[實用新型]一種新型低壓化學(xué)氣相沉淀高真空系統(tǒng)

有效

• 申請?zhí)枺?/td>: 201920715037.0
• 申請日: 2019-05-19
• 公開（公告）號: CN210065917U
• 公開（公告）日: 2020-02-14
• 發(fā)明（設(shè)計）人: 劉洋
• 申請（專利權(quán)）人: 青島華旗科技有限公司
• 主分類號: C23C16/44
• 分類號: C23C16/44
• 代理公司: 暫無信息
• 代理人: 暫無信息

本實用新型提供一種新型低壓化學(xué)氣相沉淀高真空系統(tǒng)，包括機組骨架和機臺，所述機組骨架內(nèi)安裝螺桿式干泵，且機組骨架上端面安裝羅茨泵，所述羅茨泵通過管道與螺桿式干泵相連接，且羅茨泵上安裝真空管道一，所述真空管道一另一端安裝壓力調(diào)節(jié)閥，所述壓力調(diào)節(jié)閥另一端安裝快抽閥，所述快抽閥另一端安裝真空管道二，所述真空管道二另一端連接冷阱出氣口，且真空管道二環(huán)形側(cè)面上安裝慢抽閥，所述冷阱進氣口安裝抽氣法蘭，所述機臺下端面中部位置安裝U型條，且機臺下側(cè)設(shè)置集灰板，所述集灰板上端面中間位置安裝條形板，與現(xiàn)有技術(shù)相比，本實用新型具有如下的有益效果：給工藝片的生長提供更好更潔凈的本底，機臺下側(cè)灰塵清理便捷。

技術(shù)領(lǐng)域

本實用新型是一種新型低壓化學(xué)氣相沉淀高真空系統(tǒng)，屬于低壓化學(xué)氣相沉淀工藝設(shè)備領(lǐng)域。

背景技術(shù)

低壓化學(xué)氣相沉積（LPCVD）系統(tǒng)用于集成電路、分立器件、MEMS等不同尺寸晶圓的薄膜沉積及摻雜等工藝。

目前，國內(nèi)廠家生產(chǎn)的同類產(chǎn)品中，通用型設(shè)備的極限真空度大多在0.8Pa-1Pa左右的范圍，工作真空度在1Pa-133Pa，真空腔室內(nèi)的本底真空會直接影響到工藝片的生長環(huán)境，特別是會影響工藝片的顆粒度等指標(biāo)，工作真空度的局限也導(dǎo)致產(chǎn)品性能得不到進一步的提升，同時集聚在機臺下側(cè)地面上的灰塵，因空間狹小較難清理。

實用新型內(nèi)容

針對現(xiàn)有技術(shù)存在的不足，本實用新型目的是提供一種新型低壓化學(xué)氣相沉淀高真空系統(tǒng)，以解決上述背景技術(shù)中提出真空腔室內(nèi)的本底真空會直接影響到工藝片的生長環(huán)境，特別是會影響工藝片的顆粒度等指標(biāo)，工作真空度的局限也導(dǎo)致產(chǎn)品性能得不到進一步的提升，同時集聚在機臺下側(cè)地面上的灰塵，因空間狹小較難清理的問題，本實用新型給工藝片的生長提供更好更潔凈的本底，機臺下側(cè)灰塵清理便捷。

為了實現(xiàn)上述目的，本實用新型是通過如下的技術(shù)方案來實現(xiàn)：一種新型低壓化學(xué)氣相沉淀高真空系統(tǒng)，包括機組骨架和機臺，所述機組骨架內(nèi)安裝螺桿式干泵，且機組骨架上端面安裝羅茨泵，所述羅茨泵通過管道與螺桿式干泵相連接，且羅茨泵上安裝真空管道一，所述真空管道一另一端安裝壓力調(diào)節(jié)閥，所述壓力調(diào)節(jié)閥另一端安裝快抽閥，所述快抽閥另一端安裝真空管道二，所述真空管道二另一端連接冷阱出氣口，且真空管道二環(huán)形側(cè)面上安裝慢抽閥，所述慢抽閥另一端與真空管道一相連接，所述機臺內(nèi)部安裝真空工藝腔，所述冷阱進氣口安裝抽氣法蘭，所述抽氣法蘭與真空工藝腔固定連接，所述機臺下端面中部位置安裝U型條，且機臺下側(cè)設(shè)置集灰板，所述集灰板上端面中間位置安裝條形板，所述條形板上端安插在U型條內(nèi)，所述集灰板下端面通過膠水粘貼海綿墊。

進一步地，所述慢抽閥為一種氣動隔膜閥。

進一步地，所述U型條左右兩端面上側(cè)邊緣處均等距安裝多組固定耳一，所述固定耳一通過螺絲與機臺固定連接。

進一步地，所述條形板左右兩端面下側(cè)邊緣處均等距安裝多組固定耳二，所述固定耳二通過螺絲與集灰板固定連接。

進一步地，所述真空管道一遠離羅茨泵的一端安裝真空規(guī)管，所述真空規(guī)管設(shè)置在壓力調(diào)節(jié)閥上側(cè)。

本實用新型的有益效果：本實用新型采用螺桿式干泵加羅茨泵的方式進行抽真空工作，將真空工藝腔的極限真空度提高到＜1.0×10^-1Pa，給工藝片的生長提供了更好更潔凈的本底，大大控制了工藝片的顆粒度問題，工作真空度達到0.1Pa-133Pa，使產(chǎn)品的性能指標(biāo)大大得到提升，通過將條形板安插在機臺上的U型條內(nèi)，完成將集灰板鋪設(shè)在機臺下側(cè)地面上，同時集灰板上的海綿墊與地面接觸，進而利用集灰板遮擋機臺下側(cè)地面，繼而灰塵集聚在集灰板上，將集灰板從機臺下側(cè)抽出后，實現(xiàn)便捷清理機臺下側(cè)灰塵的目的。

附圖說明

通過閱讀參照以下附圖對非限制性實施例所作的詳細(xì)描述，本實用新型的其它特征、目的和優(yōu)點將會變得更明顯：

圖1為本實用新型一種新型低壓化學(xué)氣相沉淀高真空系統(tǒng)的結(jié)構(gòu)示意圖；