[實用新型]涂膠單元以及涂膠顯影系統

有效

• 申請號: 201920651509.0
• 申請日: 2019-05-08
• 公開（公告）號: CN209946631U
• 公開（公告）日: 2020-01-14
• 發明（設計）人: 李明欣;朱成云;古哲安;黃志凱;葉日銓
• 申請（專利權）人: 德淮半導體有限公司
• 主分類號: G03F7/16
• 分類號: G03F7/16
• 代理公司: 31295 上海思捷知識產權代理有限公司
• 代理人: 王宏婧

1.一種涂膠單元，其特征在于，包括工藝箱體、用于承載基底的載片臺、壓力監測裝置和通風系統，所述載片臺設置于所述工藝箱體內，所述工藝箱體具有可供所述基底進出的開口，所述通風系統通過所述開口向所述工藝箱體內通風，所述壓力監測裝置設置于所述工藝箱體上并用于監測所述工藝箱體內的壓力。

2.如權利要求1所述涂膠單元，其特征在于，所述壓力監測裝置設置在所述開口處的工藝箱體內壁上。

3.如權利要求1所述涂膠單元，其特征在于，所述壓力監測裝置的數量為至少兩個，至少兩個壓力監測裝置均勻分布在所述開口處的工藝箱體內壁上。

4.如權利要求2或3所述涂膠單元，其特征在于，所述開口處的工藝箱體內壁上設有凹槽，所述壓力監測裝置嵌設在所述凹槽內。

5.如權利要求1所述涂膠單元，其特征在于，所述載片臺包括一真空吸盤，所述真空吸盤處于涂膠狀態時其邊緣與所述壓力監測裝置的垂直距離范圍小于3cm。

6.如權利要求1所述涂膠單元，其特征在于，所述工藝箱體的底部具有排風口，所述通風系統包括供風系統和排風系統，所述供風系統通過所述開口向所述工藝箱體內供風，所述排風系統通過所述排風口排風。

7.如權利要求6所述涂膠單元，其特征在于，所述涂膠單元還包括控制模塊，所述供風系統中設有調節閥，所述控制模塊分別與所述調節閥和壓力監測裝置電連接，所述控制模塊根據所述壓力監測裝置偵測到的壓力值通過所述調節閥調節所述供風系統的供風量。

8.如權利要求6所述涂膠單元，其特征在于，所述涂膠單元還包括控制模塊，所述排風系統中設有調節閥，所述控制模塊分別與所述調節閥和壓力監測裝置電連接，所述控制模塊根據所述壓力監測裝置偵測到的壓力值通過所述調節閥調節所述排風系統的排風量。

9.如權利要求1所述涂膠單元，其特征在于，所述壓力監測裝置為壓力傳感器。

10.一種涂膠顯影系統，其特征在于，包括如權利要求1至9中任一項所述的涂膠單元。