[實用新型]一種載板及鈍化設備

有效

• 申請號: 201920661953.0
• 申請日: 2019-05-09
• 公開（公告）號: CN209544295U
• 公開（公告）日: 2019-10-25
• 發明（設計）人: 劉裕通;王其林
• 申請（專利權）人: 鹽城阿特斯陽光能源科技有限公司;阿特斯陽光電力集團有限公司
• 主分類號: H01L21/673
• 分類號: H01L21/673;H01L31/18
• 代理公司: 北京品源專利代理有限公司 11332
• 代理人: 胡彬

1.一種載板，所述載板(100)包括用于容納工件的容置位(A)，其特征在于，所述容置位(A)上沿所述載板(100)的厚度方向設置有至少兩個容置槽(1)，沿所述厚度方向由上至下所述容置槽(1)的面積依次減小，工件可選地放置于任一個所述容置槽(1)中。

2.根據權利要求1所述的載板，其特征在于，位于最下層的所述容置槽(1)的底部設置有沉槽(2)。

3.根據權利要求2所述的載板，其特征在于，所述沉槽(2)的底部設置有通孔(3)。

4.根據權利要求1所述的載板，其特征在于，所述容置槽(1)的內側壁(12)設置有凹槽(11)，所述凹槽(11)朝向背離所述容置槽(1)中心的方向凹陷。

5.根據權利要求4所述的載板，其特征在于，所述容置槽(1)為多邊形，所述凹槽(11)位于所述容置槽(1)的邊角處。

6.根據權利要求1所述的載板，其特征在于，所述容置槽(1)的內側壁(12)設置有導向結構。

7.根據權利要求6所述的載板，其特征在于，所述內側壁(12)的上部朝向背離所述容置槽(1)中心的方向傾斜設置形成所述導向結構。

8.根據權利要求1所述的載板，其特征在于，所述容置位(A)設置有多個。

9.根據權利要求1所述的載板，其特征在于，至少一個所述容置槽(1)包括呈陣列分布的多個子槽(13)。

10.一種鈍化設備，包括腔體，所述腔體內設置有沉積裝置，其特征在于，還包括根據權利要求1-9任一項所述的載板(100)，所述載板(100)設置于所述腔體中，并位于沉積裝置的下側。