[實(shí)用新型]晶片平整度測(cè)量?jī)x

有效

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 201920740468.2
• 申請(qǐng)日: 2019-05-22
• 公開（公告）號(hào): CN209764061U
• 公開（公告）日: 2019-12-10
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 鄭東;張強(qiáng)
• 申請(qǐng)（專利權(quán)）人: 青島鑫嘉星電子科技股份有限公司
• 主分類號(hào): G01B21/30
• 分類號(hào): G01B21/30
• 代理公司: 37212 青島發(fā)思特專利商標(biāo)代理有限公司
• 代理人: 鞏同海

1.一種晶片平整度測(cè)量?jī)x，包括伸縮式量表、支撐板和支架，其特征在于，所述支架至少為三個(gè)，所述支架貫穿支撐板與支撐板可拆卸連接，支架與支撐板的下側(cè)形成有晶片放置區(qū)；

所述晶片放置區(qū)內(nèi)設(shè)置有安裝孔，所述伸縮式量表貫穿所述安裝孔并與支撐板可拆卸連接。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的晶片平整度測(cè)量?jī)x，其特征在于，所述支撐板上設(shè)置有與所述安裝孔垂直的固定孔，安裝孔與固定孔相貫通，螺桿穿過(guò)固定孔將伸縮式量表可拆卸固定于安裝孔內(nèi)。

3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的晶片平整度測(cè)量?jī)x，其特征在于，所述支架上套接有支撐螺母和固定螺母；

所述支撐螺母設(shè)置于所述支撐板的下端，所述固定螺母設(shè)置于所述支撐板的上端。

4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的晶片平整度測(cè)量?jī)x，其特征在于，所述伸縮式量表的表?xiàng)U設(shè)置有螺紋，所述表?xiàng)U上套接有支撐螺母，所述支撐螺母設(shè)置于所述支撐板的下端。

5.根據(jù)權(quán)利要求1所述的晶片平整度測(cè)量?jī)x，其特征在于，所述安裝孔為多個(gè)。

6.根據(jù)權(quán)利要求1所述的晶片平整度測(cè)量?jī)x，其特征在于，所述支架的下端為圓球狀。