[實用新型]靶材制作裝置

有效

• 申請號: 201920619710.0
• 申請日: 2019-04-30
• 公開（公告）號: CN210420135U
• 公開（公告）日: 2020-04-28
• 發明（設計）人: 張蛟;周維國;徐國軍;萬捷
• 申請（專利權）人: 領凡新能源科技（北京）有限公司
• 主分類號: C23C14/34
• 分類號: C23C14/34
• 代理公司: 北京智晨知識產權代理有限公司 11584
• 代理人: 張婧

1.一種靶材制作裝置，其特征在于，包括熔煉室和設置在所述熔煉室一側的霧化室，

所述熔煉室設有導流管，所述導流管一端由熔煉室通入熔融的靶材原料，所述導流管另一端延伸到霧化室內，所述霧化室內固設有靶材固定件，所述導流管朝向所述靶材固定件方向，所述導流管外側套設有霧化噴盤，所述霧化噴盤與外界惰性氣體氣源連通。

2.根據權利要求1所述的靶材制作裝置，其特征在于，所述霧化噴盤包括套設在所述導流管外側的噴管，所述噴管內壁與所述導流管外壁之間留有供氣流通過的氣流通道，所述噴管通過所述氣流通道與導流管配合構成二流體噴嘴結構。

3.根據權利要求2所述的靶材制作裝置，其特征在于，所述噴管呈拉瓦爾結構，所述噴管噴出的氣流速度大于音速。

4.根據權利要求1所述的靶材制作裝置，其特征正在于，所述靶材固定件包括支架，所述支架上設有第一方向軌道，所述第一方向軌道上設有能沿第一方向移動的第一安裝件，所述安裝件上設有第二方向軌道，所述第二方向軌道上設有能沿第二方向移動的第二安裝件，所述第一方向與所述第二方向夾角不為零，所述靶材安裝在第二安裝件上。

5.根據權利要求4所述的靶材制作裝置，其特征正在于，所述支架上設有第三方向軌道，所述第一方向軌道可移動的設置到第三方向軌道上，所述第三方向軌道與所述第一方向軌道、所述第二方向軌道的夾角均不為零。

6.根據權利要求1所述的靶材制作裝置，其特征在于，所述熔煉室設置在所述霧化室上方。

7.根據權利要求6所述的靶材制作裝置，其特征在于，所述霧化室下方還設有集料斗。

8.根據權利要求7所述的靶材制作裝置，其特征在于，所述霧化室底部設有倒錐形的集料腔，所述集料腔與所述集料斗連通。

9.根據權利要求4所述的靶材制作裝置，其特征在于，所述霧化室一側設有換料門，所述第一方向軌道或所述第二方向軌道延伸到所述換料門位置。