[實用新型]一種晶圓腐蝕拋動機構

有效

• 申請號: 201920737584.9
• 申請日: 2019-05-22
• 公開（公告）號: CN210304821U
• 公開（公告）日: 2020-04-14
• 發明（設計）人: 劉金升;沙永健
• 申請（專利權）人: 蘇州施密科微電子設備有限公司
• 主分類號: B08B3/10
• 分類號: B08B3/10;B08B3/04;H01L21/67
• 代理公司: 蘇州智品專利代理事務所(普通合伙) 32345
• 代理人: 呂明霞

1.一種晶圓腐蝕拋動機構，包括，升降氣缸固定座(15)，其特征在于，所述升降氣缸固定座(15)固定設置在拋動機構前板(1)的上端，所述升降氣缸固定座(15)下端固定連接升降氣缸(9)，所述升降氣缸(9)的下端固定連接拋動電機固定座(16)，所述拋動電機固定座(16)上端固定連接拋動電機(10)，所述拋動電機(10)的輸出端連接拋動偏心輪(14)，所述拋動偏心輪(14)通過轉軸與拋動臂(5)連接，所述拋動臂(5)與產品固定座(6)固定連接，所述拋動臂(5)與拋動滑塊(13)固定連接，拋動滑塊(13)與拋動導軌(12)滑動連接，所述拋動機構前板(1)的正面可拆卸安裝有拋動機構檢修口(4)，所述拋動電機固定座(16)滑動連接升降導軌(11)，所述升降導軌(11)固定設置在所述拋動機構前板(1)的內部。

2.根據權利要求1所述的一種晶圓腐蝕拋動機構，其特征在于，所述拋動臂(5)設置在拋動機構前板(1)的側面。

3.根據權利要求1所述的一種晶圓腐蝕拋動機構，其特征在于，所述固定座(6)為L形狀，所述固定座(6)上端固定設置有放置盒，所述放置盒上放置產品(7)。

4.根據權利要求1所述的一種晶圓腐蝕拋動機構，其特征在于，所述拋動機構前板(1)為矩形結構，且所述拋動機構前板(1)的正面可拆卸設置有拋動機構側板(2)，所述拋動機構前板(1)的上端設置有拋動機構蓋板(3)，所述拋動機構前板(1)通過鋼板焊接成型。

5.根據權利要求1所述的一種晶圓腐蝕拋動機構，其特征在于，所述拋動機構檢修口(4)的中間設置有拋動臂密封風簾(8)，所述拋動臂密封風簾(8)為百葉窗結構。

6.根據權利要求4所述的一種晶圓腐蝕拋動機構，其特征在于，所述拋動機構蓋板(3)上端固定設置有把手。

7.根據權利要求1所述的一種晶圓腐蝕拋動機構，其特征在于，所述拋動機構檢修口(4)為矩形板，所述拋動機構檢修口(4)通過螺釘安裝在拋動機構前板(1)上。