[實用新型]一種ICP尾氣處理裝置

有效

• 申請號: 201920697745.6
• 申請日: 2019-05-16
• 公開（公告）號: CN210631925U
• 公開（公告）日: 2020-05-29
• 發明（設計）人: 楊仕品
• 申請（專利權）人: 昆山市智程自動化設備有限公司
• 主分類號: B01D53/78
• 分類號: B01D53/78;B01D53/96
• 代理公司: 蘇州企航知識產權代理事務所(普通合伙) 32354
• 代理人: 朱丹

1.一種ICP尾氣處理裝置，包括機架、循環水箱、進氣管、排氣管以及由多級噴淋腔室構成的處理室，其特征在于：

所述機架一側設有電控箱，包括控制面板、溫度監測器、pH監測器以及泵，所述溫度監測器、pH監測器與所述循環水箱內的溶有三氯化硼氣體的循環處理液電性連接，

所述進氣管與排氣管設置在所述機架上端，所述進氣管與處理室之間還設置有初始噴淋腔室，所述處理室包括一級噴淋腔室、二級噴淋腔室和最終噴淋腔室，所述初始噴淋腔室、一級噴淋腔室、二級噴淋腔室和最終噴淋腔室中一體連通有噴淋管，每個腔室內均設置有噴淋管，所述噴淋管口均設置有螺旋噴淋頭，每個腔室之間設置有過濾板和平鋪散堆的拉西環填料，

所述二級噴淋腔室和最終噴淋腔室之間設置有虹吸噴淋腔室，通過循環處理液將尾氣導流到最終噴淋腔室，并設置有與所述循環水箱管路連接的溢流口。

2.根據權利要求1所述的ICP尾氣處理裝置，其特征在于：所述排氣管下方設置有除霧器。

3.根據權利要求1所述的ICP尾氣處理裝置，其特征在于：所述循環水箱設置有進水口和排水口。

4.根據權利要求1所述的ICP尾氣處理裝置，其特征在于：所述溫度監測器控制所述循環水箱內的液體溫度在45℃以上。

5.根據權利要求1所述的ICP尾氣處理裝置，其特征在于：所述初始噴淋腔室、一級噴淋腔室、二級噴淋腔室和最終噴淋腔室一側均設置有維修視窗。

6.根據權利要求1所述的ICP尾氣處理裝置，其特征在于：所述機架底座下設置有防漏盆。