[實(shí)用新型]一種帶插板閥的緊湊型真空室結(jié)構(gòu)及離子束加工系統(tǒng)

有效

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 201920760966.3
• 申請(qǐng)日: 2019-05-24
• 公開(kāi)（公告）號(hào): CN210110701U
• 公開(kāi)（公告）日: 2020-02-21
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 陶尚;其他發(fā)明人請(qǐng)求不公開(kāi)姓名
• 申請(qǐng)（專利權(quán)）人: 長(zhǎng)沙埃福思科技有限公司
• 主分類號(hào): H01J37/18
• 分類號(hào): H01J37/18;H01J37/32
• 代理公司: 長(zhǎng)沙朕揚(yáng)知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理事務(wù)所(普通合伙) 43213
• 代理人: 楊斌

本實(shí)用新型公開(kāi)了一種帶插板閥的緊湊型真空室結(jié)構(gòu)，包括插板閥、主真空室和副真空室，所述插板閥設(shè)在主真空室和副真空室之間用于控制二者通斷，所述主真空室和副真空室與插板閥相對(duì)的側(cè)壁上開(kāi)設(shè)有供工件傳送通過(guò)的通孔，所述通孔周圍設(shè)有主真空室和/或副真空室的側(cè)壁連接部，所述主真空室和/或副真空室與插板閥之間不設(shè)置連接法蘭，所述主真空室和/或副真空室通過(guò)側(cè)壁連接部直接與插板閥固接。本實(shí)用新型還公開(kāi)了一種離子束加工系統(tǒng)，所述離子束加工系統(tǒng)采用了上述的帶插板閥的緊湊型真空室結(jié)構(gòu)。本實(shí)用新型的真空室結(jié)構(gòu)和離子束加工系統(tǒng)具有連接距離較短、成本低、結(jié)構(gòu)緊湊、外形簡(jiǎn)潔美觀等優(yōu)點(diǎn)。

技術(shù)領(lǐng)域

本實(shí)用新型屬于真空設(shè)備領(lǐng)域，尤其涉及一種帶插板閥的緊湊型真空室結(jié)構(gòu)及離子束加工系統(tǒng)。

背景技術(shù)

在真空設(shè)備中，插板閥是真空室之間必不可少的組件。例如雙真空室離子束加工設(shè)備中，申請(qǐng)?zhí)枮镃N201811261305.2的發(fā)明公開(kāi)的一種雙真空室離子束加工系統(tǒng)，包括主真空室和副真空室，在更換工件時(shí)，工件需要通過(guò)導(dǎo)軌從一個(gè)真空室運(yùn)動(dòng)到另外一個(gè)真空室。主真空室安裝離子源，通過(guò)副真空室來(lái)更換工件。為了提高生產(chǎn)效率，主真空室和副真空室通過(guò)插板閥連接起來(lái)，通過(guò)插拔閥控制兩個(gè)真空室的通斷，更換工件時(shí)主真空室不破空，而僅對(duì)副真空室破空。

對(duì)于這類設(shè)備以及類似的設(shè)備，兩個(gè)真空室的連接距離很關(guān)鍵。如申請(qǐng)?zhí)枮?01210265722.0的發(fā)明公開(kāi)的一種雙真空離子束拋光系統(tǒng)，兩個(gè)真空室中都設(shè)有導(dǎo)軌，導(dǎo)軌在插板閥處隔斷。兩個(gè)真空室的連接距離越大，所需的導(dǎo)軌越長(zhǎng)，而導(dǎo)軌結(jié)構(gòu)復(fù)雜，長(zhǎng)度越長(zhǎng)成本越高。當(dāng)插板閥厚度一定時(shí)，兩個(gè)真空室之間的連接距離就取決于插板閥與兩個(gè)真空室的連接結(jié)構(gòu)。通常，兩個(gè)真空室與插板閥采用標(biāo)準(zhǔn)法蘭連接，例如CF法蘭、LF法蘭、ISO-F法蘭等等。這些標(biāo)準(zhǔn)法蘭焊接到真空壁上之后無(wú)疑增加了兩個(gè)真空室的連接距離，這就需要更長(zhǎng)的導(dǎo)軌，導(dǎo)致成本增加；同時(shí)，導(dǎo)軌長(zhǎng)度增加，這就需要更大的真空室。此外，標(biāo)準(zhǔn)法蘭連接結(jié)構(gòu)，連接螺栓裸露，外形拖沓不美觀。

實(shí)用新型內(nèi)容

本實(shí)用新型提供了一種帶插板閥的緊湊型真空室結(jié)構(gòu)及離子束加工系統(tǒng)，以至少解決現(xiàn)有技術(shù)中的真空室之間連接距離過(guò)大的問(wèn)題。

為解決上述技術(shù)問(wèn)題，本實(shí)用新型提出的技術(shù)方案為：

一種帶插板閥的緊湊型真空室結(jié)構(gòu)，包括插板閥、主真空室和副真空室，所述插板閥設(shè)在主真空室和副真空室之間用于控制二者通斷，所述主真空室和副真空室與插板閥相對(duì)的側(cè)壁上開(kāi)設(shè)有供工件傳送通過(guò)的通孔，所述通孔周圍設(shè)有主真空室和/或副真空室的側(cè)壁連接部，所述主真空室和/或副真空室與插板閥之間不設(shè)置連接法蘭，所述主真空室和/或副真空室通過(guò)側(cè)壁連接部直接與插板閥固接。本實(shí)用新型的帶插板閥的緊湊型真空室結(jié)構(gòu)，主真空室和/或副真空室通過(guò)側(cè)壁連接部直接與插板閥固接，取消了連接法蘭，主真空室與副真空室的連接距離縮短，從而縮短了導(dǎo)軌的長(zhǎng)度，降低了成本。導(dǎo)軌的長(zhǎng)度縮短，進(jìn)而可以縮短主真空室和/或副真空室的長(zhǎng)度。該真空室結(jié)構(gòu)，結(jié)構(gòu)緊湊，而且外形簡(jiǎn)潔美觀。

上述的帶插板閥的緊湊型真空室結(jié)構(gòu)，優(yōu)選的，所述側(cè)壁連接部上開(kāi)設(shè)有第一安裝孔，所述插板閥與側(cè)壁連接部相對(duì)的一側(cè)開(kāi)設(shè)有第二安裝孔，所述主真空室和/或副真空室通過(guò)緊固件穿過(guò)第一安裝孔、第二安裝孔后與插板閥連接。主真空室和/或副真空室與插板閥連接穩(wěn)固、可靠，且拆裝方便。

上述的帶插板閥的緊湊型真空室結(jié)構(gòu)，優(yōu)選的，所述側(cè)壁連接部埋置于主真空室和/或副真空室的腔室內(nèi)，所述主真空室和/或副真空室上設(shè)有可打開(kāi)或關(guān)閉主真空室和/或副真空室的操作門(mén)，所述緊固件是以可在腔室內(nèi)完成拆裝的方式設(shè)置在側(cè)壁連接部上。通過(guò)操作門(mén)，可從腔室內(nèi)部拆裝緊固件。緊固件安裝在腔室內(nèi)，緊固件得以隱藏在腔室內(nèi)，外形更為簡(jiǎn)潔、美觀，而且避免緊固件生銹。

上述的帶插板閥的緊湊型真空室結(jié)構(gòu)，優(yōu)選的，所述側(cè)壁連接部上的第一安裝孔為沉頭孔。緊固件頭部埋入沉頭孔中，使得側(cè)壁連接部表面平整，避免工件和人員被凸出緊固件頭部損傷，利于提高操作的安全性，而且防止緊固件松動(dòng)。