[實用新型]一種基于半導體生產的溫控用高效加熱裝置

有效

• 申請號: 201920693496.3
• 申請日: 2019-05-15
• 公開（公告）號: CN209947801U
• 公開（公告）日: 2020-01-14
• 發明（設計）人: 蔣恒深;李洪聰;米金鵬;劉珍;高珂珂;崔丹
• 申請（專利權）人: 無錫艾里森科技有限公司
• 主分類號: H01L21/67
• 分類號: H01L21/67
• 代理公司: 暫無信息
• 代理人: 暫無信息

本實用新型公開了一種基于半導體生產的溫控用高效加熱裝置，涉及到半導體領域，包括支撐座，支撐座的上表面中部固定連接有加熱爐體，支撐座的上表面一側固定連接有第一支撐架，支撐座的上表面另一側固定連接有第二支撐架，第一支撐架的一側下端固定連接有驅動電機，第二支撐架的頂部活動連接往復絲杠的一端，驅動電機的一側通過傳動軸活動連接有第一皮帶輪，第一皮帶輪通過皮帶活動連接有第二皮帶輪，第一支撐架的頂端固定連接有滑動軌，滑動軌的上表面中部設置有移動塊，移動塊的頂端固定連接頂桿的底端。本實用新型通過在支撐座上設置第一支撐架和第二支撐架，能夠便于支撐滑動軌以及往復絲杠。

技術領域

本實用新型涉及半導體領域，特別涉及一種基于半導體生產的溫控用高效加熱裝置。

背景技術

半導體指常溫下導電性能介于導體與絕緣體之間的材料，半導體在收音機、電視機以及測溫上有著廣泛的應用，如二極管就是采用半導體制作的器件，半導體是指一種導電性可受控制，范圍可從絕緣體至導體之間的材料，無論從科技或是經濟發展的角度來看，半導體的重要性都是非常巨大的，今日大部分的電子產品，如計算機、移動電話或是數字錄音機當中的核心單元都和半導體有著極為密切的關連，常見的半導體材料有硅、鍺、砷化鎵等，而硅更是各種半導體材料中，在商業應用上最具有影響力的一種。

現有的加熱裝置靈活性較低，不能夠使半導體均勻受熱，容易使半導體發生形變，從而導致半導體無法繼續加工。

因此，發明一種基于半導體生產的溫控用高效加熱裝置來解決上述問題很有必要。

實用新型內容

本實用新型的目的在于提供一種基于半導體生產的溫控用高效加熱裝置，以解決上述背景技術中提出的現有的加熱裝置靈活性較低，不能夠使半導體均勻受熱，容易使半導體發生形變，從而導致半導體無法繼續加工的問題。

為實現上述目的，本實用新型提供如下技術方案：一種基于半導體生產的溫控用高效加熱裝置，包括支撐座，所述支撐座的上表面中部固定連接有加熱爐體，所述支撐座的上表面一側固定連接有第一支撐架，所述支撐座的上表面另一側固定連接有第二支撐架，所述第一支撐架的一側下端固定連接有驅動電機，所述第二支撐架的頂部活動連接往復絲杠的一端，所述驅動電機的一側通過傳動軸活動連接有第一皮帶輪，所述第一皮帶輪通過皮帶活動連接有第二皮帶輪，所述第一支撐架的頂端固定連接有滑動軌；

所述滑動軌的上表面中部設置有移動塊，所述移動塊的頂端固定連接頂桿的底端，所述頂桿的上方設置有半導體托環，所述半導體托環的邊緣處固定連接有金屬連接桿，所述半導體托環與頂桿相靠近的一面均卡接有托桿，所述托桿的一端套接有連接套，所述托桿的一端固定連接有限位滑板。

可選的，所述限位滑板的一側固定連接有伸縮桿；

所述伸縮桿的表面貼合連接有拉伸彈簧。

可選的，所述往復絲杠的另一端貫穿移動塊的中部并與移動塊的中部螺紋連接；

所述往復絲杠的另一端與第二皮帶輪的一側固定連接。

可選的，所述金屬連接桿的頂端固定連接有固定環；

所述頂桿、半導體托環、金屬連接桿、托桿和固定環均由不銹鋼制成。

可選的，所述限位滑板的兩端分別與連接套的兩側內壁貼合連接；

所述滑動軌的一端與第二支撐架的一側上端固定連接。

可選的，所述滑動軌的上表面中部開設有滑槽；

所述移動塊位于滑槽內并與滑槽相適配。

本實用新型的技術效果和優點：