述石英棉充填在不銹鋼外殼內。

3.根據權利要求1所述的一種新型科研型高溫擴散爐上的保溫隔熱裝置，其特征在于：所述連接導向桿一左端外表面安裝連板，所述連板另一端與連接導向桿二固定連接。

4.根據權利要求1所述的一種新型科研型高溫擴散爐上的保溫隔熱裝置，其特征在于：所述石英保溫門右端面下側對稱安裝兩側定位導套，所述送料桿貫穿定位導套，且送料桿與定位導套固定連接。