[實(shí)用新型]一種晶圓腐蝕拋動(dòng)機(jī)構(gòu)

有效

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 201920737584.9
• 申請(qǐng)日: 2019-05-22
• 公開（公告）號(hào): CN210304821U
• 公開（公告）日: 2020-04-14
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 劉金升;沙永健
• 申請(qǐng)（專利權(quán)）人: 蘇州施密科微電子設(shè)備有限公司
• 主分類號(hào): B08B3/10
• 分類號(hào): B08B3/10;B08B3/04;H01L21/67
• 代理公司: 蘇州智品專利代理事務(wù)所(普通合伙) 32345
• 代理人: 呂明霞

本實(shí)用新型公開了一種晶圓腐蝕拋動(dòng)機(jī)構(gòu)，包括，升降氣缸固定座，所述升降氣缸固定座固定設(shè)置在拋動(dòng)機(jī)構(gòu)前板的上端，所述升降氣缸固定座下端固定連接升降氣缸，所述升降氣缸的下端固定連接拋動(dòng)電機(jī)固定座，所述拋動(dòng)電機(jī)固定座上端固定連接拋動(dòng)電機(jī)，所述拋動(dòng)電機(jī)的輸出端連接拋動(dòng)偏心輪，所述拋動(dòng)偏心輪通過(guò)轉(zhuǎn)軸與拋動(dòng)臂連接，所述拋動(dòng)臂與產(chǎn)品固定座固定連接，所述拋動(dòng)臂與拋動(dòng)滑塊固定連接，拋動(dòng)滑塊與拋動(dòng)導(dǎo)軌滑動(dòng)連接，所述拋動(dòng)機(jī)構(gòu)前板的正面可拆卸安裝有拋動(dòng)機(jī)構(gòu)檢修口，所述拋動(dòng)電機(jī)固定座滑動(dòng)連接升降導(dǎo)軌，所述升降導(dǎo)軌固定設(shè)置在所述拋動(dòng)機(jī)構(gòu)前板的內(nèi)部。本設(shè)備體積小巧，拋動(dòng)機(jī)構(gòu)整體處于一個(gè)密閉空間，有效做到防腐蝕。

技術(shù)領(lǐng)域

本實(shí)用新型涉及拋動(dòng)機(jī)構(gòu)技術(shù)領(lǐng)域，具體是一種晶圓腐蝕拋動(dòng)機(jī)構(gòu)。

背景技術(shù)

偏心輪，顧名思義，是指這個(gè)輪的旋轉(zhuǎn)點(diǎn)不在圓中心上，一般指代的是圓形輪。當(dāng)圓形輪沒(méi)有繞著自己的中心旋轉(zhuǎn)時(shí)，就成了偏心輪。偏心輪也是凸輪的一種，一般來(lái)說(shuō)偏心輪主要的目的是產(chǎn)生振動(dòng)即可，像電動(dòng)篩子，手機(jī)里面的振動(dòng)器，大部分偏心輪都是圓形輪，因?yàn)閳A形輪制造方便，工藝簡(jiǎn)單。

拋動(dòng)機(jī)構(gòu)具體為拋動(dòng)電機(jī)通過(guò)偏心輪帶動(dòng)連桿上下運(yùn)動(dòng)，從而實(shí)現(xiàn)拋動(dòng)架帶動(dòng)洗籃在清洗槽內(nèi)作上下運(yùn)動(dòng)。運(yùn)行穩(wěn)定性好，噪聲小。

現(xiàn)有的拋動(dòng)機(jī)構(gòu)僅對(duì)拋動(dòng)臂連接處做密封處理，電機(jī)及零部件裸露在設(shè)備內(nèi)部，不能有效的防腐蝕。

實(shí)用新型內(nèi)容

本實(shí)用新型的目的在于提供一種晶圓腐蝕拋動(dòng)機(jī)構(gòu)，以解決上述背景技術(shù)中提出的現(xiàn)有的拋動(dòng)機(jī)構(gòu)僅對(duì)拋動(dòng)臂連接處做密封處理，電機(jī)及零部件裸露在設(shè)備內(nèi)部，不能有效的防腐蝕的問(wèn)題。

為實(shí)現(xiàn)上述目的，本實(shí)用新型提供如下技術(shù)方案：

一種晶圓腐蝕拋動(dòng)機(jī)構(gòu)，包括，升降氣缸固定座，所述升降氣缸固定座固定設(shè)置在拋動(dòng)機(jī)構(gòu)前板的上端，所述升降氣缸固定座下端固定連接升降氣缸，所述升降氣缸的下端固定連接拋動(dòng)電機(jī)固定座，所述拋動(dòng)電機(jī)固定座上端固定連接拋動(dòng)電機(jī)，所述拋動(dòng)電機(jī)的輸出端連接拋動(dòng)偏心輪，所述拋動(dòng)偏心輪通過(guò)轉(zhuǎn)軸與拋動(dòng)臂連接，所述拋動(dòng)臂與產(chǎn)品固定座固定連接，所述拋動(dòng)臂與拋動(dòng)滑塊固定連接，拋動(dòng)滑塊與拋動(dòng)導(dǎo)軌滑動(dòng)連接，所述拋動(dòng)機(jī)構(gòu)前板的正面可拆卸安裝有拋動(dòng)機(jī)構(gòu)檢修口，所述拋動(dòng)電機(jī)固定座滑動(dòng)連接升降導(dǎo)軌，所述升降導(dǎo)軌固定設(shè)置在所述拋動(dòng)機(jī)構(gòu)前板的內(nèi)部。

作為本實(shí)用新型進(jìn)一步的方案：所述拋動(dòng)臂設(shè)置在拋動(dòng)機(jī)構(gòu)前板的側(cè)面。

作為本實(shí)用新型進(jìn)一步的方案：所述固定座為L(zhǎng)形狀，所述固定座上端固定設(shè)置有放置盒，所述放置盒上放置產(chǎn)品。

作為本實(shí)用新型進(jìn)一步的方案：所述拋動(dòng)機(jī)構(gòu)前板為矩形結(jié)構(gòu)，且所述拋動(dòng)機(jī)構(gòu)前板的正面可拆卸設(shè)置有拋動(dòng)機(jī)構(gòu)側(cè)板，所述拋動(dòng)機(jī)構(gòu)前板的上端設(shè)置有拋動(dòng)機(jī)構(gòu)蓋板，所述拋動(dòng)機(jī)構(gòu)前板通過(guò)鋼板焊接成型。

作為本實(shí)用新型進(jìn)一步的方案：所述拋動(dòng)機(jī)構(gòu)檢修口的中間設(shè)置有拋動(dòng)臂密封風(fēng)簾，所述拋動(dòng)臂密封風(fēng)簾為百葉窗結(jié)構(gòu)。

作為本實(shí)用新型進(jìn)一步的方案：所述拋動(dòng)機(jī)構(gòu)蓋板上端固定設(shè)置有把手。

作為本實(shí)用新型進(jìn)一步的方案：所述拋動(dòng)機(jī)構(gòu)檢修口為矩形板，所述拋動(dòng)機(jī)構(gòu)檢修口通過(guò)螺釘安裝在拋動(dòng)機(jī)構(gòu)前板上。

與現(xiàn)有技術(shù)相比，本實(shí)用新型的有益效果是：晶圓腐蝕拋動(dòng)機(jī)構(gòu)工作時(shí)升降氣缸下降到底部，拋動(dòng)電機(jī)開始動(dòng)作帶動(dòng)拋動(dòng)偏心輪旋轉(zhuǎn)，拋動(dòng)偏心輪帶動(dòng)拋動(dòng)臂上下運(yùn)動(dòng)，拋動(dòng)臂與拋動(dòng)滑塊連接，拋動(dòng)滑塊與拋動(dòng)導(dǎo)軌連接控制拋動(dòng)方向。本設(shè)備體積小巧，設(shè)備維護(hù)簡(jiǎn)單方便，拋動(dòng)機(jī)構(gòu)整體處于一個(gè)密閉空間，有效做到防腐蝕。

附圖說(shuō)明

圖1為本實(shí)用新型的一種晶圓腐蝕拋動(dòng)機(jī)構(gòu)的主視結(jié)構(gòu)圖；

圖2為本實(shí)用新型的一種晶圓腐蝕拋動(dòng)機(jī)構(gòu)的側(cè)視結(jié)構(gòu)圖；