[實用新型]一種新型低壓化學氣相沉淀高真空系統

有效

• 申請號: 201920715037.0
• 申請日: 2019-05-19
• 公開（公告）號: CN210065917U
• 公開（公告）日: 2020-02-14
• 發明（設計）人: 劉洋
• 申請（專利權）人: 青島華旗科技有限公司
• 主分類號: C23C16/44
• 分類號: C23C16/44
• 代理公司: 暫無信息
• 代理人: 暫無信息

1.一種新型低壓化學氣相沉淀高真空系統，包括機組骨架和機臺，其特征在于：所述機組骨架內安裝螺桿式干泵，且機組骨架上端面安裝羅茨泵，所述羅茨泵通過管道與螺桿式干泵相連接，且羅茨泵上安裝真空管道一，所述真空管道一另一端安裝壓力調節閥，所述壓力調節閥另一端安裝快抽閥，所述快抽閥另一端安裝真空管道二，所述真空管道二另一端連接冷阱出氣口，且真空管道二環形側面上安裝慢抽閥，所述慢抽閥另一端與真空管道一相連接，所述機臺內部安裝真空工藝腔，所述冷阱進氣口安裝抽氣法蘭，所述抽氣法蘭與真空工藝腔固定連接，所述機臺下端面中部位置安裝U型條，且機臺下側設置集灰板，所述集灰板上端面中間位置安裝條形板，所述條形板上端安插在U型條內，所述集灰板下端面通過膠水粘貼海綿墊。

2.根據權利要求1所述的一種新型低壓化學氣相沉淀高真空系統，其特征在于：所述慢抽閥為一種氣動隔膜閥。

3.根據權利要求1所述的一種新型低壓化學氣相沉淀高真空系統，其特征在于：所述U型條左右兩端面上側邊緣處均等距安裝多組固定耳一，所述固定耳一通過螺絲與機臺固定連接。

4.根據權利要求1所述的一種新型低壓化學氣相沉淀高真空系統，其特征在于：所述條形板左右兩端面下側邊緣處均等距安裝多組固定耳二，所述固定耳二通過螺絲與集灰板固定連接。

5.根據權利要求1所述的一種新型低壓化學氣相沉淀高真空系統，其特征在于：所述真空管道一遠離羅茨泵的一端安裝真空規管，所述真空規管設置在壓力調節閥上側。