[實用新型]真空貼膜機

有效

• 申請號: 201920681939.7
• 申請日: 2019-05-14
• 公開（公告）號: CN209903937U
• 公開（公告）日: 2020-01-07
• 發明（設計）人: 王云翔;冒薇;段仲偉;馬冬月;許愛玲;李曉帥
• 申請（專利權）人: 蘇州美圖半導體技術有限公司
• 主分類號: B29C63/02
• 分類號: B29C63/02;B29C63/00
• 代理公司: 32288 南京思拓知識產權代理事務所(普通合伙)
• 代理人: 苗建

1.一種真空貼膜機，其特征是：包括機殼（11）以及設置于所述機殼（11）內上部的真空腔體（5），在機殼（11）上設置能與真空腔體（5）適配連接的腔蓋（2）；在真空腔體（5）內設置用于支撐待貼膜晶圓（8）的晶圓托盤（9），在真空腔體（5）內還設置用于支撐膜（17）的晶圓框架（7），所述晶圓框架（7）位于晶圓托盤（9）的上方；

在機殼（11）內還設置能驅動晶圓托盤（9）升降的托盤升降驅動機構，真空腔體（5）內處于所需的真空狀態時，通過托盤升降驅動機構驅動晶圓托盤（9）向靠近晶圓框架（7）的方向運動，能使得晶圓（8）與膜（17）接觸，且托盤升降驅動機構驅動晶圓托盤（9）后能將接觸后的晶圓（8）、膜（17）壓緊在腔蓋（2）上。

2.根據權利要求1所述的真空貼膜機，其特征是：所述腔蓋（2）鉸接在真空腔體（5）上，在真空腔體（5）內的上部設置密封圈（6）。

3.根據權利要求1所述的真空貼膜機，其特征是：在所述真空腔體（5）內設置用于與托盤升降驅動機構適配連接的推板（20），所述推板（20）位于晶圓托盤（9）的下方，所述推板（20）上設置若干均勻分布的托盤導向柱（19）與晶圓托盤（9）連接，在托盤導向柱（19）上套有導向柱彈簧（18），所述導向柱彈簧（18）位于晶圓托盤（9）與推板（20）之間，托盤升降驅動機構通過驅動推板（20）升降后能帶動晶圓托盤（9）同步升降。

4.根據權利要求3所述的真空貼膜機，其特征是：在所述真空腔體（5）內還設置用于對推板（20）升降導向的推板升降導向柱（21）。

5.根據權利要求3或4所述的真空貼膜機，其特征是：所述托盤升降驅動機構包括設置于機殼（11）內的氣缸（24），所述氣缸（24）位于真空腔體（5）的下方，氣缸（24）的活塞桿通過推桿（23）與推板（20）連接，在推桿（23）上套設有能密封推桿（23）與真空腔體（5）結合部的焊接波紋管（22）。

6.根據權利要求1所述的真空貼膜機，其特征是：在所述機殼（11）的底端設置若干均勻分布的可調底座（16）。

7.根據權利要求1所述的真空貼膜機，其特征是：在所述機殼（11）上設置有溫控儀（12）、真空表（10）、真空開關（14）、壓力調節旋鈕（13）以及升降調節開關（15）。

8.根據權利要求1所述的真空貼膜機，其特征是：在腔蓋（2）上設置拉手（1）。