[實用新型]一種靶材固定裝置

有效

• 申請號: 201920728904.4
• 申請日: 2019-05-20
• 公開（公告）號: CN210796608U
• 公開（公告）日: 2020-06-19
• 發明（設計）人: 張小軍
• 申請（專利權）人: 咸陽彩虹光電科技有限公司
• 主分類號: C23C14/34
• 分類號: C23C14/34
• 代理公司: 西安嘉思特知識產權代理事務所(普通合伙) 61230
• 代理人: 張曉

本實用新型涉及一種靶材固定裝置，所述絕緣固定裝置包括：包括若干絕緣固定塊，其中，所述絕緣固定塊上設置有若干貫穿于所述絕緣固定塊上下表面的第一固定通孔，且每個所述第一固定通孔和靶材沖擊位置之間還設置有一防導通凹槽結構。本實用新型提供的靶材固定裝置，因為防導通凹槽結構使其避免了靶材濺射過程中薄膜落入固定通孔而導致絕緣性差的問題。

技術領域

本實用新型屬于靶材絕緣固定技術領域，具體涉及一種靶材固定裝置。

背景技術

在電子信息產業的發展過程中，靶材質量的好壞對薄膜的性能起著至關重要的決定作用，其中，物理氣相沉積(Physical Vapor Deposition，簡稱PVD)技術是制備電子薄膜材料的主要技術。

物理氣相沉積設備通過施加電場產生電勢差，使通入的氣體分子具有動能，轟擊靶材表面，使得靶材原子掉落并附著在濺鍍目標表面從而形成致密的薄膜。因此，物理氣相沉積設備的靶材是一種耗材，需要定期更換靶材本身以及相關配件。靶材絕緣固定塊作為連接機臺腔體陰極側和靶材銅背板的橋梁，需要具有絕緣性和一定的強度。

但是，在絕緣固定塊與機臺腔體固定中，由于薄膜會落入連接機臺腔體的固定通孔內，從而使得絕緣固定塊存在絕緣性差的問題。

實用新型內容

為了解決現有技術中的不足，本實用新型提供了一種靶材固定裝置。

本實用新型提供了一種靶材固定裝置，該靶材固定裝置包括：

若干絕緣固定塊，其中，

所述絕緣固定塊上設置有若干貫穿于所述絕緣固定塊上下表面的第一固定通孔，且每個所述第一固定通孔和靶材沖擊位置之間還設置有一防導通凹槽結構。

在本實用新型的一個實施例中，所述防導通凹槽結構包括第一部分和第二部分，所述第一部分位于所述第二部分上方且所述第一部分與所述第二部分相連通，所述第一部分的最大開口寬度小于所述第二部分的最大開口寬度。

在本實用新型的一個實施例中，所述第一部分為長方體，所述第一部分在所述絕緣固定塊的開口長度為所述絕緣固定塊上表面第一邊的長度，所述第二部分為球體或是橢圓體。

在本實用新型的一個實施例中，所述第一固定通孔包括第一子固定通孔和第二子固定通孔，所述第一子固定通孔和所述第二子固定通孔相連通，且所述第一子固定通孔的通孔尺寸大于所述第二子固定通孔的通孔尺寸。

在本實用新型的一個實施例中，還包括若干絕緣套筒，每個所述絕緣套筒分別設置于所述第一子固定通孔內，所述絕緣套筒中間設置有一通孔，所述絕緣套筒外壁的直徑尺寸等于所述第一子固定通孔的直徑尺寸，且所述通孔的直徑尺寸等于所述第二子固定通孔的直徑尺寸。

在本實用新型的一個實施例中，所述絕緣套筒的材質為塑料。

在本實用新型的一個實施例中，所述絕緣固定塊還設置有貫穿于所述絕緣固定塊上下表面的第二固定通孔。

在本實用新型的一個實施例中，所述第二固定通孔內設置有固定件，所述固定件上設置有一螺紋孔。

在本實用新型的一個實施例中，所述絕緣固定塊的材質為金屬鋁合金，所述絕緣固定塊表面覆蓋有絕緣膜。

在本實用新型的一個實施例中，所述絕緣膜為陽極膜。

與現有技術相比，本實用新型的有益效果：

1、本實用新型提供的靶材固定裝置，因為防導通凹槽結構使其避免了靶材濺射過程中薄膜落入固定通孔而導致絕緣性差的問題。

2、本實用新型提供的靶材固定裝置，因為防導通凹槽結構減少了零件的清洗頻率。