[實用新型]一種新型高壓腔進氣出氣裝置

有效

• 申請號: 201920761818.3
• 申請日: 2019-05-24
• 公開（公告）號: CN210065982U
• 公開（公告）日: 2020-02-14
• 發明（設計）人: 劉洋
• 申請（專利權）人: 青島精誠華旗微電子設備有限公司
• 主分類號: C30B29/40
• 分類號: C30B29/40;C30B1/12
• 代理公司: 暫無信息
• 代理人: 暫無信息

1.一種新型高壓腔進氣出氣裝置，包括高壓腔體、氣路安裝盤、過濾器、進氣調壓閥、壓力傳感器、進氣隔膜閥、放氣隔膜閥、進氣調節針閥、出氣調節針閥、壓力表、進氣手動閥、放氣手動閥、氣源進氣管道、腔體進出氣管道、放氣管道、單向閥、卸荷閥，其特征在于：所述氣源進氣管道安裝在氣路安裝盤上，所述氣源進氣管道一端連接氣源，另一端連接高壓腔體，氣源進氣管道上連接過濾器，過濾器通過氣源進氣管道連接進氣調壓閥，氣源進氣管道經減壓器減壓后經三通接頭一分為二，一路接進氣隔膜閥，一路接進氣手動閥后合再接三通接頭二為一，連接進氣調節針閥，氣源進氣管道經進氣調節針閥后連接腔體進出氣管道，腔體進出氣管道另一端直接連接高壓腔體；

在腔體進出氣管道上安裝有三通接頭，連接放氣管道，放氣管道的另一端安裝有單向閥，與三通連接接頭連接在一起，單向閥另一端連接四通接頭，將出氣一分為三，其中一路連接放氣手動閥，一路連接放氣隔膜閥，剩余一路連接卸荷閥。

2.根據權利要求1所述的一種新型高壓腔進氣出氣裝置，其特征在于：放氣氣體經放氣手動閥和放氣隔膜閥后合并，連接放氣調節針閥。

3.根據權利要求1所述的一種新型高壓腔進氣出氣裝置，其特征在于：在腔體進出氣管道上安裝有壓力傳感器。