[實用新型]一種ICP尾氣處理裝置

有效

• 申請號: 201920697745.6
• 申請日: 2019-05-16
• 公開（公告）號: CN210631925U
• 公開（公告）日: 2020-05-29
• 發明（設計）人: 楊仕品
• 申請（專利權）人: 昆山市智程自動化設備有限公司
• 主分類號: B01D53/78
• 分類號: B01D53/78;B01D53/96
• 代理公司: 蘇州企航知識產權代理事務所(普通合伙) 32354
• 代理人: 朱丹

本實用新型公開了一種ICP尾氣處理裝置，包括機架、循環水箱、進氣管、排氣管以及由多級噴淋腔室構成的處理室，進氣管與排氣管設置在機架上端，進氣管與處理室之間還設置有初始噴淋腔室，處理室包括一級噴淋腔室、二級噴淋腔室和最終噴淋腔室，每個腔室內均設置有噴淋管，噴淋管口均設置有螺旋噴淋頭，每個腔室之間設置有過濾板和平鋪散堆的拉西環填料，二級噴淋腔室和最終噴淋腔室之間設置有虹吸噴淋腔室，該ICP尾氣處理裝置利用處理室將ICP尾氣與溶有三氯化硼氣體的循環處理液充分中和處理，并且利用虹吸噴淋將尾氣導流到最終噴淋腔室中，可以充分處理尾氣殘余有害氣體，而且保持循環處理液溫度在結晶臨界溫度之上，節能環保。

技術領域

本實用新型涉及半導體制程清洗設備技術領域，具體涉及一種ICP尾氣處理裝置。

背景技術

ICP的尾氣主要就是載氣Ar,但是離子化了后，等離子體中還有酸堿性氣體分子等等，ICP 尾氣對環境造成一定的影響，傳統的ICP尾氣處理系統為達到處理效果都是在運行中持續不斷的往里面通入純水，這種處理會造成水的大量浪費，而新興的處理方案是循環通入三氯化硼氣體溶于水的方式中和酸堿尾氣，解決了浪費水的問題，另外為了避免三氯化硼氣體溶于水會產生結晶現象，也需設計出有效便捷的溫控方案。

發明內容

本實用新型目的是：針對背景技術提及的傳統處理ICP尾氣的問題和不足，提供一種ICP 尾氣處理裝置，既能有效將半導體制程中ICP設備排出有毒、有害氣體尾氣充分處理后，也可有效減少排放管路內的結晶問題，并達標排放。

為解決上述問題采取的技術方案是：

一種ICP尾氣處理裝置，包括機架、循環水箱、進氣管、排氣管以及由多級噴淋腔室構成的處理室，

所述機架一側設有電控箱，包括控制面板、溫度監測器、pH監測器以及泵，所述溫度監測器、pH監測器與所述循環水箱內的溶有三氯化硼氣體的循環處理液電性連接，

所述進氣管與排氣管設置在所述機架上端，所述進氣管與處理室之間還設置有初始噴淋腔室，所述處理室包括一級噴淋腔室、二級噴淋腔室和最終噴淋腔室，所述初始噴淋腔室、一級噴淋腔室、二級噴淋腔室和最終噴淋腔室中一體連通有噴淋管，每個腔室內均設置有噴淋管，所述噴淋管口均設置有螺旋噴淋頭，每個腔室之間設置有過濾板和平鋪散堆的拉西環填料，

所述二級噴淋腔室和最終噴淋腔室之間設置有虹吸噴淋腔室，通過循環處理液將尾氣導流到最終噴淋腔室，并設置有與所述循環水箱管路連接的溢流口，

所述排氣管下方設置有除霧器。

進一步地，所述循環水箱設置有進水口和排水口。

進一步地，所述溫度監測器控制所述循環水箱內的液體溫度在45℃以上。

進一步地，所述初始噴淋腔室、一級噴淋腔室、二級噴淋腔室和最終噴淋腔室一側均設置有維修視窗。

進一步地，所述機架底座下設置有防漏盆。

本實用新型的有益效果是：該ICP尾氣處理裝置利用由多級噴淋腔室構成的處理室，將 ICP尾氣與溶有三氯化硼氣體的循環處理液充分中和處理，并且利用虹吸噴淋將尾氣導流到最終噴淋腔室中，可以充分處理尾氣殘余有害氣體，而且保持循環處理液溫度在結晶臨界溫度之上，節能環保，實用方便。

附圖說明

為了更清楚地說明本實用新型實施例中的技術方案，下面將對實施例描述中所提供的附圖作簡單地介紹。

圖1為本實施例ICP尾氣處理裝置的結構示意圖；

圖2為本實施例ICP尾氣處理裝置的背部示意圖；

圖3為本實施例ICP尾氣處理裝置去除前機架的結構示意圖；