[實用新型]一種帶插板閥的緊湊型真空室結構及離子束加工系統

有效

• 申請號: 201920760966.3
• 申請日: 2019-05-24
• 公開（公告）號: CN210110701U
• 公開（公告）日: 2020-02-21
• 發明（設計）人: 陶尚;其他發明人請求不公開姓名
• 申請（專利權）人: 長沙埃福思科技有限公司
• 主分類號: H01J37/18
• 分類號: H01J37/18;H01J37/32
• 代理公司: 長沙朕揚知識產權代理事務所(普通合伙) 43213
• 代理人: 楊斌

1.一種帶插板閥的緊湊型真空室結構，包括插板閥(1)、主真空室(2)和副真空室(3)，所述插板閥(1)設在主真空室(2)和副真空室(3)之間用于控制二者通斷，所述主真空室(2)和副真空室(3)與插板閥(1)相對的側壁上開設有供工件傳送通過的通孔(11)，其特征在于：所述通孔(11)周圍設有主真空室(2)和/或副真空室(3)的側壁連接部(9)，所述主真空室(2)和/或副真空室(3)與插板閥(1)之間不設置連接法蘭，所述主真空室(2)和/或副真空室(3)通過側壁連接部(9)直接與插板閥(1)固接。

2.根據權利要求1所述的帶插板閥的緊湊型真空室結構，其特征在于：所述側壁連接部(9)上開設有第一安裝孔，所述插板閥(1)與側壁連接部(9)相對的一側開設有第二安裝孔，所述主真空室(2)和/或副真空室(3)通過緊固件(4)穿過第一安裝孔、第二安裝孔后與插板閥(1)連接。

3.根據權利要求2所述的帶插板閥的緊湊型真空室結構，其特征在于：所述側壁連接部(9)埋置于主真空室(2)和/或副真空室(3)的腔室內，所述主真空室(2)和/或副真空室(3)上設有可打開或關閉主真空室(2)和/或副真空室(3)的操作門(10)，所述緊固件(4)是以可在腔室內完成拆裝的方式設置在側壁連接部(9)上。

4.根據權利要求2所述的帶插板閥的緊湊型真空室結構，其特征在于：所述側壁連接部(9)上的第一安裝孔為沉頭孔。

5.根據權利要求1-4中任一項所述的帶插板閥的緊湊型真空室結構，其特征在于：所述供工件傳送通過的通孔(11)的長度L等于所述側壁連接部(9)的厚度L1與插板閥(1)的厚度L2之和。

6.一種離子束加工系統，其特征在于：包括權利要求5所述的緊湊型真空室結構。

7.根據權利要求6所述的離子束加工系統，其特征在于：所述主真空室(2)中設有離子源(5)以及用于帶動離子源(5)運動的離子源運動機構(6)，所述副真空室(3)中設有用于固定工件的夾具(7)以及帶動工件運動的工件運動機構(8)。