[實用新型]硅片緩存機

有效

• 申請號: 201920621143.2
• 申請日: 2019-04-30
• 公開（公告）號: CN210122328U
• 公開（公告）日: 2020-03-03
• 發明（設計）人: 張學強;戴軍;張建偉;羅銀兵
• 申請（專利權）人: 羅博特科智能科技南通有限公司
• 主分類號: B65G15/20
• 分類號: B65G15/20;B65G47/22;B65G43/08;B65G47/34
• 代理公司: 蘇州市中南偉業知識產權代理事務所(普通合伙) 32257
• 代理人: 李艾

本實用新型公開了一種硅片緩存機，包括緩存機構和傳輸機構；傳輸機構具有同步移動的多組傳送帶；緩存機構設置在傳送帶移動方向上的目標位置，其具有同步升降的多組緩存架；每組緩存架上均設有沿豎直方向彼此間隔排布的多個支架，兩相鄰支架之間具有用于容納硅片邊部的豎直間隙；傳送帶上的硅片被傳送至目標位置時，硅片的邊部進入緩存架上與之等高的豎直間隙；緩存架上升時，支架撐托硅片上升，使得傳送帶上的硅片移位至緩存架上；緩存架下降時，緩存架上的硅片下料至傳送帶上。本實用新型的緩存架配置在硅片流水線生產的兩套設備之間，運行方向的前段設備暫停時逐層緩存硅片，設備啟用時逐層緩存的硅片下料至流水線上，避免設備暫停過程中硅片受到損傷。

技術領域

本實用新型涉及硅片自動化設備技術領域，具體涉及一種硅片緩存機。

背景技術

硅片的流水線生產中，當運行方向的前段設備出現故障暫停、而與之緊鄰的位于運行方向后段的設備不能立即停止運行時，又或者即使前端設備出現故障時立即切斷后段設備時，兩設備之間都會積壓部分硅片；比如硅片的工藝機和下料機，工藝機中出來的硅片進入下料機，當下料機出現故障暫停時，工藝機和下料機之間會積壓部分硅片，硅片堆積放置難免會因為摩擦而產生劃傷，因此，需要在兩套設備之間放置緩存機構，在設備出現故障時能夠暫時的緩存硅片，避免設備維修過程中硅片受到損傷。

發明內容

本實用新型要解決的技術問題是提供一種硅片緩存機，配置在硅片流水線生產的兩套設備之間，運行方向的前段設備暫停時逐層緩存硅片，設備啟用時逐層緩存的硅片下料至流水線上，避免設備暫停過程中硅片受到損傷；另一方面，優化結構設計的緩存機，在減小設備體積、精簡動力源的情況下做到大批量緩存硅片。

為了解決上述技術問題，本實用新型提供了一種硅片緩存機，包括緩存機構和傳輸機構；

所述傳輸機構具有多組傳送帶，所述多組傳送帶沿水平方向依次并列排布，且所述多組傳送帶均連接驅動器一，所述多組傳送帶在驅動器一的驅動下同步移動；所述傳送帶用于輸送硅片、且所述硅片沿垂直于其傳送方向的兩側邊部均脫離傳送帶向外側延伸；

所述緩存機構設置在傳送帶移動方向上的目標位置，其具有多組緩存架，所述多組緩存架沿水平方向依次并列排布，且所述多組緩存架均連接驅動器二，所述多組緩存架在驅動器二的驅動下同步升降；每組傳送帶均對應一組緩存架、且各所述緩存架均設置在與之對應的傳送帶的外側；

每組所述緩存架上均設有多個支架，多個所述支架沿豎直方向彼此間隔的固定在緩存架上，所述支架的另一端向傳送帶方向延伸，兩相鄰支架之間具有用于容納硅片邊部的豎直間隙；

所述傳送帶上的硅片被傳送至所述目標位置時，所述硅片的兩側邊部均進入緩存架上與之等高的豎直間隙；所述緩存架上升時，所述支架撐托硅片上升，使得傳送帶上的硅片移位至緩存架上；所述緩存架下降時，緩存架上的硅片下料至傳送帶上。

本實用新型一個較佳實施例中，進一步包括各所述傳送帶均包括彼此平行、且間隔設置的兩組皮帶，所述兩組皮帶的兩端分別套設在一對主動皮帶輪和一對從動皮帶輪上，所述一對主動皮帶輪共軸線連接在主動軸上，所述一對從動皮帶輪共軸線連接在從動軸上；所述多組傳送帶的主動軸通過聯軸器兩兩連接，所有主動軸連接后的整體連接驅動器一。

本實用新型一個較佳實施例中，進一步包括所有傳送帶的兩組皮帶之間均設有阻擋器，多組所述阻擋器均連接驅動器三，所述多組阻擋器在驅動器三的驅動下同步升降；沿傳送帶的傳送方向，所述阻擋器設置在緩存架的外側；

所述硅片的邊部進入緩存架上與之等高的豎直間隙時，所述阻擋器上升阻擋硅片。

本實用新型一個較佳實施例中，進一步包括所述阻擋器為豎向延伸的阻擋板，各所述阻擋板均固定在連接部件上，所述連接部件長度延伸方向上間隔設有兩組驅動器三；所述阻擋板上接觸于硅片的部位設有傾斜導向部。