[實用新型]一種掃描電鏡樣品臺有效
| 申請號： | 201920728299.0 | 申請日： | 2019-05-20 |
| 公開（公告）號： | CN209658130U | 公開（公告）日： | 2019-11-19 |
| 發明（設計）人： | 胡勻勻;徐冠超;丁丁;楊陽;馮志強 | 申請（專利權）人： | 天合光能股份有限公司 |
| 主分類號： | H01J37/20 | 分類號： | H01J37/20;H01J37/28;G01N23/2251;G01N23/2204 |
| 代理公司： | 33233 浙江永鼎律師事務所 | 代理人： | 郭小麗<國際申請>=<國際公布>=<進入 |
| 地址： | 213022 江蘇省常*** | 國省代碼： | 江蘇;32 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 承載模塊 本實用新型 底座 可拆卸連接 凸臺側面 掃描電鏡樣品臺 承載 夾具 多角度測量 測試效率 接觸配合 截面測試 抽真空 易加工 凸臺 轉軸 匹配 裝載 檢驗 生產 | ||
【權利要求書】：
1.一種掃描電鏡樣品臺，其特征在于，包括基座以及至少一個與基座可拆卸連接的承載模塊，所述承載模塊帶有用于承載樣品的承載斜面。
2.如權利要求1所述的掃描電鏡樣品臺，其特征在于，所述基座由底座和設置于底座上的凸臺組成，所述承載模塊帶有與凸臺側面形狀相匹配的接觸面，所述承載模塊與底座可拆卸連接，并且所述承載模塊的接觸面與凸臺側面接觸配合。
3.如權利要求2所述的掃描電鏡樣品臺，其特征在于，所述凸臺的側面由多個矩形面組成，所述承載模塊的接觸面與矩形面形狀相同。
4.如權利要求2或3所述的掃描電鏡樣品臺，其特征在于，所述凸臺的橫截面為正多邊形。
5.如權利要求4所述的掃描電鏡樣品臺，其特征在于，所述承載模塊的底面靠近所述凸臺的內角為α，其中，α≤(90+180/n)度，n為所述凸臺的邊數。
6.如權利要求5所述的掃描電鏡樣品臺，其特征在于，所述n≥3。
7.如權利要求1～3及5～6任一所述的掃描電鏡樣品臺，其特征在于，所述承載斜面的傾斜角度為0～90度。
8.如權利要求7所述的掃描電鏡樣品臺，其特征在于，所述承載斜面為等腰梯形形狀。
9.如權利要求1～3、5、6及8任一所述的掃描電鏡樣品臺，其特征在于，所述承載模塊為多個。
10.如權利要求9所述的掃描電鏡樣品臺，其特征在于，多個承載模塊沿著凸臺的周向布置。
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