[實用新型]一種硅片開溝機

有效

• 申請號: 201920609518.3
• 申請日: 2019-04-29
• 公開（公告）號: CN209691727U
• 公開（公告）日: 2019-11-26
• 發明（設計）人: 朱亞文;宋進虎
• 申請（專利權）人: 重慶長捷電子有限公司
• 主分類號: H01L21/67
• 分類號: H01L21/67;C23F1/08;C23F1/04;C23F1/24
• 代理公司: 44260 深圳市興科達知識產權代理有限公司
• 代理人: 劉鑫<國際申請>=<國際公布>=<進入國

1.一種硅片開溝機，其特征在于：包括機架(1)、升降機構(2)、酸洗池(3)和清洗池(4)，所述酸洗池(3)和清洗池(4)分別設置于所述機架(1)的下方位置，所述升降機構(2)固定裝設于機架(1)的上端且位于所述酸洗池(3)的上方位置處，所述升降機構(2)包括安裝座(21)、電機(22)、連桿結構(23)和吊裝架(24)，所述安裝座(21)固定裝設于所述機架(1)的上端，所述連桿結構(23)的一端通過固定裝設于安裝座(21)上端的電機(22)連接，另一端與所述吊裝架(24)連接。

2.如權利要求1所述的一種硅片開溝機，其特征在于：所述連桿結構(23)包括第一連動桿(231)和第二連動桿(232)，所述第二連動桿(232)與所述電機(22)驅動連接，所述第二連動桿(232)上設有調節孔(233)，所述第一連動桿(231)通過樞裝軸(25)穿過所述調節孔(233)樞裝于所述第二連動桿(232)上。

3.如權利要求2所述的一種硅片開溝機，其特征在于：所述安裝座(21)的兩側分別設有導向軸(211)，且所述導向軸(211)上滑動裝設有滑塊(234)，所述滑塊(234)與所述第一連動桿(231)的下端固定連接，通過所述連桿結構(23)帶動其沿所述導向軸(211)上下滑動。

4.如權利要求3所述的一種硅片開溝機，其特征在于：所述第一連動桿(231)的下端設有橢圓形銜接端(235)，所述第一連動桿(231)通過所述橢圓形銜接端(235)與所述滑塊(234)固定連接。

5.如權利要求3所述的一種硅片開溝機，其特征在于：所述吊裝架(24)包括調節板(241)、連接板(242)和掛料板(243)，所述連接板(242)的上端與所述滑塊(234)固定連接，下端通過固定螺栓(244)與所述調節板(241)的上端連接，所述掛料板(243)與所述調節板(241)的下端固定連接，且所述掛料板(243)的四個頂角處向外延伸形成掛鉤(245)。

6.如權利要求5所述的一種硅片開溝機，其特征在于：所述調節板(241)上于豎直方向開設有呈長條狀結構的活動槽(246)，所述固定螺栓(244)穿過所述活動槽(246)將所述調節板(241)與所述連接板(242)固定連接。

7.如權利要求1所述的一種硅片開溝機，其特征在于：所述電機(22)上設有時間繼電器(27)與所述電機(22)電性連接。