[實用新型]一種半導體元器件3D檢測機有效
| 申請號: | 201920763913.7 | 申請日: | 2019-05-26 |
| 公開(公告)號: | CN210073771U | 公開(公告)日: | 2020-02-14 |
| 發明(設計)人: | 凌永康;杜良輝;孫國標 | 申請(專利權)人: | 江蘇壹度科技股份有限公司 |
| 主分類號: | H01L21/66 | 分類號: | H01L21/66;H01L21/677 |
| 代理公司: | 暫無信息 | 代理人: | 暫無信息 |
| 地址: | 214000 江蘇*** | 國省代碼: | 江蘇;32 |
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| 摘要: | |||
| 搜索關鍵詞: | 支撐桿 底板 半導體元器件 本實用新型 傳動裝置 前表面 穿孔 顯示屏 半導體設備 半導體元件 上下移動 轉軸轉動 上表面 水平端 支撐架 檢測 底端 套環 穿過 | ||
1.一種半導體元器件3D檢測機,包括箱體(1),其特征在于:所述箱體(1)的后表面設有箱門(11),所述箱門(11)與所述箱體的連接處設有鉸鏈(111),所述箱門(11)通過所述鉸鏈(111)與所述箱體(1)鉸接,所述箱體(1)的下表面四角均設置有支撐腳(12),所述箱體(1)的內設有底板(2),所述底板(2)的一側緊密焊接有兩個固定塊(21),所述固定塊(21)上設有固定螺栓(211),所述固定塊(21)通過所述固定螺栓(211)與所述箱體(1)的內壁固定連接,所述底板(2)的上表面設有L形支架(22),所述L形支架(22)的豎直端與所述底板(2)的上表面緊密焊接,所述L形支架(22)的水平端設有第一通孔(221),所述L形支架(22)上安裝有氣缸(23),所述氣缸(23)伸出所述第一通孔(221)的一端安裝有3D相機(231),所述底板(2)的上表面一端設有兩個圓孔(24),所述底板(2)的上表面另一端緊密焊接有第一轉軸(241),所述底板(2)的上表面位于兩個所述圓孔(24)的位置處均設置有傳動裝置(3),所述傳動裝置(3)包括主動輪(31)和從動輪(32),所述主動輪(31)和所述從動輪(32)之間設有傳動帶(33),所述傳動帶(33)上設有若干個凸起(331),所述底板(2)的下表面設有兩個電機(34),所述電機(34)的輸出端穿過所述圓孔(24)的一端與所述主動輪(31)緊密焊接,所述從動輪(32)通過所述第一轉軸(241)與所述底板(2)轉動連接,兩個所述傳動裝置(3)之間設有置物板(35),所述置物板(35)的下表面緊密粘接有夾塊(351),所述夾塊(351)的兩側均設置有若干個卡槽(352)。
2.根據權利要求1所述的半導體元器件3D檢測機,其特征在于:所述夾塊(351)位于兩個所述傳動帶(33)之間,所述凸起(331)通過所述卡槽(352)與所述夾塊(351)卡接配合。
3.根據權利要求1所述的半導體元器件3D檢測機,其特征在于:所述電機(34)上緊密焊接有圓環(341),所述圓環(341)的兩側均設置有第一螺栓(342),所述圓環(341)通過所述第一螺栓(342)與所述底板(2)的下表面固定連接。
4.根據權利要求1所述的半導體元器件3D檢測機,其特征在于:所述箱體(1)的前表面設有U形支架(4),所述U形支架(4)的豎直端設有若干個第二通孔(41),所述第二通孔(41)內設有安裝螺栓(411),所述U形支架(4)通過所述安裝螺栓(411)與所述箱體(1)的前表面固定連接,所述U形支架(4)的兩個水平端之間緊密焊接有支撐桿(42),所述支撐桿(42)的頂端設有調節座(5),所述調節座(5)的一端設有穿孔(51),所述調節座(5)的一側設有螺孔(52),所述螺孔(52)與所述穿孔(51)連通,所述螺孔(52)內設有限位螺栓(521),所述調節座(5)的另一端緊密焊接有第二轉軸(53),所述第二轉軸(53)上設有支撐架(54),所述支撐架(54)的一端設有顯示屏(55),所述支撐桿(42)的底端設有套環(6),所述套環(6)上緊密焊接有轉動座(61),所述轉動座(61)上設有第三轉軸(611),所述轉動座(61)上設有連接頭(62),所述連接頭(62)的一端設有第三通孔(621),所述連接頭(62)的另一端緊密焊接有托板(63),所述托板(63)上設有凹槽(631)。
5.根據權利要求4所述的半導體元器件3D檢測機,其特征在于:所述支撐架(54)的一端緊密焊接有圓盤(541),所述圓盤(541)上設有若干個第二螺栓(542),所述圓盤(541)通過所述第二螺栓(542)與所述顯示屏(55)固定連接。
6.根據權利要求4所述的半導體元器件3D檢測機,其特征在于:所述穿孔(51)的直徑與所述支撐桿(42)的直徑相適配,所述調節座(5)通過所述穿孔(51)與所述支撐桿(42)套接配合,所述限位螺栓(521)通過所述螺孔(52)與所述調節座(5)螺紋連接。
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H01L 半導體器件;其他類目中不包括的電固體器件
H01L21-00 專門適用于制造或處理半導體或固體器件或其部件的方法或設備
H01L21-02 .半導體器件或其部件的制造或處理
H01L21-64 .非專門適用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各組的單個器件所使用的除半導體器件之外的固體器件或其部件的制造或處理
H01L21-66 .在制造或處理過程中的測試或測量
H01L21-67 .專門適用于在制造或處理過程中處理半導體或電固體器件的裝置;專門適合于在半導體或電固體器件或部件的制造或處理過程中處理晶片的裝置
H01L21-70 .由在一共用基片內或其上形成的多個固態組件或集成電路組成的器件或其部件的制造或處理;集成電路器件或其特殊部件的制造





