[實用新型]一種硅片開溝機

有效

• 申請號: 201920609518.3
• 申請日: 2019-04-29
• 公開（公告）號: CN209691727U
• 公開（公告）日: 2019-11-26
• 發明（設計）人: 朱亞文;宋進虎
• 申請（專利權）人: 重慶長捷電子有限公司
• 主分類號: H01L21/67
• 分類號: H01L21/67;C23F1/08;C23F1/04;C23F1/24
• 代理公司: 44260 深圳市興科達知識產權代理有限公司
• 代理人: 劉鑫<國際申請>=<國際公布>=<進入國

本實用新型公開了一種硅片開溝機，包括機架、升降機構、酸洗池和清洗池，酸洗池和清洗池分別設置于機架的下方位置，升降機構固定裝設于機架的上端且位于酸洗池的上方位置處，升降機構包括安裝座、電機、連桿結構和吊裝架，安裝座固定裝設于機架的上端，連桿結構的一端通過電機連接，另一端與吊裝架連接通過移動裝置控制調節板的上下移動。本實用新型可使硅片穩定的在酸洗池中上下移動，還能根據實際需要調整其上下移動的幅度，使硅片在酸腐蝕開溝過程中，能更加均勻、充分的進行腐蝕反應；而且，還能使多個硅片同時進行腐蝕開溝，提高開溝效率。

技術領域

本實用新型屬于硅片表面處理設備領域，具體地說，涉及一種硅片開溝機。

背景技術

二極管，是電子元件中，一種具有兩個電極的裝置，最普遍的功能就是只允許電流由單一方向通過(稱為順向偏壓)，反向時阻斷(稱為逆向偏壓)。因此，二極管可以想成電子版的逆止閥。現今最普遍的二極管大多是使用半導體材料如硅。

在現有二極管的生產工藝中，通過在硅片表面涂一層膠，然后在需要開溝的地方進行劃線，使劃線處的硅片裸露出來，然后將硅片放入酸液中，使酸液對裸露出的劃線部位進行一段時間的腐蝕，從而達到開溝的效果。現有技術中，酸洗主要通過將硅片直接放入酸洗池中，等硅片腐蝕一段時間后再將其取出。這種處理方法容易導致硅片需要開溝處與酸液反應不充分，受到的腐蝕不均勻，最終導致硅片開溝質量不達標。

實用新型內容

針對上述不足，本實用新型的目的在于，提供一種硅片開溝機，該實用新型可使硅片穩定的在酸洗池中上下移動，還能根據實際需要調整其上下移動的幅度，使硅片在酸腐蝕開溝過程中，能更加均勻、充分的進行腐蝕反應。

為實現上述目的，本實用新型所提供的技術方案是：

一種硅片開溝機，包括機架、升降機構、酸洗池和清洗池，酸洗池和清洗池分別設置于機架的下方位置，升降機構固定裝設于機架的上端且位于酸洗池的上方位置處，升降機構包括安裝座、電機、連桿結構和吊裝架，安裝座固定裝設于機架的上端，連桿結構的一端通過電機連接，另一端與吊裝架連接。

優選的，連桿結構包括第一連動桿和第二連動桿，第二連動桿上設有調節孔，第一連動桿通過樞裝軸穿過調節孔樞裝于第二連動桿上。第一連動桿通過調節孔調整其與第二連動桿的連接位置，從而可以根據實際需要，進一步調整升降機構上下移動的幅度。

優選的，安裝座的兩側分別設有導向軸，且導向軸上滑動裝設有滑塊，滑塊與連桿結構的下端固定連接，通過連桿結構帶動其沿導向軸上下滑動。

優選的，第一連動桿的下端設有橢圓形銜接端，橢圓形銜接端與滑塊固定連接。

優選的，吊裝架包括調節板、連接板和掛料板，連接板的上端與滑塊固定連接，下端通過固定螺栓與調節板的上端連接，掛料板與調節板的下端固定連接，且掛料板的四個頂角處向外延伸形成掛鉤。掛料板的四個頂角處向外延伸形成的掛鉤既可以使酸洗籃更穩定的掛在掛料板上不會脫落，也可以掛多個酸洗籃同時進行酸洗。

優選的，調節板上于豎直方向上設有呈長條狀結構的活動槽，固定螺栓穿過活動槽將調節板與連接板固定連接。根據使用需要，調整固定螺栓的位置，從而調整連接板的長度。

優選的，電機上設有時間繼電器與電機電性連接。

本實用新型的有益效果為：

1、本實用新型通過所述升降機構的連桿結構帶動裝有硅片的酸洗籃在酸洗槽內上下移動，從而保證酸液與硅片劃線處進行充分的腐蝕反應，大大提高了硅片的開溝質量，且所述連桿結構的第一連動桿通過調節孔調整其與第二連動桿的樞裝位置，因此，可根據硅片開溝需求對其進行調整，進一步保證了硅片的開溝質量和準確性；