[實用新型]一種引線框架的銅帶的雙壓輪壓膜系統(tǒng)

有效

• 申請?zhí)枺?/td>: 201920772482.0
• 申請日: 2019-05-27
• 公開（公告）號: CN209747477U
• 公開（公告）日: 2019-12-06
• 發(fā)明（設計）人: 朱春陽;劉松源;黃偉;李昌文;徐治;陳迅;馬偉凱;劉琪
• 申請（專利權）人: 山東新恒匯電子科技有限公司
• 主分類號: H01L21/67
• 分類號: H01L21/67;H01L21/48;H01L23/495
• 代理公司: 37223 淄博佳和專利代理事務所(普通合伙)
• 代理人: 孫愛華<國際申請>=<國際公布>=<進入

一種引線框架的銅帶的雙壓輪壓膜系統(tǒng)，屬于半導體生產(chǎn)技術領域。銅帶（2）自銅帶放料輪（3）脫離后與同時自感光膜放料輪（6）上脫離的感光膜（7）上下貼合后經(jīng)熱壓輪單元熱壓，熱壓之后纏繞在收料輪（14）表面收集，其特征在于：所述的熱壓輪單元包括并排設置的兩組上壓輪機構（9），上壓輪機構（9）位于銅帶（2）的上方，還設置有與上壓輪機構（9）分別對應的下壓輪機構（10），上壓輪機構（9）和相對應的下壓輪機構（10）之間間隔設置，銅帶（2）以及附著在其上下表面的感光膜（7）從上壓輪機構（9）和下壓輪機構（10）的間隙中穿過。在本引線框架的銅帶的雙壓輪壓膜系統(tǒng)中，實現(xiàn)了雙壓輪熱壓，提高了熱壓效率。

技術領域

一種引線框架的銅帶的雙壓輪壓膜系統(tǒng)，屬于半導體生產(chǎn)技術領域。

背景技術

引線框架作為集成電路的芯片載體，是一種借助于鍵合材料（金絲、鋁絲、銅絲）實現(xiàn)芯片內(nèi)部電路引出端與外引線的電氣連接，形成電氣回路的關鍵結(jié)構件，它起到了和外部導線連接的橋梁作用。而引線框架的原材料是銅帶，在引線框架的生產(chǎn)過程中，首先需要對銅帶進行壓膜，使感光膜貼合在銅帶表面，然后使用曝光機對銅帶進行曝光操作。傳統(tǒng)的壓膜系統(tǒng)普遍存在如下缺陷，（1）傳統(tǒng)的壓膜方式一般采用單組壓輪，然而在壓膜的過程中，需要在一定的溫度和壓力下保持一定時間，因此傳統(tǒng)的壓膜方式一般速度較慢，因此效率較低。（2）傳統(tǒng)的壓膜方式銅帶與感光膜之間容易出現(xiàn)偏差，因此影響了產(chǎn)品的品質(zhì)。（3）傳統(tǒng)的壓膜方式下，導熱效率較低，在一定程度上也造成了能源的浪費。

發(fā)明內(nèi)容

本實用新型要解決的技術問題是：克服現(xiàn)有技術的不足，提供一種實現(xiàn)了雙壓輪熱壓，提高了熱壓效率的引線框架的銅帶的雙壓輪壓膜系統(tǒng)。

本實用新型解決其技術問題所采用的技術方案是：該引線框架的銅帶的雙壓輪壓膜系統(tǒng)，包括纏繞有銅帶的銅帶放料輪以及纏繞有感光膜的感光膜放料輪，銅帶自銅帶放料輪脫離后與同時自感光膜放料輪上脫離的感光膜上下貼合后經(jīng)熱壓輪單元熱壓，其特征在于：所述的熱壓輪單元包括并排設置的兩組上壓輪機構，上壓輪機構位于銅帶的上方，還設置有與兩組上壓輪機構分別對應的下壓輪機構，上壓輪機構和相對應的下壓輪機構之間間隔設置，銅帶以及附著在其上下表面的感光膜從上壓輪機構和下壓輪機構的間隙中穿過。

優(yōu)選的，所述的上壓輪機構和下壓輪機構均包括一條熱壓輪，熱壓輪包括中心處的加熱棒，加熱棒的兩外側(cè)設置有支撐加熱棒轉(zhuǎn)動的軸承座，在加熱棒的兩端設置有水銀滑環(huán)，導線通過水銀滑環(huán)為加熱棒供電。

優(yōu)選的，在所述加熱棒的外圈通過金屬制的殼體間隔形成導熱腔，在導熱腔內(nèi)填充有導熱油，在導熱腔的外圈套設有橡膠層。

優(yōu)選的，在所述的上壓輪機構中還設置有一組氣缸，氣缸的活塞桿與其兩側(cè)的軸承座連接。

優(yōu)選的，在所述的下壓輪機構中，在任意一側(cè)的軸承座與水銀滑環(huán)之間套設有皮帶，皮帶同時套裝在驅(qū)動輪的外圈。

優(yōu)選的，所述的銅帶放料輪固定在糾偏臺內(nèi)，銅帶自糾偏臺側(cè)部的出口輸出，在糾偏臺的底部設置有糾偏軌道。

優(yōu)選的，在所述的糾偏臺內(nèi)還設置有兩組預熱輪，兩組預熱輪上下間隔設置，銅帶自兩組預熱輪之間穿過后輸出。

優(yōu)選的，所述的感光膜放料輪設置有兩個，分別位于銅帶的上下兩側(cè)，自兩個感光膜放料輪脫離的感光膜分別與銅帶的上下表面貼合。

與現(xiàn)有技術相比，本實用新型所具有的有益效果是：

1、在本引線框架的銅帶的雙壓輪壓膜系統(tǒng)中，實現(xiàn)了雙壓輪熱壓，提高了熱壓效率。

2、在糾偏臺的底部還設置有一組糾偏軌道，糾偏臺可沿糾偏軌道前后移動，保證銅帶不會發(fā)生位置偏移。

3、通過在熱壓輪的外部設置導熱腔，并在導熱腔中填充有導熱油，實現(xiàn)了熱量的高效傳導，提高了導熱效率。