[實用新型]一種輝光監測電路、輝光監測裝置及刻蝕機

有效

• 申請號: 201920633812.8
• 申請日: 2019-05-05
• 公開（公告）號: CN209843671U
• 公開（公告）日: 2019-12-24
• 發明（設計）人: 劉國梁;李明;李理
• 申請（專利權）人: 深圳方正微電子有限公司
• 主分類號: H01L21/67
• 分類號: H01L21/67
• 代理公司: 44414 深圳中一聯合知識產權代理有限公司
• 代理人: 曾文洪

1.一種輝光監測電路，與監測控制信號源連接，應用于刻蝕機，其特征在于，所述輝光監測電路包括：

用于將輝光轉換為對應的監測電壓信號的光電信號轉換模塊；

與所述光電信號轉換模塊連接，用于將所述監測電壓信號與預設的參考電壓閾值信號進行比較，并輸出對應的電壓比較信號的比較模塊；

與所述比較模塊和所述監測控制信號源連接，用于接收所述電壓比較信號和所述監測控制信號源輸出的監測控制信號，并根據所述電壓比較信號和所述監測控制信號輸出對應的邏輯控制信號的邏輯處理模塊；以及

與所述邏輯處理模塊連接，用于接收所述邏輯控制信號，并根據所述邏輯控制信號生成對應的互鎖開關信號，以控制所述刻蝕機的工作狀態的監測開關模塊。

2.如權利要求1所述的輝光監測電路，其特征在于，所述監測開關模塊包括：

工作電源；

與所述邏輯處理模塊連接，用于接收所述邏輯控制信號，并根據所述邏輯控制信號進行導通或者關斷的開關單元；

與所述工作電源和所述開關單元串聯，用于根據所述開關單元的導通或者關斷輸出對應的繼電器開關信號的繼電器單元；

與所述繼電器單元連接，用于接收所述繼電器開關信號，并根據所述繼電器開關信號輸出對應的互鎖開關信號的互鎖控制單元。

3.如權利要求2所述的輝光監測電路，其特征在于，所述繼電器單元包括：繼電器線圈和繼電器常閉觸點；

所述繼電器線圈的第一端與所述工作電源連接，所述繼電器線圈的第二端與所述開關單元的電流輸入端連接，所述繼電器常閉觸點的第一端與所述互鎖控制單元的第一端連接，所述繼電器常閉觸點的第二端與所述互鎖控制單元的第二端連接。

4.如權利要求3所述的輝光監測電路，其特征在于，所述監測開關模塊包括：報警單元；

所述繼電器單元還包括：繼電器常開觸點；

其中，所述繼電器常開觸點的第一端與所述工作電源連接，所述繼電器常開觸點的第二端與所述報警單元的第一端連接，所述報警單元的第二端接地。

5.如權利要求2所述的輝光監測電路，其特征在于，所述開關單元包括電子開關管，所述電子開關管的電流輸入端與所述繼電器單元連接，所述電子開關管的電流輸出端接地，所述電子開關管的控制端與所述邏輯處理模塊連接。

6.如權利要求5所述的輝光監測電路，其特征在于，所述電子開關管為NPN型三極管、N型MOS管中的任意一項。

7.如權利要求1所述的輝光監測電路，其特征在于，所述比較模塊包括電壓比較器和參考電壓源，所述參考電壓源用于輸出預設的參考電壓閾值信號，所述電壓比較器的反相輸入端與所述光電信號轉換模塊連接，所述電壓比較器的正相輸入端與所述參考電壓源連接，所述電壓比較器的輸出端與所述邏輯處理模塊連接。

8.如權利要求1所述的輝光監測電路，其特征在于，所述邏輯處理模塊包括與門，所述與門的第一輸入端與所述比較模塊連接，所述與門的第二輸入端與所述監測控制信號源連接，所述與門的輸出端與所述監測開關模塊連接。

9.一種輝光監測裝置，其特征在于，包括：

監測控制信號源；和

如權利要求1-8任一項所述的輝光監測電路，所述輝光監測電路與所述監測控制信號源連接。

10.一種刻蝕機，其特征在于，包括：

監測控制信號源；和

如權利要求1-8任一項所述的輝光監測電路，所述輝光監測電路與所述監測控制信號源連接；

其中，所述監測控制信號源為所述刻蝕機中的質量流量控制器輸出的控制信號，所述光電信號轉換模塊用于將所述刻蝕機中的真空腔體內的輝光信號轉換為對應的監測電壓信號。