[實用新型]硅片緩存機

有效

• 申請號: 201920621143.2
• 申請日: 2019-04-30
• 公開（公告）號: CN210122328U
• 公開（公告）日: 2020-03-03
• 發明（設計）人: 張學強;戴軍;張建偉;羅銀兵
• 申請（專利權）人: 羅博特科智能科技南通有限公司
• 主分類號: B65G15/20
• 分類號: B65G15/20;B65G47/22;B65G43/08;B65G47/34
• 代理公司: 蘇州市中南偉業知識產權代理事務所(普通合伙) 32257
• 代理人: 李艾

1.一種硅片緩存機，其特征在于：包括緩存機構和傳輸機構；

所述傳輸機構具有多組傳送帶，所述多組傳送帶沿水平方向依次并列排布，且所述多組傳送帶均連接驅動器一，所述多組傳送帶在驅動器一的驅動下同步移動；所述傳送帶用于輸送硅片、且所述硅片沿垂直于其傳送方向的兩側邊部均脫離傳送帶向外側延伸；

所述緩存機構設置在傳送帶移動方向上的目標位置，其具有多組緩存架，所述多組緩存架沿水平方向依次并列排布，且所述多組緩存架均連接驅動器二，所述多組緩存架在驅動器二的驅動下同步升降；每組傳送帶均對應一組緩存架、且各所述緩存架均設置在與之對應的傳送帶的外側；

每組所述緩存架上均設有多個支架，多個所述支架沿豎直方向彼此間隔的固定在緩存架上，所述支架的另一端向傳送帶方向延伸，兩相鄰支架之間具有用于容納硅片邊部的豎直間隙；

所述傳送帶上的硅片被傳送至所述目標位置時，所述硅片的兩側邊部均進入緩存架上與之等高的豎直間隙；所述緩存架上升時，所述支架撐托硅片上升，使得傳送帶上的硅片移位至緩存架上；所述緩存架下降時，緩存架上的硅片下料至傳送帶上。

2.如權利要求1所述的硅片緩存機，其特征在于：各所述傳送帶均包括彼此平行、且間隔設置的兩組皮帶，所述兩組皮帶的兩端分別套設在一對主動皮帶輪和一對從動皮帶輪上，所述一對主動皮帶輪共軸線連接在主動軸上，所述一對從動皮帶輪共軸線連接在從動軸上；所述多組傳送帶的主動軸通過聯軸器兩兩連接，所有主動軸連接后的整體連接驅動器一。

3.如權利要求2所述的硅片緩存機，其特征在于：所有傳送帶的兩組皮帶之間均設有阻擋器，多組所述阻擋器均連接驅動器三，所述多組阻擋器在驅動器三的驅動下同步升降；沿傳送帶的傳送方向，所述阻擋器設置在緩存架的外側；

所述硅片的邊部進入緩存架上與之等高的豎直間隙時，所述阻擋器上升阻擋硅片。

4.如權利要求3所述的硅片緩存機，其特征在于：所述阻擋器為豎向延伸的阻擋板，各所述阻擋板均固定在連接部件上，所述連接部件長度延伸方向上間隔設有兩組驅動器三；所述阻擋板上接觸于硅片的部位設有傾斜導向部。

5.如權利要求3或4所述的硅片緩存機，其特征在于：所述驅動器三為氣缸。

6.如權利要求2所述的硅片緩存機，其特征在于：所有傳送帶的兩組皮帶之間均設有接近傳感器，所述接近傳感器靠近支架的中心位置設置。

7.如權利要求2所述的硅片緩存機，其特征在于：環繞的皮帶之間設有支撐梁，所述支撐梁上安裝有沿傳送帶傳送方向延伸的糾偏導向部件，所述糾偏導向部件的另一端向緩存架方向水平延伸。

8.如權利要求1所述的硅片緩存機，其特征在于：所述多組緩存架均安裝在型材骨架上，所述型材骨架連接至相對設置的兩組絲桿上，所述兩組絲桿的動力端通過同步帶連接驅動電機。

9.如權利要求8所述的硅片緩存機，其特征在于：所述緩存架具有安裝在型材骨架上的立板，每個緩存架的多個所述支架沿豎直方向彼此間隔的固定在所述立板上；各所述支架均具有兩對支板，所述兩對支板背靠式安裝在立板上，位于同側的兩個所述支板沿硅片的傳送方向間隔設置。

10.如權利要求8所述的硅片緩存機，其特征在于：同步帶上設有張緊輪。