[實用新型]一種新型高壓腔進氣出氣裝置

有效

• 申請號: 201920761818.3
• 申請日: 2019-05-24
• 公開（公告）號: CN210065982U
• 公開（公告）日: 2020-02-14
• 發明（設計）人: 劉洋
• 申請（專利權）人: 青島精誠華旗微電子設備有限公司
• 主分類號: C30B29/40
• 分類號: C30B29/40;C30B1/12
• 代理公司: 暫無信息
• 代理人: 暫無信息

本實用新型提供一種新型高壓腔進氣出氣裝置，氣源進氣管道安裝在氣路安裝盤上，所述氣源進氣管道一端連接氣源，另一端連接高壓腔體，氣源進氣管道上連接過濾器，過濾器通過氣源進氣管道連接進氣調壓閥，氣源進氣管道經減壓器減壓后經三通接頭一分為二，一路接進氣隔膜閥，一路接進氣手動閥后合再接三通接頭二為一，連接進氣調節針閥，氣源進氣管道經進氣調節針閥后連接腔體進出氣管道，腔體進出氣管道另一端直接連接高壓腔體，與現有技術相比，本實用新型具有如下的有益效果：使高壓腔體內的氣氛更加穩定，安裝可靠，大大提升了材料生長的性能指標和一致性，降低了人為操作的失誤率。

技術領域

本實用新型是一種新型高壓腔進氣出氣裝置，涉及一種半導體材料高壓晶體生長工藝設備。

背景技術

晶體生長設備用于處理半導體材料如磷化銦等高壓，在磷化銦材料生長過程中必須保持一定的高壓氣氛。

目前同類產品中，普通的晶體生長爐設備在磷化銦生長過程中，高壓氣氛會隨溫度的變化而改變，需要不斷的進行充氣、放氣的過程，大多設備采用人工操作的方式，這樣操作效率低，成本大，產品穩定性不好，而且在高壓氣氛時，充放氣的精準度不高，充氣壓力往往瞬間增大很多，對晶體生長帶來極大的不便。

實用新型內容

針對現有技術存在的不足，本實用新型目的是提供一種新型高壓腔進氣出氣裝置，以解決上述背景技術中提出的問題。

為了實現上述目的，本實用新型是通過如下的技術方案來實現：一種新型高壓腔進氣出氣裝置，包括高壓腔體、氣路安裝盤、過濾器、進氣調壓閥、壓力傳感器、進氣隔膜閥、放氣隔膜閥、進氣調節針閥、出氣調節針閥、壓力表、進氣手動閥、放氣手動閥、氣源進氣管道、腔體進出氣管道、放氣管道、單向閥、卸荷閥，所述氣源進氣管道安裝在氣路安裝盤上，所述氣源進氣管道一端連接氣源，另一端連接高壓腔體，氣源進氣管道上連接過濾器，過濾器通過氣源進氣管道連接進氣調壓閥，氣源進氣管道經減壓器減壓后經三通接頭一分為二，一路接進氣隔膜閥，一路接進氣手動閥后合再接三通接頭二為一，連接進氣調節針閥，氣源進氣管道經進氣調節針閥后連接腔體進出氣管道，腔體進出氣管道另一端直接連接高壓腔體；

在腔體進出氣管道上安裝有三通接頭，連接放氣管道，放氣管道的另一端安裝有單向閥，與三通連接接頭連接在一起，單向閥另一端連接四通接頭，將出氣一分為三，其中一路連接放氣手動閥，一路連接放氣隔膜閥，剩余一路連接卸荷閥。

進一步地，放氣氣體經放氣手動閥和放氣隔膜閥后合并，連接放氣調節針閥。

進一步地，在腔體進出氣管道上安裝有壓力傳感器。

本實用新型的有益效果：本實用新型的一種新型高壓腔進氣出氣裝置，使高壓腔體內的氣氛更加穩定，安裝可靠，大大提升了材料生長的性能指標和一致性，降低了人為操作的失誤率。

附圖說明

通過閱讀參照以下附圖對非限制性實施例所作的詳細描述，本實用新型的其它特征、目的和優點將會變得更明顯：

圖1為本實用新型一種新型高壓腔進氣出氣裝置的結構示意圖；

圖2為本實用新型一種新型高壓腔進氣出氣裝置的氣路原理示意圖；

圖3為本實用新型一種新型高壓腔進氣出氣裝置的壓力控制原理示意圖；

圖中：高壓腔體1、氣路安裝盤2、過濾器3、進氣調壓閥4、壓力傳感器5、進氣隔膜閥6、放氣隔膜閥7、進氣調節針閥8、出氣調節針閥9、進氣手動閥10、放氣手動閥11、氣源進氣管道12、腔體進出氣管道13、放氣管道14、單向閥15、卸荷閥16。

具體實施方式

為使本實用新型實現的技術手段、創作特征、達成目的與功效易于明白了解，下面結合具體實施方式，進一步闡述本實用新型。