[實(shí)用新型]一種程控三管擴(kuò)散爐

有效

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 201920651931.6
• 申請(qǐng)日: 2019-05-08
• 公開（公告）號(hào): CN209843672U
• 公開（公告）日: 2019-12-24
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 朱育平;付月明;孟祥飛
• 申請(qǐng)（專利權(quán)）人: 青島育豪微電子設(shè)備有限公司
• 主分類號(hào): H01L21/67
• 分類號(hào): H01L21/67
• 代理公司: 暫無信息
• 代理人: 暫無信息

1.一種程控三管擴(kuò)散爐，包括擴(kuò)散爐主體(1)，其特征在于，所述擴(kuò)散爐主體(1)的一端安裝有爐體(2)，所述爐體(2)的一端安裝有上料裝置(3)，所述上料裝置(3)的另一端安裝有電控裝置(4)，所述電控裝置(4)的表面一側(cè)安裝有檢修側(cè)門(5)，所述電控裝置(4)的底端安裝有存放柜(6)，所述上料裝置(3)的底端安裝有三個(gè)臨時(shí)存放抽屜(7)，所述臨時(shí)存放抽屜(7)的表面一側(cè)安裝有內(nèi)縮把手(8)，所述臨時(shí)存放抽屜(7)的內(nèi)部頂端一側(cè)安裝有溫度控制器(9)，所述溫度控制器(9)的底端安裝有繼電器(10)，所述繼電器(10)的底端安裝有橡膠底座(11)，所述繼電器(10)的一側(cè)安裝有半導(dǎo)體制冷片(12)，所述半導(dǎo)體制冷片(12)的頂側(cè)安裝有三個(gè)半導(dǎo)體存放盒(13)，所述半導(dǎo)體存放盒(13)外側(cè)安設(shè)置有密封填充(14)，所述半導(dǎo)體存放盒(13)兩端包含有固定擋板(15)，所述兩端固定擋板(15)一側(cè)表面設(shè)置有凹槽(16)，所述兩端固定擋板(15)內(nèi)側(cè)安裝有活動(dòng)隔板(17)。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種程控三管擴(kuò)散爐，其特征在于，所述活動(dòng)隔板(17)和固定擋板(15)通過凹槽(16)滑動(dòng)卡扣連接，所述活動(dòng)隔板(17)是由聚乙烯與橡膠材料復(fù)合構(gòu)成。

3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種程控三管擴(kuò)散爐，其特征在于，所述橡膠底座(11)和繼電器(10)為包覆連接，所述半導(dǎo)體制冷片(12)和密封填充(14)為膠性連接，所述溫度控制器(9)和臨時(shí)存放抽屜(7)為固定連接。

4.根據(jù)權(quán)利要求3所述的一種程控三管擴(kuò)散爐，其特征在于，所述繼電器(10)分別與溫度控制器(9)和半導(dǎo)體制冷片(12)電性連接，且繼電器(10)連接至外部電源，所述臨時(shí)存放抽屜(7)是由鋁合金材料所制作。

5.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種程控三管擴(kuò)散爐，其特征在于，所述半導(dǎo)體存放盒(13)和密封填充(14)為包覆連接，所述內(nèi)縮把手(8)和臨時(shí)存放抽屜(7)固定連接，且內(nèi)縮把手(8)上半部分表面由交叉紋橡膠材料所覆蓋，所述密封填充(14)主要為硅膠和橡膠材料所構(gòu)成。

6.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種程控三管擴(kuò)散爐，其特征在于，所述電控裝置(4)分別與上料裝置(3)和爐體(2)電性連接，所述檢修側(cè)門(5)和電控裝置(4)為活動(dòng)連接。

7.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種程控三管擴(kuò)散爐，其特征在于，所述繼電器(10)的型號(hào)為JQX-13F-DC24V。