[實用新型]一種掃描電鏡樣品臺

有效

• 申請號: 201920728299.0
• 申請日: 2019-05-20
• 公開（公告）號: CN209658130U
• 公開（公告）日: 2019-11-19
• 發明（設計）人: 胡勻勻;徐冠超;丁丁;楊陽;馮志強
• 申請（專利權）人: 天合光能股份有限公司
• 主分類號: H01J37/20
• 分類號: H01J37/20;H01J37/28;G01N23/2251;G01N23/2204
• 代理公司: 33233 浙江永鼎律師事務所
• 代理人: 郭小麗<國際申請>=<國際公布>=<進入

本實用新型公開了一種掃描電鏡樣品臺，包括基座以及至少一個與基座可拆卸連接的承載模塊，所述承載模塊帶有用于承載樣品的承載斜面。所述基座由底座和設置于底座上的凸臺組成，所述承載模塊帶有與凸臺側面形狀相匹配的接觸面，所述承載模塊與底座可拆卸連接，并且所述承載模塊的接觸面與凸臺側面接觸配合。本實用新型不需要夾具和轉軸等較為復雜的部件，即可實現同時裝載多個樣品、同時多角度測量的目的，兼具平面和截面測試功能，能夠減少放真空?換樣?抽真空的等待時間，提高實驗和生產檢驗中的測試效率，本實用新型設計簡單，易加工，易操作。

技術領域

本實用新型屬于掃描電鏡技術領域，具體涉及一種掃描電鏡樣品臺。

背景技術

掃描電鏡是用聚焦得很細的電子束照射被檢測的試樣表面，利用電子束與物質相互作用激發出的二次電子或背散射電子等進行形貌觀察。掃描電鏡克服了光學顯微鏡放大倍率受到光波長限制的弊端，具有放大倍率高、可調范圍寬、樣品制備簡單、景深大、綜合分析能力強等優點，是現代固體材料微區形貌和結構分析的最有用儀器之一，廣泛應用于教學、科研甚至工業生產中。

掃描電鏡根據其電子光學系統不同，需要不同的真空度條件，分辨率較高的冷場發射掃描電鏡要求真空度為10^-8量級左右，熱場發射掃描電鏡約為10^-7量級，即使分辨較低的鎢燈絲掃描電鏡也需要10^-3量級的真空度。因此，抽真空等待時間是造成掃描電鏡檢測效率低的重要原因之一。對于多試樣的檢測，通常做法是盡量在一個樣品臺上制備多個樣品，減少頻繁抽放真空占用的時間。但是對于一些需要變換角度觀測的樣品，如光伏器件表面陷光結構、多孔結構材料、材料表面微納米晶等的觀測，效率還有待提高。

現有技術中也出現了一些可以實現多角度掃描的電鏡平臺，但是依然存在諸多不足，例如公告號為CN206460940U的專利文獻公開了一種多角度掃描電鏡樣品臺，其只能進行20°、70°的EBSD測試和普通的平面形貌測試。公告號為CN206864432U的專利文獻公開了一種多功能掃描電鏡樣品臺，其利用轉軸和轉動板實現旋轉功能，能夠測量多角度，但角度變化時需要放真空，不能夠同時測量多個不同角度的樣品。

實用新型內容

為了解決上述問題，本實用新型提供了一種掃描電鏡樣品臺，不需要夾具或轉軸等較為復雜的部件，即可滿足多個樣品、多角度同時裝載在樣品臺上，以供進行多個樣品的多個角度的觀測。

本實用新型的技術方案為：一種掃描電鏡樣品臺，包括基座以及至少一個與基座可拆卸連接的承載模塊，所述承載模塊帶有用于承載樣品的承載斜面。

本實用新型中承載模塊可以有多個，各個承載模塊上的承載斜面的傾斜角度可以不同，在使用時，可根據角度需要選擇相應的承載模塊來承載樣品，樣品放置于承載模塊上時，可以采用多種方式放置于承載面上，例如可以采用導電膠將樣品粘貼于承載斜面上，通過將樣品與具有不同傾斜角度的不同承載模塊相配合，即可實現對多個樣品同時進行多個任意角度的掃描電鏡測試，節約真空等待時間，提高測試效率。

另外，本實用新型中承載模塊與基座之間的可拆卸連接方式有多種，例如可以將承載模塊底面與基座之間通過導電膠或螺絲固定。

本實用新型中基座的結構形式有多種，作為優選，所述基座由底座和設置于底座上的凸臺組成，所述承載模塊帶有與凸臺側面形狀相匹配的接觸面，所述承載模塊與底座可拆卸連接，并且所述承載模塊的接觸面與凸臺側面接觸配合。本實用新型中凸臺上也可以放置樣品進行測試，本實用新型中底座的形狀可以為圓形，本實用新型中可以在底座上開著螺紋孔，在承載模塊上開設有與螺紋孔尺寸相同且位置對應的螺紋孔，連接時，可以采用沉頭螺絲從下往上依次穿過底座和承載模塊上的螺紋孔，進而使得承載模塊和底座固定在一起，本實用新型中也可以直接用導電膠將承載模塊粘在基座的底座上。承載模塊安裝在基座上后，其大小不能超出基座。

本實用新型中凸臺的結構形式有多種，作為優選，所述凸臺的側面由多個矩形面組成，所述承載模塊的接觸面與矩形面形狀相同。