[實用新型]一種靶材固定裝置

有效

• 申請號: 201920728904.4
• 申請日: 2019-05-20
• 公開（公告）號: CN210796608U
• 公開（公告）日: 2020-06-19
• 發明（設計）人: 張小軍
• 申請（專利權）人: 咸陽彩虹光電科技有限公司
• 主分類號: C23C14/34
• 分類號: C23C14/34
• 代理公司: 西安嘉思特知識產權代理事務所(普通合伙) 61230
• 代理人: 張曉

1.一種靶材固定裝置，其特征在于，包括若干絕緣固定塊(10)，其中，

所述絕緣固定塊(10)上設置有若干貫穿于所述絕緣固定塊(10)上下表面的第一固定通孔(101)，且每個所述第一固定通孔(101)和靶材沖擊位置之間還設置有一防導通凹槽結構(102)。

2.根據權利要求1所述的裝置，其特征在于，所述防導通凹槽結構(102)包括第一部分(1021)和第二部分(1022)，所述第一部分(1021)位于所述第二部分(1022)上方且所述第一部分(1021)與所述第二部分(1022)相連通，所述第一部分(1021)的最大開口寬度小于所述第二部分(1022)的最大開口寬度。

3.根據權利要求2所述的裝置，其特征在于，所述第一部分(1021)為長方體，所述第一部分(1021)在所述絕緣固定塊(10)的開口長度為所述絕緣固定塊(10)上表面第一邊的長度，所述第二部分(1022)為球體或是橢圓體。

4.根據權利要求1所述的裝置，其特征在于，所述第一固定通孔(101)包括第一子固定通孔(1011)和第二子固定通孔(1012)，所述第一子固定通孔(1011)和所述第二子固定通孔(1012)相連通，且所述第一子固定通孔(1011)的通孔尺寸大于所述第二子固定通孔(1012)的通孔尺寸。

5.根據權利要求4所述的裝置，其特征在于，還包括若干絕緣套筒(104)，每個所述絕緣套筒(104)分別設置于所述第一子固定通孔(1011)內，所述絕緣套筒(104)中間設置有一通孔(1041)，所述絕緣套筒(104)外壁的直徑尺寸等于所述第一子固定通孔(1011)的直徑尺寸，且所述通孔(1041)的直徑尺寸等于所述第二子固定通孔(1012)的直徑尺寸。

6.根據權利要求5所述的裝置，其特征在于，所述絕緣套筒(104)的材質為塑料。

7.根據權利要求1所述的裝置，其特征在于，所述絕緣固定塊(10)還設置有貫穿于所述絕緣固定塊(10)上下表面的第二固定通孔(103)。

8.根據權利要求7所述的裝置，其特征在于，所述第二固定通孔(103)內設置有固定件(105)，所述固定件(105)內設置有一螺紋孔(1051)。

9.根據權利要求1所述的裝置，其特征在于，所述絕緣固定塊(10)的材質為金屬鋁合金，且所述絕緣固定塊(10)表面覆蓋有絕緣膜。

10.根據權利要求9所述的裝置，其特征在于，所述絕緣膜為陽極膜。