[實(shí)用新型]一種引線框架的銅帶的雙壓輪壓膜系統(tǒng)有效
| 申請(qǐng)?zhí)枺?/td> | 201920772482.0 | 申請(qǐng)日: | 2019-05-27 |
| 公開(公告)號(hào): | CN209747477U | 公開(公告)日: | 2019-12-06 |
| 發(fā)明(設(shè)計(jì))人: | 朱春陽;劉松源;黃偉;李昌文;徐治;陳迅;馬偉凱;劉琪 | 申請(qǐng)(專利權(quán))人: | 山東新恒匯電子科技有限公司 |
| 主分類號(hào): | H01L21/67 | 分類號(hào): | H01L21/67;H01L21/48;H01L23/495 |
| 代理公司: | 37223 淄博佳和專利代理事務(wù)所(普通合伙) | 代理人: | 孫愛華<國(guó)際申請(qǐng)>=<國(guó)際公布>=<進(jìn)入 |
| 地址: | 255088 山東*** | 國(guó)省代碼: | 山東;37 |
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| 摘要: | |||
| 搜索關(guān)鍵詞: | 銅帶 上壓輪 熱壓 雙壓輪 下壓輪 壓膜系統(tǒng) 引線框架 放料輪 感光膜 熱壓輪 半導(dǎo)體生產(chǎn)技術(shù) 表面收集 并排設(shè)置 間隔設(shè)置 上下表面 上下貼合 收料輪 自感光 脫離 兩組 附著 纏繞 穿過 | ||
1.一種引線框架的銅帶的雙壓輪壓膜系統(tǒng),包括纏繞有銅帶(2)的銅帶放料輪(3)以及纏繞有感光膜(7)的感光膜放料輪(6),銅帶(2)自銅帶放料輪(3)脫離后與同時(shí)自感光膜放料輪(6)上脫離的感光膜(7)上下貼合后經(jīng)熱壓輪單元熱壓,其特征在于:所述的熱壓輪單元包括并排設(shè)置的兩組上壓輪機(jī)構(gòu)(9),上壓輪機(jī)構(gòu)(9)位于銅帶(2)的上方,還設(shè)置有與兩組上壓輪機(jī)構(gòu)(9)分別對(duì)應(yīng)的下壓輪機(jī)構(gòu)(10),上壓輪機(jī)構(gòu)(9)和相對(duì)應(yīng)的下壓輪機(jī)構(gòu)(10)之間間隔設(shè)置,銅帶(2)以及附著在其上下表面的感光膜(7)從上壓輪機(jī)構(gòu)(9)和下壓輪機(jī)構(gòu)(10)的間隙中穿過。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的引線框架的銅帶的雙壓輪壓膜系統(tǒng),其特征在于:所述的上壓輪機(jī)構(gòu)(9)和下壓輪機(jī)構(gòu)(10)均包括一條熱壓輪,熱壓輪包括中心處的加熱棒(20),加熱棒(20)的兩外側(cè)設(shè)置有支撐加熱棒(20)轉(zhuǎn)動(dòng)的軸承座(17),在加熱棒(20)的兩端設(shè)置有水銀滑環(huán)(16),導(dǎo)線通過水銀滑環(huán)(16)為加熱棒(20)供電。
3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的引線框架的銅帶的雙壓輪壓膜系統(tǒng),其特征在于:在所述加熱棒(20)的外圈通過金屬制的殼體間隔形成導(dǎo)熱腔,在導(dǎo)熱腔內(nèi)填充有導(dǎo)熱油(19),在導(dǎo)熱腔的外圈套設(shè)有橡膠層(18)。
4.根據(jù)權(quán)利要求2所述的引線框架的銅帶的雙壓輪壓膜系統(tǒng),其特征在于:在所述的上壓輪機(jī)構(gòu)(9)中還設(shè)置有一組氣缸(15),氣缸(15)的活塞桿與其兩側(cè)的軸承座(17)連接。
5.根據(jù)權(quán)利要求2所述的引線框架的銅帶的雙壓輪壓膜系統(tǒng),其特征在于:在所述的下壓輪機(jī)構(gòu)(10)中,在任意一側(cè)的軸承座(17)與水銀滑環(huán)(16)之間套設(shè)有皮帶(12),皮帶(12)同時(shí)套裝在驅(qū)動(dòng)輪(11)的外圈。
6.根據(jù)權(quán)利要求1所述的引線框架的銅帶的雙壓輪壓膜系統(tǒng),其特征在于:所述的銅帶放料輪(3)固定在糾偏臺(tái)(1)內(nèi),銅帶(2)自糾偏臺(tái)(1)側(cè)部的出口輸出,在糾偏臺(tái)(1)的底部設(shè)置有糾偏軌道(5)。
7.根據(jù)權(quán)利要求6所述的引線框架的銅帶的雙壓輪壓膜系統(tǒng),其特征在于:在所述的糾偏臺(tái)(1)內(nèi)還設(shè)置有兩組預(yù)熱輪(4),兩組預(yù)熱輪(4)上下間隔設(shè)置,銅帶(2)自兩組預(yù)熱輪(4)之間穿過后輸出。
8.根據(jù)權(quán)利要求1所述的引線框架的銅帶的雙壓輪壓膜系統(tǒng),其特征在于:所述的感光膜放料輪(6)設(shè)置有兩個(gè),分別位于銅帶(2)的上下兩側(cè),自兩個(gè)感光膜放料輪(6)脫離的感光膜(7)分別與銅帶(2)的上下表面貼合。
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H01L 半導(dǎo)體器件;其他類目中不包括的電固體器件
H01L21-00 專門適用于制造或處理半導(dǎo)體或固體器件或其部件的方法或設(shè)備
H01L21-02 .半導(dǎo)體器件或其部件的制造或處理
H01L21-64 .非專門適用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各組的單個(gè)器件所使用的除半導(dǎo)體器件之外的固體器件或其部件的制造或處理
H01L21-66 .在制造或處理過程中的測(cè)試或測(cè)量
H01L21-67 .專門適用于在制造或處理過程中處理半導(dǎo)體或電固體器件的裝置;專門適合于在半導(dǎo)體或電固體器件或部件的制造或處理過程中處理晶片的裝置
H01L21-70 .由在一共用基片內(nèi)或其上形成的多個(gè)固態(tài)組件或集成電路組成的器件或其部件的制造或處理;集成電路器件或其特殊部件的制造





