[實用新型]一種雙工位井式真空爐

有效

• 申請號: 201920651166.8
• 申請日: 2019-05-08
• 公開（公告）號: CN210367815U
• 公開（公告）日: 2020-04-21
• 發明（設計）人: 朱育平;陳慶建;付月明
• 申請（專利權）人: 青島育豪微電子設備有限公司
• 主分類號: C21D9/00
• 分類號: C21D9/00;C21D1/773;C21D1/26
• 代理公司: 暫無信息
• 代理人: 暫無信息

1.一種雙工位井式真空爐，包括爐底座(1)，所述爐底座(1)的頂端表面安裝有爐殼(2)，所述爐殼(2)的內部設置有爐襯(3)，且爐襯(3)所圍成的爐膛(16)數量為二，所述爐膛(16)的內部均設置有內膽(4)，所述爐殼(2)的頂端表面設置有爐蓋(5)，所述爐蓋(5)與爐殼(2)之間設置有絲桿升降機構(6)，所述爐蓋(5)的頂端設置有抽真空管(7)、充保護氣體管(8)和通風機(9)，其特征在于，所述爐蓋(5)與內膽(4)之間設置有密封圈(10)，所述爐蓋(5)蓋壓在內膽(4)的頂端并通過密封圈(10)進行密封，所述內膽(4)的內部均垂直安置有若干物料筐(11)。

2.根據權利要求1所述的一種雙工位井式真空爐，其特征在于，所述爐膛(16)內部四周環繞固定有若干支架(12)，所述支架(12)的一側安裝有側電加熱元件(13)，所述爐膛(16)的內部底端安裝有耐熱墊磚(14)，所述耐熱墊磚(14)之間設置有底加熱元件(15)。

3.根據權利要求1所述的一種雙工位井式真空爐，其特征在于，所述兩個爐膛(16)位置彼此相臨并分為第一爐膛(17)和第二爐膛(18)，所述第一爐膛(17)和第二爐膛(18)的頂部之間連接有導氣管(19)，所述導氣管(19)的中央部位設置有電子氣閥(20)。

4.根據權利要求3所述的一種雙工位井式真空爐，其特征在于，所述第一爐膛(17)與第二爐膛(18)的頂端一側均設置有散熱管(21)，且散熱管(21)貫穿延伸至爐殼(2)的外部。

5.根據權利要求1所述的一種雙工位井式真空爐，其特征在于，所述爐殼(2)的外側底部兩側均設置有鼓風機(22)，所述鼓風機(22)的出風端連接有進風管(23)，且進風管(23)分別貫穿延伸至第一爐膛(17)與第二爐膛(18)的內部。

6.根據權利要求5所述的一種雙工位井式真空爐，其特征在于，所述進風管(23)的內部設置有單向氣流隔片，使氣流只可向爐膛(16)的內部流動。