[實用新型]一種載板及鈍化設備

有效

• 申請號: 201920661953.0
• 申請日: 2019-05-09
• 公開（公告）號: CN209544295U
• 公開（公告）日: 2019-10-25
• 發明（設計）人: 劉裕通;王其林
• 申請（專利權）人: 鹽城阿特斯陽光能源科技有限公司;阿特斯陽光電力集團有限公司
• 主分類號: H01L21/673
• 分類號: H01L21/673;H01L31/18
• 代理公司: 北京品源專利代理有限公司 11332
• 代理人: 胡彬

本實用新型涉及鈍化處理技術領域，公開一種載板及鈍化設備。所述載板包括用于容納工件的容置位，所述容置位上沿所述載板的厚度方向設置有至少兩個容置槽，沿所述厚度方向由上至下所述容置槽的面積依次減小，工件可選地放置于任一個所述容置槽中。本實用新型通過設置面積不等的容置槽，能夠容納不同尺寸的工件，提高載板的通用性。

技術領域

本實用新型涉及鈍化處理技術領域，尤其涉及一種載板及鈍化設備。

背景技術

光伏發電是利用半導體界面的光生伏特效應而將光能直接轉變為電能的一種技術，具有能源清潔、可再生的優勢，因此太陽能電池片的制備也受到廣泛重視。為了降低太陽能表面因反射損失的光能量，可以在電池片的表面制備鈍化膜，以起到表面鈍化和減少反射的作用，從而提高電池片的光電流和光電轉化效率。

現有的鈍化設備包括腔室，腔室內放置用于裝載電池片的載板，載板具有與電池片形狀和尺寸適配的凹槽。現有技術中，載板僅適用于某一種特定尺寸電池片，通用性較差。若針對每一種電池片都設計單獨的載板，則載板的生產成本較高。因此，亟需提供一種載板及鈍化設備以解決上述問題。

實用新型內容

基于以上所述，本實用新型的目的在于提供一種載板及鈍化設備，載板能夠用于至少兩種尺寸的工件的鈍化工藝。

為達上述目的，本實用新型采用以下技術方案：

一種載板，所述載板包括用于容納工件的容置位，所述容置位上沿所述載板的厚度方向設置有至少兩個容置槽，沿所述厚度方向由上至下所述容置槽的面積依次減小，工件可選地放置于任一個所述容置槽中。

作為一種載板的優選方案，位于最下層的所述容置槽的底部設置有沉槽。

作為一種載板的優選方案，所述沉槽的底部設置有通孔。

作為一種載板的優選方案，所述容置槽的內側壁設置有凹槽，所述凹槽朝向背離所述容置槽中心的方向凹陷。

作為一種載板的優選方案，所述容置槽為多邊形，所述凹槽位于所述容置槽的邊角處。

作為一種載板的優選方案，所述容置槽的內側壁設置有導向結構。

作為一種載板的優選方案，所述內側壁的上部朝向背離所述容置槽中心的方向傾斜設置形成所述導向結構。

作為一種載板的優選方案，所述容置位設置有多個。

作為一種載板的優選方案，至少一個所述容置槽包括呈陣列分布的多個子槽。

一種鈍化設備，包括腔體，所述腔體內設置有沉積裝置，還包括以上任一方案所述的載板，所述載板設置于所述腔體中，并位于沉積裝置的下側。

本實用新型的有益效果為：

本實用新型提供了一種載板，能夠用于工件的鈍化設備中，載板包括用于容納工件的容置位，容置位上沿載板的厚度方向設置有至少兩個容置槽，且沿該厚度方向由上至下容置槽的面積依次減小，容置槽的尺寸可以與工件的尺寸適配，通過設置面積不等的容置槽，能夠容納不同尺寸的工件，提高載板的通用性。

附圖說明

為了更清楚地說明本實用新型實施例中的技術方案，下面將對本實用新型實施例描述中所需要使用的附圖作簡單的介紹，顯而易見地，下面描述中的附圖僅僅是本實用新型的一些實施例，對于本領域普通技術人員來講，在不付出創造性勞動的前提下，還可以根據本實用新型實施例的內容和這些附圖獲得其他的附圖。

圖1是本實用新型提供的載板的俯視圖；

圖2是本實用新型提供的容置位的一種結構的俯視圖；

圖3是本實用新型提供的容置位的一種結構的剖視圖；