[實用新型]雙加熱裝置

有效

• 申請號: 201920687186.0
• 申請日: 2019-05-14
• 公開（公告）號: CN209624976U
• 公開（公告）日: 2019-11-12
• 發明（設計）人: 王云翔;冒薇;段仲偉;馬冬月;許愛玲;李曉帥;祝翠梅;姚園
• 申請（專利權）人: 蘇州美圖半導體技術有限公司
• 主分類號: G03F7/16
• 分類號: G03F7/16
• 代理公司: 南京思拓知識產權代理事務所(普通合伙) 32288
• 代理人: 苗建

1.一種雙加熱裝置，其特征是：包括加熱支撐殼體、設置于所述加熱支撐殼體上的下加熱盤（2）以及與所述加熱支撐殼體鉸接的防護罩（7），在所述防護罩（7）內設置能吸附硅片（13）的上加熱盤（9）以及能對上加熱盤（9）上硅片（13）加熱的上加熱器（8）；在加熱支撐殼體內設置下加熱器（18），防護罩（7）壓蓋在加熱支撐殼體上時，上加熱盤（9）能與下加熱盤（2）正對應，通過上加熱器（8）、下加熱器（18）能對上加熱盤（9）與下加熱盤（2）之間的硅片（13）的兩面同時進行加熱。

2.根據權利要求1所述的雙加熱裝置，其特征是：在防護罩（7）內還設置上隔熱板（10），上加熱器（8）、上加熱盤（9）固定安裝于上隔熱板（10）上，上隔熱板（10）通過上隔熱板支撐柱（11）安裝于防護罩（7）內，上加熱器（8）位于上加熱盤（9）與上隔熱板（10）之間。

3.根據權利要求1或2所述的雙加熱裝置，其特征是：在所述防護罩（7）上設置若干罩體散熱孔（19），在上加熱盤（9）上設置真空吸附孔（12）。

4.根據權利要求1所述的雙加熱裝置，其特征是：所述防護罩（7）通過鉸鏈（6）鉸接在加熱支撐殼體上，在防護罩（7）的背面還設置用于調節鉸鏈（6）打開角度的調節塊（15）。

5.根據權利要求1所述的雙加熱裝置，其特征是：在所述加熱支撐殼體內設置用于與下加熱器（18）適配連接的下隔熱板（17），在加熱支撐殼體內設置用于支撐下隔熱板（17）的隔熱板支撐柱（16）。

6.根據權利要求1所述的雙加熱裝置，其特征是：在所述加熱支撐殼體的底端設置若干均勻分布的可調底座（4），在加熱支撐殼體上還設置觸摸屏（5）。

7.根據權利要求1所述的雙加熱裝置，其特征是：在防護罩（7）上還設置防護罩拉手（14）。