[實(shí)用新型]真空貼膜機(jī)

有效

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 201920681939.7
• 申請(qǐng)日: 2019-05-14
• 公開(kāi)（公告）號(hào): CN209903937U
• 公開(kāi)（公告）日: 2020-01-07
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 王云翔;冒薇;段仲偉;馬冬月;許愛(ài)玲;李曉帥
• 申請(qǐng)（專利權(quán)）人: 蘇州美圖半導(dǎo)體技術(shù)有限公司
• 主分類號(hào): B29C63/02
• 分類號(hào): B29C63/02;B29C63/00
• 代理公司: 32288 南京思拓知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理事務(wù)所(普通合伙)
• 代理人: 苗建

本實(shí)用新型涉及一種真空貼膜機(jī)，其包括機(jī)殼以及設(shè)置于所述機(jī)殼內(nèi)上部的真空腔體，在機(jī)殼上設(shè)置能與真空腔體適配連接的腔蓋；在真空腔體內(nèi)設(shè)置用于支撐待貼膜晶圓的晶圓托盤，在真空腔體內(nèi)還設(shè)置用于支撐膜的晶圓框架，所述晶圓框架位于晶圓托盤的上方；在機(jī)殼內(nèi)還設(shè)置能驅(qū)動(dòng)晶圓托盤升降的托盤升降驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)，真空腔體內(nèi)處于所需的真空狀態(tài)時(shí)，通過(guò)托盤升降驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)驅(qū)動(dòng)晶圓托盤向靠近晶圓框架的方向運(yùn)動(dòng)，能使得晶圓與膜接觸，且托盤升降驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)驅(qū)動(dòng)晶圓托盤后能將接觸后的晶圓、膜壓緊在腔蓋上。本實(shí)用新型結(jié)構(gòu)緊湊，能有效將膜貼在晶圓上，避免貼膜過(guò)程中產(chǎn)生氣泡，使用方便，安全可靠。

技術(shù)領(lǐng)域

本實(shí)用新型涉及一種貼膜設(shè)備，尤其是一種真空貼膜機(jī)，屬于微納米加工的技術(shù)領(lǐng)域。

背景技術(shù)

在MEMS領(lǐng)域，經(jīng)常會(huì)用到襯底貼膜工藝，帶有微結(jié)構(gòu)的襯底貼膜工藝應(yīng)用也越來(lái)越廣泛。目前貼膜工藝是在大氣環(huán)境用滾輪實(shí)現(xiàn)，這種方法只能用于光襯底貼膜，對(duì)于有微結(jié)構(gòu)的襯底來(lái)說(shuō)，用這種方法貼膜不能排空微結(jié)構(gòu)內(nèi)的空氣，進(jìn)而會(huì)導(dǎo)致襯底無(wú)法使用。

發(fā)明內(nèi)容

本實(shí)用新型的目的是克服現(xiàn)有技術(shù)中存在的不足，提供一種真空貼膜機(jī)，其結(jié)構(gòu)緊湊，能有效將膜貼在晶圓上，避免貼膜過(guò)程中產(chǎn)生氣泡，使用方便，安全可靠。

按照本實(shí)用新型提供的技術(shù)方案，所述真空貼膜機(jī)，包括機(jī)殼以及設(shè)置于所述機(jī)殼內(nèi)上部的真空腔體，在機(jī)殼上設(shè)置能與真空腔體適配連接的腔蓋；在真空腔體內(nèi)設(shè)置用于支撐待貼膜晶圓的晶圓托盤，在真空腔體內(nèi)還設(shè)置用于支撐膜的晶圓框架，所述晶圓框架位于晶圓托盤的上方；

在機(jī)殼內(nèi)還設(shè)置能驅(qū)動(dòng)晶圓托盤升降的托盤升降驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)，真空腔體內(nèi)處于所需的真空狀態(tài)時(shí)，通過(guò)托盤升降驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)驅(qū)動(dòng)晶圓托盤向靠近晶圓框架的方向運(yùn)動(dòng)，能使得晶圓與膜接觸，且托盤升降驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)驅(qū)動(dòng)晶圓托盤后能將接觸后的晶圓、膜壓緊在腔蓋上。

所述腔蓋鉸接在真空腔體上，在真空腔體內(nèi)的上部設(shè)置密封圈。

在所述真空腔體內(nèi)設(shè)置用于與托盤升降驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)適配連接的推板，所述推板位于晶圓托盤的下方，所述推板上設(shè)置若干均勻分布的托盤導(dǎo)向柱與晶圓托盤連接，在托盤導(dǎo)向柱上套有導(dǎo)向柱彈簧，所述導(dǎo)向柱彈簧位于晶圓托盤與推板之間，托盤升降驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)通過(guò)驅(qū)動(dòng)推板升降后能帶動(dòng)晶圓托盤同步升降。

在所述真空腔體內(nèi)還設(shè)置用于對(duì)推板升降導(dǎo)向的推板升降導(dǎo)向柱。

所述托盤升降驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)包括設(shè)置于機(jī)殼內(nèi)的氣缸，所述氣缸位于真空腔體的下方，氣缸的活塞桿通過(guò)推桿與推板連接，在推桿上套設(shè)有能密封推桿與真空腔體結(jié)合部的焊接波紋管。

在所述機(jī)殼的底端設(shè)置若干均勻分布的可調(diào)底座。

在所述機(jī)殼上設(shè)置有溫控儀、真空表、真空開(kāi)關(guān)、壓力調(diào)節(jié)旋鈕以及升降調(diào)節(jié)開(kāi)關(guān)。

在腔蓋上設(shè)置拉手。

本實(shí)用新型的優(yōu)點(diǎn)：通過(guò)晶圓托盤能支撐晶圓，通過(guò)晶圓框架能支撐膜，通過(guò)氣缸驅(qū)動(dòng)晶圓托盤上升時(shí)，晶圓能與膜接觸，且通過(guò)晶圓托盤能將晶圓、膜壓緊在腔蓋上，從而能實(shí)現(xiàn)將膜貼在晶圓上，整個(gè)貼膜過(guò)程均在真空環(huán)境中，避免貼膜過(guò)程中產(chǎn)生氣泡，使用方便，安全可靠。

附圖說(shuō)明

圖1為本實(shí)用新型的結(jié)構(gòu)示意圖。

圖2為本實(shí)用新型晶圓與膜未接觸前的示意圖。

圖3為本實(shí)用新型將晶圓與膜壓緊在腔蓋上的示意圖。

附圖標(biāo)記說(shuō)明：1-拉手、2-腔蓋、3-轉(zhuǎn)軸、4-轉(zhuǎn)軸支座、5-真空腔體、6-密封圈、7-晶圓框架、8-晶圓、9-晶圓托盤、10-真空表、11-機(jī)殼、12-溫控儀、13-壓力調(diào)節(jié)旋鈕、14-真空開(kāi)關(guān)、15-升降調(diào)節(jié)開(kāi)關(guān)、16-可調(diào)底座、17-膜、18-導(dǎo)向柱彈簧、19-托盤導(dǎo)向柱、20-推板、21-推板升降導(dǎo)向柱、22-焊接波紋管、23-推桿以及24-氣缸。