[實用新型]晶片平整度測量儀

有效

• 申請號: 201920740468.2
• 申請日: 2019-05-22
• 公開（公告）號: CN209764061U
• 公開（公告）日: 2019-12-10
• 發明（設計）人: 鄭東;張強
• 申請（專利權）人: 青島鑫嘉星電子科技股份有限公司
• 主分類號: G01B21/30
• 分類號: G01B21/30
• 代理公司: 37212 青島發思特專利商標代理有限公司
• 代理人: 鞏同海

本實用新型屬于藍寶石加工技術領域，具體的，涉及一種晶片平整度測量儀，包括伸縮式量表、支撐板和支架，所述支架至少為三個，所述支架貫穿支撐板與支撐板可拆卸連接，支架與支撐板的下側形成有晶片放置區；所述晶片放置區內形成有安裝孔，所述伸縮式量表貫穿所述安裝孔并與支撐板可拆卸連接。本實用新型提出了一種晶片平整度測量儀，受環境因素影響較小，測量更加準確快捷，節省勞動力，提高生產效率。

技術領域

本實用新型屬于藍寶石加工技術領域，具體的，涉及一種晶片平整度測量儀。

背景技術

在藍寶石上游加工領域，控制晶片的表面平整度是一個非常重要的環節，目前，一般將晶片粘貼在光滑平整的陶瓷盤上，然后通過研磨、拋光等工序滿足下游工序對平整度、粗糙度及表面劃痕的要求。在控制平整度的過程中，因晶片粘貼在陶瓷盤上，通常是將陶瓷盤放在光滑平整的大理石上，然后在上方固定一個伸縮式量表進行測量，這種方式受環境影響，大理石表面掉落顆粒或長時間磨損導致測量不準確，同時陶瓷盤需要來回搬動，員工勞動力強度比較大。

實用新型內容

針對現有技術存在的上述缺陷，本實用新型提出了一種晶片平整度測量儀，受環境因素影響較小，測量更加準確快捷，節省勞動力，提高生產效率。

為達到上述目的，本實用新型的晶片平整度測量儀包括伸縮式量表、支撐板和支架；

所述支架至少為三個，所述支架貫穿支撐板與支撐板可拆卸連接，支架與支撐板的下側形成有晶片放置區；

所述晶片放置區內設置有安裝孔，所述伸縮式量表貫穿所述安裝孔并與支撐板可拆卸連接。

優選地，所述支撐板上設置有與所述安裝孔垂直的固定孔，安裝孔與固定孔相貫通，螺桿穿過固定孔將伸縮式量表固定于安裝孔內。

優選地，所述支架上套接有支撐螺母和固定螺母；

所述支撐螺母設置于所述支撐板的下端，所述固定螺母設置于所述支撐板的上端。

優選地，所述伸縮式量表的表桿設置有螺紋，所述支撐螺母設置于所述支撐板的下端。

優選地，所述安裝孔為多個。

優選地，所述支架的下端為圓球狀。

本實用新型的有益效果是：

(1)本實用新型實施例公開的一種晶片平整度測量儀，受環境因素影響較小，測量更加準確快捷，節省勞動力，提高生產效率。

(2)伸縮式量表通過安裝孔與支撐板可拆卸連接，可以滿足測量不同尺寸的晶片的要求。

(3)支架的下端為圓球狀，能夠減小接觸面積，減少待測量晶片的刮傷。

附圖說明

圖1為本實用新型的一種結構示意圖；

圖2為本實用新型支撐板的俯視圖；

圖3為本實用新型的另一種結構示意圖。

附圖標記：

1、伸縮式量表；2、支撐板；21、主體；22、第一連接塊；23、第二連接塊；3、第一支架；4、第二支架；5、第三支架；6、安裝孔；7、固定孔。

具體實施方式

以下結合附圖對本實用新型的具體實施方式進行詳細說明。應當理解的是，此處所描述的具體實施方式僅用于說明和解釋本實用新型，并不用于限制本實用新型。

在本實用新型中，在未作相反說明的情況下，在本文中，“上”、“下”、“前”、“后”、“左”、“右”等僅用于表示相關部分之間的相對位置關系，而非限定這些相關部分的絕對位置。

實施例1