[實用新型]一種應用于半導體廢氣處理設備的循環(huán)水箱

有效

• 申請?zhí)枺?/td>: 201920697383.0
• 申請日: 2019-05-16
• 公開（公告）號: CN210473564U
• 公開（公告）日: 2020-05-08
• 發(fā)明（設計）人: 章文軍;楊春水;寧騰飛;陳彥崗;楊春濤;王繼飛;張坤;閆蕭;蔡傳濤;席濤濤;王磊
• 申請（專利權）人: 安徽京儀自動化裝備技術有限公司
• 主分類號: B01D53/78
• 分類號: B01D53/78;B01D53/75
• 代理公司: 蕪湖思誠知識產(chǎn)權代理有限公司 34138
• 代理人: 鄭直

本實用新型公開了一種應用于半導體廢氣處理設備的循環(huán)水箱，涉及半導體行業(yè)廢氣清潔技術領域，包括水箱本體，所述水箱本體包括箱體和蓋板，所述蓋板上設有水洗塔連接口、反應腔連接口以及水泵架，所述水泵架上設有立式水泵，所述立式水泵連接有與廢氣處理設備中水洗塔連接的循環(huán)管路，本實用新型的箱體通過設置前維護窗口和左維護窗口，使得方便了觀察箱體內(nèi)部情況，方便了維護，箱體材質選擇耐酸堿材料，使用壽命長，通過設置過濾板，使得箱體內(nèi)大顆粒臟污被過濾板過濾，有利于立式水泵維護運行且不易損壞。

技術領域

本實用新型涉及半導體廢氣清潔技術領域，具體涉及一種應用于半導體廢氣處理設備的循環(huán)水箱。

背景技術

用于半導體制造工藝產(chǎn)生的氣體具有強烈的特性，例如毒性、燃燒性、和腐蝕，直接排放到大氣中不符合排放標準，需要各車間先進行廢氣處理后再通過總廠的排放系統(tǒng)排放，廢氣處理一般會先燃燒再經(jīng)水箱和水洗塔洗滌降溫，但是現(xiàn)有的水箱具有以下缺陷：1、不能觀察水箱內(nèi)部；2、金屬水箱長時間在酸堿溶液中容易被腐蝕；3、水箱內(nèi)臟污不利于水泵維護運行；4、臥式水泵不允許空轉，空轉容易損壞，因此可做進一步改進。

實用新型內(nèi)容

本實用新型的目的在于提供一種應用于半導體廢氣處理設備的循環(huán)水箱，以解決現(xiàn)有技術中水箱不能觀察水箱內(nèi)部、金屬水箱長時間在酸堿溶液中容易被腐蝕、水箱內(nèi)臟污不利于水泵維護運行、臥式水泵不允許空轉，空轉容易損壞的缺陷。

一種應用于半導體廢氣處理設備的循環(huán)水箱，包括水箱本體，所述水箱本體包括箱體和蓋板，所述蓋板上設有水洗塔連接口、反應腔連接口以及水泵架，所述水泵架上設有立式水泵，所述立式水泵連接有與廢氣處理設備中水洗塔連接的循環(huán)管路，所述蓋板上還螺釘連接有安裝板。

優(yōu)選的，所述箱體內(nèi)設有“∟”形的過濾板，所述過濾板的兩側分別連接于箱體的兩相鄰側壁上，所述過濾板上端與下端分別連接蓋板與箱體底部，所述過濾板上開有數(shù)個濾孔。

優(yōu)選的，所述箱體的正面開有維護孔一，所述維護孔一內(nèi)套接連接件一，所述連接件一端面螺釘連接前維護窗口。

優(yōu)選的，所述箱體的側面開有維護孔二，所述維護孔二內(nèi)套接連接件二，所述連接件二端面螺釘連接左維護窗口。

優(yōu)選的，所述蓋板與安裝板、前維護窗口與連接件一、左維護窗口與連接件二的連接處均設有密封圈，所述立式水泵與水泵架間、所述水泵架與蓋板間均設有密封墊。

本實用新型的優(yōu)點在于：本實用新型的箱體通過設置前維護窗口和左維護窗口，使得方便了觀察箱體內(nèi)部情況，方便了維護，箱體材質選擇耐酸堿材料，使用壽命長，通過設置過濾板，使得箱體內(nèi)大顆粒臟污被過濾板過濾，有利于立式水泵維護運行且不易損壞。

附圖說明

圖1為本實用新型的結構示意圖。

圖2、3為本實用新型中箱體不同角度的結構示意圖。

圖4為本實用新型中安裝板的結構示意圖。

圖5為本實用新型安裝了支撐板的結構示意圖。

圖6、圖7為本實用新型中支撐板不同視角的結構示意圖。

其中，1-水箱本體，2-箱體，3-蓋板，4-水洗塔連接口，5-反應腔連接口，6-水泵架，7-立式水泵，8-循環(huán)管路，9-安裝板，10-維護孔一，11-連接件一，12-前維護窗口，13-維護孔二，14-連接件二，15-左維護窗口，16-過濾板，17-濾孔，18-支撐板，19-浮球式液位傳感器，20-控制器，21-熱電偶，22-端蓋。

具體實施方式

為使本實用新型實現(xiàn)的技術手段、創(chuàng)作特征、達成目的與功效易于明白了解，下面結合具體實施方式，進一步闡述本實用新型。