[實用新型]一種應用于半導體廢氣處理設備的循環水箱

有效

• 申請號: 201920697383.0
• 申請日: 2019-05-16
• 公開（公告）號: CN210473564U
• 公開（公告）日: 2020-05-08
• 發明（設計）人: 章文軍;楊春水;寧騰飛;陳彥崗;楊春濤;王繼飛;張坤;閆蕭;蔡傳濤;席濤濤;王磊
• 申請（專利權）人: 安徽京儀自動化裝備技術有限公司
• 主分類號: B01D53/78
• 分類號: B01D53/78;B01D53/75
• 代理公司: 蕪湖思誠知識產權代理有限公司 34138
• 代理人: 鄭直

1.一種應用于半導體廢氣處理設備的循環水箱，其特征在于，包括水箱本體(1)，所述水箱本體(1)包括箱體(2)和蓋板(3)，所述蓋板(3)上設有水洗塔連接口(4)、反應腔連接口(5)以及水泵架(6)，所述水泵架(6)上設有立式水泵(7)，所述立式水泵(7)連接有與廢氣處理設備中水洗塔連接的循環管路(8)，所述蓋板(3)上還螺釘連接有安裝板(9)。

2.根據權利要求1所述的一種應用于半導體廢氣處理設備的循環水箱，其特征在于：所述箱體(2)內設有“∟”形的過濾板(16)，所述過濾板(16)的兩側分別連接于箱體(2)的兩相鄰側壁上，所述過濾板(16)上端與下端分別連接蓋板(3)與箱體(2)底部，所述過濾板(16)上開有數個濾孔(17)。

3.根據權利要求2所述的一種應用于半導體廢氣處理設備的循環水箱，其特征在于：所述箱體(2)的正面開有維護孔一(10)，所述維護孔一(10)內套接連接件一(11)，所述連接件一(11)端面螺釘連接前維護窗口(12)。

4.根據權利要求3所述的一種應用于半導體廢氣處理設備的循環水箱，其特征在于：所述箱體(2)的側面開有維護孔二(13)，所述維護孔二(13)內套接連接件二(14)，所述連接件二(14)端面螺釘連接左維護窗口(15)。

5.根據權利要求4所述的一種應用于半導體廢氣處理設備的循環水箱，其特征在于：所述蓋板(3)與安裝板(9)、前維護窗口(12)與連接件一(11)、左維護窗口(15)與連接件二(14)的連接處均設有密封圈，所述立式水泵(7)與水泵架(6)間、所述水泵架(6)與蓋板(3)間均設有密封墊。